[發(fā)明專利]一種懸浮式勻膠機(jī)及其勻膠方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110532112.1
• 申請日: 2021-05-17
• 公開（公告）號: CN113210215B
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 巢炎;李彬
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州電子科技大學(xué)
• 主分類號: B05C11/08
• 分類號: B05C11/08;B05C11/02;B05C13/02
• 代理公司: 浙江千克知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33246
• 代理人: 周希良

本發(fā)明公開了一種懸浮式勻膠機(jī)及其勻膠方法。現(xiàn)有勻膠機(jī)涂膜不均勻。本發(fā)明包括底座，所述底座上設(shè)有風(fēng)筒；所述風(fēng)筒上固定勻膠室，所述勻膠室為空腔結(jié)構(gòu)，且勻膠室的底端與風(fēng)筒連通，所述勻膠室的側(cè)壁開設(shè)有通氣孔，所述勻膠室內(nèi)設(shè)有載片托盤，所述載片托盤的側(cè)壁上開設(shè)有沿周向均布的多個氣道；所述風(fēng)筒內(nèi)位于所述載片托盤正下方位置處固定設(shè)有出風(fēng)裝置；所述出風(fēng)裝置的進(jìn)氣口和所述載片托盤的通氣孔均與氣體發(fā)生裝置連接，所述出風(fēng)裝置用于驅(qū)動所述載片托盤懸浮，所述通氣孔與氣道配合用于驅(qū)動載片托盤旋轉(zhuǎn)。本發(fā)明使得載片托盤中的晶片在空中旋轉(zhuǎn)，沒有任何直接的干擾，保證了晶片的形狀不會受到破壞，增加了勻膠晶片的成品率。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及勻膠技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種懸浮式勻膠機(jī)及其勻膠方法。

背景技術(shù)

隨著社會的日益進(jìn)步，對芯片的需求量越來越大。勻膠是制造芯片過程中重要一環(huán)，其實(shí)質(zhì)就是把膠液均勻的涂摸在晶片上，為后續(xù)光刻或其他工藝服務(wù)。

現(xiàn)有的勻膠機(jī)，將晶片放到載片臺上，用真空吸附，在晶片的中心滴膠液，通過調(diào)整主軸加速度、轉(zhuǎn)速，在主軸電機(jī)的帶動下旋轉(zhuǎn)，膠液由于受到離心力在晶片上涂覆均勻。此類型設(shè)備的不足是：(1)由于電機(jī)的振動，對設(shè)備的要求較高。(2)主軸的輕微偏移會造成承片臺劇烈抖動，使涂膜不均勻，從而影響光刻質(zhì)量。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的問題是提供一種結(jié)構(gòu)簡單、使用方便、成本低、效率高的一種懸浮式勻膠機(jī)及其勻膠方法。

本發(fā)明所采用的技術(shù)方案為：

本發(fā)明一種懸浮式勻膠機(jī)，包括底座，所述底座上設(shè)有風(fēng)筒；所述風(fēng)筒上固定勻膠室，所述勻膠室為空腔結(jié)構(gòu)，且勻膠室的底端與風(fēng)筒連通，所述勻膠室的側(cè)壁開設(shè)有通氣孔，所述勻膠室內(nèi)設(shè)有載片托盤，所述載片托盤的側(cè)壁上開設(shè)有沿周向均布的多個氣道；所述風(fēng)筒內(nèi)位于所述載片托盤正下方位置處固定設(shè)有出風(fēng)裝置；所述出風(fēng)裝置的進(jìn)氣口和所述載片托盤的通氣孔均與氣體發(fā)生裝置連接，所述出風(fēng)裝置用于驅(qū)動所述載片托盤懸浮，所述通氣孔與氣道配合用于驅(qū)動載片托盤旋轉(zhuǎn)。

進(jìn)一步的，所述勻膠室的側(cè)壁上還固定有超聲波換能器。

優(yōu)選的，所述通氣孔和氣道均為傾斜孔。

進(jìn)一步的，所述底座中部開設(shè)底座槽，所述風(fēng)筒嵌設(shè)于所述底座槽中，且所述風(fēng)筒上部凸出所述底座槽的上表面；所述底座內(nèi)還開設(shè)容置腔體，所述容置腔體位于所述底座槽的外側(cè)，所述容置腔體中設(shè)置所述氣體發(fā)生裝置。

進(jìn)一步的，所述氣體發(fā)生裝置為一氣泵，氣泵由旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動,氣泵的出氣口與儲氣罐的進(jìn)氣口連通，所述儲氣罐上的兩個出氣口分別與第一連接管和第二連接管的一端連接，所述第一連接管的另一端與所述通氣孔連接，所述第二連接管的另一端與所述出風(fēng)裝置連接。

進(jìn)一步的，所述載片托盤上沿周向布置至少兩個滑槽，每個滑槽朝向載片托盤的中心開設(shè)，所述滑槽內(nèi)設(shè)有導(dǎo)桿，所述導(dǎo)桿上套設(shè)有滑塊，所述滑塊為L型，包括滑塊側(cè)壁和滑塊底壁，所述導(dǎo)桿上還套設(shè)有彈簧，所述彈簧一端與滑塊連接，另一端與滑槽中靠近所述載片托盤中心的一端側(cè)壁連接，滑塊側(cè)壁與待勻膠的晶片邊緣配合固定晶片。

進(jìn)一步的，所述載片托盤的底部采用同心圓結(jié)構(gòu)。

進(jìn)一步的，還包括外殼，所述外殼蓋設(shè)于所述底座上，所述勻膠室設(shè)于所述外殼的內(nèi)部；所述勻膠室的頂部設(shè)有防護(hù)蓋，所述防護(hù)蓋可開關(guān)所述勻膠室，所述防護(hù)蓋設(shè)于所述外殼的頂部開孔中。

進(jìn)一步的，還包括控制器，所述控制器與所述超聲波換能器電連接；所述第一連接管上設(shè)置第一電動閥，所述第二連接管上設(shè)置第二電動閥，所述控制器與超聲波換能器、第一電動閥和第二電動閥電連接。

本發(fā)明還提供了一種懸浮式勻膠機(jī)的勻膠方法，其特征在于，所述方法包括如下步驟：

S1：打開防護(hù)蓋，將待勻膠的晶片放在載片托盤上，彈簧和滑塊作用于晶片，將晶片固定在所述載片托盤的中間位置；