[發(fā)明專利]用于遞送釩化合物的方法和系統(tǒng)

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110509409.6
• 申請(qǐng)日: 2021-05-11
• 公開（公告）號(hào): CN113637956A
• 公開（公告）日: 2021-11-12
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: C.德澤拉;謝琦;P.雷薩寧;D.皮埃羅;B.瓊布羅德;W.科內(nèi)鵬;E.J.希羅
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: ASMIP私人控股有限公司
• 主分類號(hào): C23C16/455
• 分類號(hào): C23C16/455
• 代理公司: 北京市柳沈律師事務(wù)所 11105
• 代理人: 焦玉恒

1.一種方法，包括：

將四氯化釩設(shè)置在遞送容器中；

將所述四氯化釩遞送到與所述遞送容器流體連通的反應(yīng)室；

減緩所述四氯化釩的分解產(chǎn)物向所述反應(yīng)室的遞送；以及

將所述四氯化釩施加到設(shè)置在所述反應(yīng)室中的襯底以在所述襯底上形成包括釩的層。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中包括三氯化釩和氯氣的所述四氯化釩的分解產(chǎn)物的遞送的減緩包括減緩所述四氯化釩在所述遞送容器內(nèi)的分解。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中減緩所述四氯化釩在所述遞送容器內(nèi)的分解包括在將所述四氯化釩遞送到所述反應(yīng)室之前向所述遞送容器供給過量氯氣。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中減緩所述四氯化釩在所述遞送容器內(nèi)的分解包括將所述四氯化釩和所述氯氣從所述遞送容器轉(zhuǎn)移到廢棄罐；以及在將所述四氯化釩遞送到所述反應(yīng)室之前將新鮮四氯化釩遞送到所述遞送容器中。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中所述遞送容器包括底部凹陷區(qū)域，其中浸入管的尖端設(shè)置在所述底部凹陷區(qū)域內(nèi)。

6.根據(jù)權(quán)利要求4所述的方法，其中從與所述遞送容器流體連通的大容量供給罐將所述新鮮四氯化釩設(shè)置到所述遞送容器中。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的方法，還包括減緩所述新鮮四氯化釩在所述大容量供給罐內(nèi)的分解。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中減緩所述新鮮四氯化釩在所述大容量供給罐內(nèi)的分解包括向所述大容量供給罐供給過量氯氣。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中減緩所述新鮮四氯化釩在所述大容量供給罐內(nèi)的分解包括從所述大容量供給罐移除所述氯氣。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的方法，其中從所述大容量供給罐移除所述氯氣還包括從所述大容量供給罐移除包括在包括所述新鮮四氯化釩的成分中的溶解的氯氣。

11.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中減緩所述四氯化釩在所述遞送容器內(nèi)的分解包括從所述遞送容器移除所述氯氣。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的方法，其中從所述遞送容器移除所述氯氣還包括從所述遞送容器移除包括在包括所述四氯化釩的成分中的溶解的氯氣。

13.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，還包括：

監(jiān)測(cè)所述遞送容器內(nèi)的壓力，其中減緩所述四氯化釩在所述遞送容器內(nèi)的分解包括，響應(yīng)于所述壓力達(dá)到或超過壓力閾值水平，通過所述遞送容器的排放閥將所述分解產(chǎn)物中的一種或多種排放出所述遞送容器。

14.根據(jù)權(quán)利要求2所述的方法，其中減緩所述四氯化釩在所述遞送容器內(nèi)的分解包括，基于定時(shí)排放調(diào)度，通過所述遞送容器的排放閥將所述分解產(chǎn)物中的一種或多種周期性地排放出所述遞送容器。

15.根據(jù)權(quán)利要求1所述的方法，其中將四氯化釩遞送到所述反應(yīng)室包括使包括所述四氯化釩的成分流動(dòng)通過過濾器，所述過濾器移除所述成分中包括的氯氣。

16.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，還包括：

監(jiān)測(cè)所述大容量供給罐內(nèi)的壓力，其中減緩所述新鮮四氯化釩在所述大容量供給罐內(nèi)的分解包括，響應(yīng)于所述壓力達(dá)到或超過壓力閾值水平，通過所述大容量供給罐的排放閥將所述分解產(chǎn)物中的一種或多種排放出所述大容量供給罐。

17.根據(jù)權(quán)利要求7所述的方法，其中減緩所述新鮮四氯化釩在所述大容量供給罐內(nèi)的分解包括，基于定時(shí)排放調(diào)度，通過所述大容量供給罐的排放閥，將所述分解產(chǎn)物中的一種或多種周期性地排放出所述大容量供給罐。