[發(fā)明專利]一種對Finger晶體管自動進(jìn)行偏置的方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110526366.2
• 申請日: 2021-05-14
• 公開（公告）號: CN113312867B
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 劉永利
• 申請（專利權(quán)）人: 杭州廣立微電子股份有限公司
• 主分類號: G06F30/39
• 分類號: G06F30/39
• 代理公司: 江蘇坤象律師事務(wù)所 32393
• 代理人: 趙新民

本發(fā)明提供一種對Finger晶體管自動進(jìn)行偏置的方法，包括：獲取Finger晶體管的信息，對源極引腳、漏極引腳進(jìn)行分組，對引腳進(jìn)行組間分割和組間合并，生成對Finger晶體管中單根晶體管進(jìn)行測試的目標(biāo)源極引腳、漏極引腳和柵極引腳。本發(fā)明方法，通過執(zhí)行有限的步驟，自動完成對Finger晶體管的偏置過程，能確定對Finger晶體管中選定的單根晶體管進(jìn)行測試的目標(biāo)源極引腳、目標(biāo)漏極引腳和目標(biāo)柵極引腳，對廠商進(jìn)行設(shè)計生產(chǎn)等的指導(dǎo)具有重大意義。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明是關(guān)于半導(dǎo)體設(shè)計和生產(chǎn)領(lǐng)域，特別涉及一種對Finger晶體管自動進(jìn)行偏置（bias）的方法。

背景技術(shù)

隨著集成電路制造技術(shù)和工藝的快速發(fā)展，集成電路的設(shè)計變得越來越復(fù)雜，半導(dǎo)體器件的技術(shù)節(jié)點也在不斷減小。在半導(dǎo)體集成電路中，半導(dǎo)體晶體管是其中最為重要的元件之一，其中Finger（叉指）晶體管是指做成叉指形狀的單個晶體管，是GDS版圖中比較常見的晶體管結(jié)構(gòu)。

為了測試Finger晶體管中某一對指定源極和漏極的特征參數(shù)，需要將其他部分在M層短路，從而去掉干擾，這個做法稱為Finger-bias。目前通常是通過技術(shù)人員來進(jìn)行人為在版圖上完成Finger-bias，實現(xiàn)分割和合并M層的坐標(biāo)形狀選擇。但是，F(xiàn)inger晶體管在結(jié)構(gòu)上非常復(fù)雜，導(dǎo)致技術(shù)人員在人為操作Finger-bias時，不但難度比較高而且工作效率不高。

因此目前十分需要研究一種對Finger晶體管自動進(jìn)行偏置的方法，能夠通過執(zhí)行有限的步驟來自動完成Finger-bias，對廠商進(jìn)行設(shè)計生產(chǎn)等的指導(dǎo)具有重大意義。

所述背景技術(shù)部分公開的上述信息僅用于加強(qiáng)對本公開的背景的理解，因此它可以包括不構(gòu)成對本領(lǐng)域普通技術(shù)人員已知的現(xiàn)有技術(shù)的信息。背景技術(shù)部分的內(nèi)容僅僅是公開人所知曉的技術(shù)，并不當(dāng)然代表本領(lǐng)域的已有的現(xiàn)有技術(shù)。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的主要目的在于克服現(xiàn)有技術(shù)中的不足，提供一種對Finger結(jié)構(gòu)晶體管自動進(jìn)行偏置的方法。為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明的解決方案是：

提供一種對Finger晶體管自動進(jìn)行偏置的方法，用于生成對Finger晶體管中單根晶體管進(jìn)行測試的引腳，具體包括：步驟1：獲取Finger晶體管的信息，包括：源極、漏極、柵極，以及源極引腳、漏極引腳和柵極引腳；所述源極引腳、所述漏極引腳和所述柵極引腳都在M層，且所述源極引腳、所述漏極引腳和所述柵極引腳分別通過對應(yīng)的通孔與所述源極、所述漏極、所述柵極相連；將Finger晶體管中的待測單根晶體管的柵極記為目標(biāo)Gate，設(shè)柵極延伸方向為水平方向，垂直于柵極延伸方向為垂直方向。步驟2：對所述源極引腳、所述漏極引腳進(jìn)行分組，以所述目標(biāo)Gate在所述水平方向的中線為界，將位于目標(biāo)Gate一側(cè)的通孔對應(yīng)的源極引腳記為S1，以及對應(yīng)的漏極引腳記為D1；將位于目標(biāo)Gate另一側(cè)的通孔對應(yīng)的源極引腳記為S2，以及對應(yīng)的漏極引腳記為D2。步驟3：對所述源極引腳、所述漏極引腳進(jìn)行組間分割，包括對所述S1、所述S2進(jìn)行組間分割，使所述S1和所述S2之間不連通；對所述D1、所述D2進(jìn)行組間分割，使所述D1和所述D2之間不連通。步驟4：對所述源極引腳、所述漏極引腳進(jìn)行組間合并，包括對所述S1、所述D1進(jìn)行組間合并，使所述S1和所述D1之間連通并標(biāo)記為SD1；對所述S2、所述D2進(jìn)行組間合并，使所述S2和所述D2之間連通并標(biāo)記為SD2。步驟5：確定目標(biāo)源極引腳、目標(biāo)漏極引腳、目標(biāo)柵極引腳。

優(yōu)選的，所述步驟3中，對源極引腳、漏極引腳進(jìn)行組間分割的方法，具體包括：若S1和S2都存在，在M層對所述S1和所述S2進(jìn)行分割操作，使所述S1和所述S2在M層切掉最少面積的連接結(jié)構(gòu)實現(xiàn)斷開連接，實現(xiàn)分割；如無法成功分割，則結(jié)束，并標(biāo)記此Finger晶體管無法自動處理bias；若S1和S2中有一個不存在，則無需進(jìn)行分割操作；若D1和D2都存在，在M層對所述D1和所述D2進(jìn)行分割操作，使所述D1和所述D2在M層通過切掉最少面積的連接結(jié)構(gòu)實現(xiàn)斷開連接，實現(xiàn)分割；如無法成功分割，則結(jié)束，并標(biāo)記此Finger晶體管無法自動處理bias；若D1和D2中有一個不存在，則無需進(jìn)行分割操作。