[發明專利]一種對Finger晶體管自動進行偏置的方法

有效

• 申請號: 202110526366.2
• 申請日: 2021-05-14
• 公開（公告）號: CN113312867B
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 劉永利
• 申請（專利權）人: 杭州廣立微電子股份有限公司
• 主分類號: G06F30/39
• 分類號: G06F30/39
• 代理公司: 江蘇坤象律師事務所 32393
• 代理人: 趙新民

1.一種對Finger晶體管自動進行偏置的方法，用于生成對Finger晶體管中單根晶體管進行測試的引腳，其特征在于，具體包括：

步驟1：獲取Finger晶體管的信息，包括：源極、漏極、柵極以及源極引腳、漏極引腳和柵極引腳；所述源極引腳、所述漏極引腳和所述柵極引腳都在M層，且所述源極引腳、所述漏極引腳和所述柵極引腳分別通過對應的通孔與所述源極、所述漏極、所述柵極相連；將Finger晶體管中的待測單根晶體管的柵極記為目標Gate；設柵極延伸方向為水平方向，垂直于柵極延伸方向為垂直方向；

步驟2：對所述源極引腳、所述漏極引腳進行分組，以所述目標Gate在所述水平方向的中線為界，將位于目標Gate一側的通孔對應的源極引腳記為S1，以及對應的漏極引腳記為D1；將位于目標Gate另一側的通孔對應的源極引腳記為S2，以及對應的漏極引腳記為D2；

步驟3：對所述源極引腳、所述漏極引腳進行組間分割，包括對所述S1、所述S2進行組間分割，使所述S1和所述S2之間不連通；對所述 D1、所述D2進行組間分割，使所述D1和所述D2之間不連通；

步驟4：對所述源極引腳、所述漏極引腳進行組間合并，包括對所述S1、所述D1進行組間合并，使所述S1和所述D1之間連通并標記為SD1；對所述S2、所述D2進行組間合并，使所述S2和所述D2之間連通并標記為SD2；

步驟5：確定目標源極引腳、目標漏極引腳、目標柵極引腳。

2.根據權利要求1所述的一種對Finger晶體管自動進行偏置的方法，其特征在于，所述步驟3中，對源極引腳、漏極引腳進行組間分割的方法，包括：

若S1和S2都存在，在M層對所述S1和所述S2進行分割操作，使所述S1和所述S2在M層切掉最少面積的連接結構實現斷開連接，實現分割；如無法成功分割，則結束，并標記此Finger晶體管無法自動處理bias；若S1和S2中有一個不存在，則無需進行分割操作；

若D1和D2都存在，在M層對所述D1和所述D2進行分割操作，使所述D1和所述D2在M層通過切掉最少面積的連接結構實現斷開連接，實現分割；如無法成功分割，則結束，并標記此Finger晶體管無法自動處理bias；若D1和D2中有一個不存在，則無需進行分割操作。

3.根據權利要求1所述的一種對Finger晶體管自動進行偏置的方法，其特征在于，所述步驟4中，對源極引腳、漏極引腳進行組間合并的方法，包括：

若S1和D1都存在，在M層對所述S1和所述D1進行合并操作，使所述S1和所述D1在M層通過添加最少面積的連接結構實現連通，合并成功則將連通后的S1和D1記為SD1，若合并失敗，則結束并標記此Finger晶體管無法自動處理bias；若所述S1或所述D1有一個不存在，則將存在的一個記為SD1；

若S2和D2都存在，在M層對所述S2和所述D2進行合并操作，使所述S2和所述D2在M層通過添加最少面積的連接結構實現連通，合并成功則將連通后的S2和D2記為SD2，若合并失敗，則結束并標記此Finger晶體管無法自動處理bias；若所述S2或所述D2有一個不存在，則將存在的一個記為SD2。

4.根據權利要求1所述的一種對Finger晶體管自動進行偏置的方法，其特征在于，若任意一組引腳中含有相互之間不連通的引腳，則在所述步驟3和所述步驟4之間，還包括對引腳進行組內合并步驟；所述對引腳進行組內合并包括所述S1之間進行合并操作、所述S2之間進行合并操作、所述D1之間進行合并操作和所述D2之間進行合并操作，使所有所述S1之間連通、所有所述S2之間連通、所有所述D1之間連通和所有所述D2之間連通，若合并失敗，則結束，并標記此Finger晶體管無法自動處理bias。