[發明專利]鐘擺閥在審
| 申請號： | 202110513123.5 | 申請日： | 2021-05-11 |
| 公開（公告）號： | CN113653819A | 公開（公告）日： | 2021-11-16 |
| 發明（設計）人： | 安熙俊;金湊澤 | 申請（專利權）人： | 褔田株式會社 |
| 主分類號： | F16K3/10 | 分類號： | F16K3/10;F16K3/30;F16K27/04;F16K41/02 |
| 代理公司： | 北京冠和權律師事務所 11399 | 代理人： | 朱健 |
| 地址： | 韓國京畿*** | 國省代碼： | 暫無信息 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 鐘擺 | ||
【權利要求書】：
1.一種鐘擺閥，半導體元件制造用裝備的鐘擺閥設置于工藝進行用腔室和真空泵之間，其特征在于，包括：
閥殼，其以使得腔室和真空泵連通的形式貫通形成有空氣通路，以與所述空氣通路連通的形式形成運轉室；
閥門，其設置于閥殼的內部并通過鐘擺運動使得空氣通路打開和關閉；
軸，其與閥門的一端部連接，并使得閥門旋轉；
馬達，其使得軸旋轉；以及，
齒輪箱，其將馬達的驅動力傳遞至軸，
所述軸，包括：
固定殼，其貫通閥殼的下部并進行結合固定；
唇封，其設置于固定殼的內部；以及，
旋轉軸，其以貫通唇封的中央的形式結合于唇封的內側，一端部與齒輪箱結合，另一端部與閥門的一端部結合，借助通過齒輪箱傳遞的驅動力以唇封為軸進行旋轉，從而使得閥門旋轉。
2.根據權利要求1所述的鐘擺閥，其特征在于，
軸還包括第一蓋及第二蓋，第一蓋及第二蓋以與旋轉軸的端部貫通結合的形式分別結合于固定殼的兩側部。
3.根據權利要求1所述的鐘擺閥，其特征在于，
軸還包括襯套，其沿唇封的兩側設置于固定殼的內部，以便防止唇封從固定殼脫離。
4.根據權利要求1所述的鐘擺閥，其特征在于，
在緊密地緊貼于閥殼的下部的固定殼的掛坎部，為了真空密閉而設置有密封圈。
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