[發明專利]鐘擺閥

在審

• 申請號: 202110513123.5
• 申請日: 2021-05-11
• 公開（公告）號: CN113653819A
• 公開（公告）日: 2021-11-16
• 發明（設計）人: 安熙俊;金湊澤
• 申請（專利權）人: 褔田株式會社
• 主分類號: F16K3/10
• 分類號: F16K3/10;F16K3/30;F16K27/04;F16K41/02
• 代理公司: 北京冠和權律師事務所 11399
• 代理人: 朱健

本發明涉及一種鐘擺閥，在半導體工藝的蝕刻線中，其設置于連接管并調節氣體量，所述連接管在干式蝕刻裝置的腔室和真空泵之間連接真空泵，更詳細地，涉及一種鐘擺閥，其包括：固定殼，其使得與調節氣體量的閥門結合的軸通過密封圈緊貼固定于閥殼；旋轉軸(內部軸)，其結合于固定殼的內側，通過提供所述鐘擺閥，從而僅使得與閥殼分離的旋轉軸以唇封為軸進行旋轉，維持鐘擺閥的密封特性的同時，可抑制不需要的顆粒和硬化物質排出。

技術領域

本發明涉及一種鐘擺閥(PENDULUM VALVE)，在半導體工藝的蝕刻線中，其設置于連接管并調節氣體量，所述連接管在干式蝕刻裝置的腔室和真空泵之間連接真空泵，更詳細地，涉及一種鐘擺閥，其包括：固定殼，其使得與調節氣體量的閥門(valve gate)結合的軸通過密封圈緊貼固定于閥殼；旋轉軸(內部軸)，其結合于固定殼的內側，通過提供所述鐘擺閥，從而僅使得與閥殼分離的旋轉軸以唇封為軸進行旋轉，維持鐘擺閥的密封特性的同時，可抑制不需要的顆粒和硬化物質排出。

背景技術

通常，半導體工藝中，蝕刻裝置具備將進行蝕刻工藝的腔室和向腔室內施加真空或將腔室的殘留氣體向外部排出的真空泵連接的結構，通常在連接腔室和真空泵之間的連接管設置搖擺閥。

鐘擺閥包括：閥殼，其配備有流入口和流出口；閥門，其位于閥殼的內部空間并與支撐臂連接，所述支撐臂與軸堅固地連接。軸可沿長度方向軸周圍旋轉，并可沿上下的軸方向移動。

圖1是示出根據現有技術的鐘擺閥的平面圖，圖2是截面圖。在此，圖2是沿圖1示出的I-Ⅱ截取線截斷而示出的截面圖。

參照圖1及圖2，根據現有技術的鐘擺閥50通常設置于連接管40并打開和關閉，所述連接管40在干式蝕刻裝置的腔室和真空泵之間連接真空泵，基本上包括：閥殼10，其設置于連接管40；蓋20，其與閥殼10緊密連接；開關部30，其使得連接管40打開和關閉。

閥殼10垂直貫通形成有空氣通路37，以便使得腔室和真空泵連通，運轉室12以與空氣通路37連通的形式向內部水平地形成。并且，開關部30包括圓盤形狀的閥門31和驅動部33，驅動部33使得閥門31進行鐘擺運動并使得連接管40打開和關閉，驅動部33包括步進馬達32和軸(shaft)38，軸38通過齒輪36連接于步進馬達的軸34的一端，此時，在軸38的另一端連接有閥門31的一端。

步進馬達32獨立地設置于閥殼10的下部，使得上部凸出設置于運轉室12的軸38旋轉。據此，閥門31一端與軸38的上部連接后旋轉運轉的同時使得空氣通路37打開和關閉。密封口39以與空氣通路37接觸的形式設置于運轉室12的上部，通過氣缸25的運轉而下降運轉，密封環39a、39b以使得閥門31堅固地密封的形式進行兩面結合。步進馬達32借助電信號運轉，齒輪36起到將步進馬達32的動力傳遞至軸38的作用。

對具備這樣構成的現有技術的鐘擺閥50的動作特性進行說明。

圖3及圖4是用于說明根據現有技術的鐘擺閥的動作特性而示出的截面，圖3是連接管開放的狀態，圖4是連接管關閉的狀態。

首先，參照圖3，對使得連接管開放的過程進行說明。

如圖3所示，以使得閥殼10的空氣通路37位于腔室和真空泵之間的形式設置后，向步進馬達32發送控制信號并控制步進馬達32。此時，步進馬達32初始運轉，與用于制造半導體元件的裝備設置的軟件中已設定的設定值相對應而旋轉。

步進馬達32的旋轉力通過齒輪36傳遞至軸38。軸38根據通過齒輪36傳遞的步進馬達32的旋轉力而旋轉，閥門31以軸38為軸進行旋轉，使得形成于閥殼10的空氣通路37開放，從而通過空氣通路37進出空氣。此時，密封口39借助氣缸25向上部移動，與閥門31隔開一定間隔。

參照圖4，對使得連接管關閉的過程進行說明。