[發(fā)明專利]一種WAFER片頻率自動分選機

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110537289.0
• 申請日: 2021-05-18
• 公開（公告）號: CN113083742A
• 公開（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 李天寶;汪曉虎;謝凡;孔林峰;朱成
• 申請（專利權(quán)）人: 隨州泰華電子科技有限公司
• 主分類號: B07C5/344
• 分類號: B07C5/344;B07C5/02;B07C5/38
• 代理公司: 隨州市恒智啟創(chuàng)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 42256
• 代理人: 何斌

1.一種WAFER片頻率自動分選機，包括機架（1），所述機架（1）上設(shè)置有工作臺（101），工作臺（101）上一側(cè)擺放有物料盒（2），工作臺（101）上還設(shè)置有頻率測試裝置（3），其特征在于：所述物料盒（2）旁設(shè)置有晶圓取料機械臂（10），工作臺（101）上設(shè)置有一條與物料盒（2）呈垂直關(guān)系的導(dǎo)軌（4），導(dǎo)軌（4）位于工作臺（101）一端邊緣，導(dǎo)軌（4）上設(shè)置有晶圓移動裝置（5），導(dǎo)軌（4）內(nèi)側(cè)沿導(dǎo)軌方向依次設(shè)置有進口晶圓校正裝置（6）、測試平臺（7）和出口晶圓校正裝置（8），三者均與導(dǎo)軌（4）平行，出口晶圓校正裝置（8）處設(shè)置有與其垂直的收納盒（9），收納盒（9）旁設(shè)置有與晶圓取料機械臂（10）結(jié)構(gòu)相同的晶圓放料機械臂（12），測試平臺（7）前方設(shè)置有頻率測試裝置（3）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種WAFER片頻率自動分選機，其特征在于：所述晶圓移動裝置（5）包括機械手（51），機械手（51）通過連接裝置固定在導(dǎo)軌（4）上，機械手（51）包含兩個左右對稱的真空吸嘴（52）。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種WAFER片頻率自動分選機，其特征在于：所述晶圓取料機械臂（10）包括一條固定在工作臺（101）上的一號滑軌（102），一號滑軌（102）上通過連接裝置固定有取料板（103），取料板（103）通過三組取料電機（104）來實現(xiàn)X、Y、Z三個方向的移動。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種WAFER片頻率自動分選機，其特征在于：所述進口晶圓校正裝置（6）和出口晶圓校正裝置（8）結(jié)構(gòu)相同，進口晶圓校正裝置（6）頂部一角設(shè)置有方形凸臺（61），方形凸臺（61）一側(cè)設(shè)置有L型的直角推板（62），直角推板（62）通過固定組件固定在二號滑軌（65）上，固定組件包括固定板（63）和與二號滑軌（65）垂直的連桿（64），連桿（64）與位于進口晶圓校正裝置（6）頂部的氣缸（66）的活塞桿垂直相連。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種WAFER片頻率自動分選機，其特征在于：所述測試平臺（7）頂部由下往上設(shè)置有絕緣塊（71）和測試電極（72）。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種WAFER片頻率自動分選機，其特征在于：所述頻率測試裝置（3）包括一條指向測試平臺（7）的三號滑軌（31），三號滑軌（31）上通過連接裝置固定有測試探頭（32），測試探頭（32）通過三組測試電機（33）來實現(xiàn)X、Y、Z三個方向的移動。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種WAFER片頻率自動分選機，其特征在于：所述工作臺（101）上設(shè)置有中空的方形支架（11），方形支架（11）頂部設(shè)置有微型電腦（111）和顯示器（112）。