[發(fā)明專利]一種懸浮式勻膠機及其勻膠方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110532112.1
• 申請日: 2021-05-17
• 公開（公告）號: CN113210215B
• 公開（公告）日: 2022-07-19
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 巢炎;李彬
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州電子科技大學(xué)
• 主分類號: B05C11/08
• 分類號: B05C11/08;B05C11/02;B05C13/02
• 代理公司: 浙江千克知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33246
• 代理人: 周希良

1.一種懸浮式勻膠機，其特征在于：包括底座（3），所述底座（3）上設(shè)有風(fēng)筒（25）；所述風(fēng)筒（25）上固定勻膠室（8），所述勻膠室（8）為空腔結(jié)構(gòu)，且勻膠室的底端與風(fēng)筒連通，所述勻膠室（8）的側(cè)壁開設(shè)有通氣孔（14），所述勻膠室（8）內(nèi)設(shè)有載片托盤（11），所述載片托盤（11）的側(cè)壁上開設(shè)有沿周向均布的多個氣道（22）；所述風(fēng)筒（25）內(nèi)位于所述載片托盤（11）正下方位置處固定設(shè)有出風(fēng)裝置（12）；所述出風(fēng)裝置（12）的進氣口和所述載片托盤（11）的通氣孔（14）均與氣體發(fā)生裝置連接，所述出風(fēng)裝置（12）用于驅(qū)動所述載片托盤（11）懸浮，所述通氣孔（14）與氣道（22）配合用于驅(qū)動載片托盤（11）旋轉(zhuǎn)；所述勻膠室（8）的側(cè)壁上還固定有超聲波換能器（7）；

所述超聲波換能器（7）的安裝位置高于通氣孔（14）的位置，所述通氣孔（14）和氣道（22）均為傾斜孔；所述載片托盤（11）的底部采用同心圓結(jié)構(gòu)（24），每個圓環(huán)的側(cè)面由頂部至底部逐漸光順縮小成一條線；載片托盤（11）直徑大于風(fēng)筒（25）外徑，勻膠室（8）下部為向內(nèi)折彎的環(huán)形臺，載片托盤（11）放置于環(huán)形臺上，勻膠室（8）與風(fēng)筒（25）的連接部位設(shè)置網(wǎng)格板（13）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸浮式勻膠機，其特征在于：所述底座（3）中部開設(shè)底座槽（19），所述風(fēng)筒（25）嵌設(shè)于所述底座槽（19）中，且所述風(fēng)筒（25）上部凸出所述底座槽（19）的上表面；所述底座（3）內(nèi)還開設(shè)容置腔體，所述容置腔體位于所述底座槽（19）的外側(cè)，所述容置腔體中設(shè)置所述氣體發(fā)生裝置。

3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種懸浮式勻膠機，其特征在于：所述氣體發(fā)生裝置為一氣泵，氣泵由旋轉(zhuǎn)電機（15）驅(qū)動,氣泵的出氣口與儲氣罐（16）的進氣口連通，所述儲氣罐（16）上的兩個出氣口分別與第一連接管（6）和第二連接管的一端連接，所述第一連接管（6）的另一端與所述通氣孔（14）連接，所述第二連接管的另一端與所述出風(fēng)裝置（12）連接。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的一種懸浮式勻膠機，其特征在于：所述載片托盤（11）上沿周向布置至少兩個滑槽（26），每個滑槽（26）朝向載片托盤（11）的中心開設(shè)，所述滑槽（26）內(nèi)設(shè)有導(dǎo)桿（23），所述導(dǎo)桿（23）上套設(shè)有滑塊（20），所述滑塊（20）為L型，包括滑塊側(cè)壁和滑塊底壁，所述導(dǎo)桿（23）上還套設(shè)有彈簧（21），所述彈簧（21）一端與滑塊（20）連接，另一端與滑槽（26）中靠近所述載片托盤（11）中心的一端側(cè)壁連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種懸浮式勻膠機，其特征在于：還包括外殼（2），所述外殼（2）蓋設(shè)于所述底座（3）上，所述勻膠室（8）設(shè)于所述外殼（2）的內(nèi)部；所述勻膠室（8）的頂部設(shè)有防護蓋（1），所述防護蓋（1）對應(yīng)所述載片托盤（11）設(shè)置，所述防護蓋（1）可開關(guān)所述勻膠室（8），所述防護蓋（1）設(shè)于所述外殼（2）的頂部開孔中。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的一種懸浮式勻膠機，其特征在于：還包括控制器（4），所述控制器（4）與所述超聲波換能器（7）電連接；所述第一連接管（6）上設(shè)置第一電動閥（17），所述第二連接管上設(shè)置第二電動閥（18），所述控制器（4）與所述超聲波換能器（7）、第一電動閥（17）和第二電動閥（18）電連接。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種懸浮式勻膠機的勻膠方法，其特征在于：所述方法包括如下步驟：

S1：打開防護蓋（1），將待勻膠的晶片放在載片托盤（11）上，彈簧（21）和滑塊（20）作用于晶片，將晶片固定在所述載片托盤（11）的中間位置；

S2：向晶片上滴入膠液，蓋上所述防護蓋（1），通過控制器（4）打開第一電動閥（17）、第二電動閥（18）和超聲波換能器（7）；載片托盤（11）在出風(fēng)裝置（12）排出氣流的作用下上升，當(dāng)載片托盤（11）的氣道（22）與通氣孔（14）同一高度時，停止上升；

S3：載片托盤（11）在通氣孔（14）排出的氣體作用下旋轉(zhuǎn)，且膠液內(nèi)部在超聲波換能器（7）的作用下振動，使膠液對晶片的粘附性降低，且受離心力的作用下向周圍擴散涂滿整個晶片；

S4：通過控制器（4）關(guān)閉第一電動閥（17）、第二電動閥（18）和超聲波換能器（7）；打開防護蓋（1），取出勻膠后的晶片。