[發(fā)明專利]陣列基板

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110501485.2
• 申請(qǐng)日: 2021-05-08
• 公開（公告）號(hào): CN113299674B
• 公開（公告）日: 2022-09-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 湯富雄;龔帆;艾飛;宋繼越
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 武漢華星光電技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): H01L27/146
• 分類號(hào): H01L27/146
• 代理公司: 深圳紫藤知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 遠(yuǎn)明

本申請(qǐng)公開了一種陣列基板，該陣列基板包括一半導(dǎo)體層，該半導(dǎo)體層定義有有源區(qū)和感光區(qū)，該有源區(qū)包括溝道區(qū)，該感光區(qū)包括P型半導(dǎo)體區(qū)、N型半導(dǎo)體區(qū)以及設(shè)置于所述P型半導(dǎo)體區(qū)與所述N型半導(dǎo)體區(qū)之間的I型半導(dǎo)體區(qū)。該陣列基板將PIN光電二極管和有源區(qū)集成于同一半導(dǎo)體層上以達(dá)到降低生產(chǎn)成本、提高顯示面板電子元器件集成度的目的，并在與I型半導(dǎo)體區(qū)相對(duì)應(yīng)的位置處引入柵極電流以達(dá)到提高感光靈敏度的目的。該陣列基板的制備方法適用于工業(yè)化生產(chǎn)，有利于控制生產(chǎn)成本。

技術(shù)領(lǐng)域

本申請(qǐng)涉及顯示技術(shù)領(lǐng)域，尤其涉及一種陣列基板。

背景技術(shù)

隨著顯示技術(shù)的迅猛發(fā)展，市場(chǎng)對(duì)顯示面板的要求日益提升，顯示面板不僅需要滿足高分辨率、寬視角和高對(duì)比度等基本顯示要求，而且需要具有一些獨(dú)特的功能以滿足多樣化的應(yīng)用場(chǎng)景，以提高使用者的體驗(yàn)感，從而增加顯示面板在市場(chǎng)上的競(jìng)爭(zhēng)力。

目前，市場(chǎng)上已出現(xiàn)裝載有感光傳感器的顯示面板，其能夠?qū)崿F(xiàn)指紋識(shí)別、環(huán)境光監(jiān)測(cè)、紫外探測(cè)、脈搏測(cè)量等多種重要應(yīng)用場(chǎng)景，而感光傳感器是實(shí)現(xiàn)光信號(hào)轉(zhuǎn)換為可以直接讀取的電信號(hào)的關(guān)鍵模塊。感光傳感器通常以外掛的形式裝載于顯示面板上，具有增加制造成本、降低電子元件集成度、靈敏度低、美觀性差的缺點(diǎn)。

因此，迫切需要研發(fā)一種顯示面板，能夠改變感光傳感器外掛于顯示面板的裝載形式。

發(fā)明內(nèi)容

本申請(qǐng)?zhí)峁┝艘环N陣列基板，該陣列基板能夠應(yīng)用于顯示面板中，以改變現(xiàn)有技術(shù)中感光傳感器外掛于顯示面板的裝載形式。

本申請(qǐng)的技術(shù)方案如下所述：

一種陣列基板，該陣列基板包括：

一基板；以及

一半導(dǎo)體層，設(shè)置于所述基板上；

其中，所述半導(dǎo)體層定義有有源區(qū)和感光區(qū)，所述有源區(qū)包括溝道區(qū)，所述感光區(qū)包括橫向排列的P型半導(dǎo)體區(qū)、N型半導(dǎo)體區(qū)以及I型半導(dǎo)體區(qū)，所述I型半導(dǎo)體區(qū)設(shè)置于所述P型半導(dǎo)體區(qū)與所述N型半導(dǎo)體區(qū)之間。

進(jìn)一步的，所述陣列基板還包括：柵極層，設(shè)置于所述基板上，且所述柵極層在所述基板上的正投影覆蓋所述溝道區(qū)在基板上的正投影。

進(jìn)一步的，所述陣列基板還包括：

一第一導(dǎo)電層，設(shè)置于所述半導(dǎo)體層上，所述第一導(dǎo)電層包括分別與所述半導(dǎo)體層相連的源極和漏極；以及

一第二導(dǎo)電層，設(shè)置于所述第一導(dǎo)電層上，所述第二導(dǎo)電層包括調(diào)節(jié)電極，所述調(diào)節(jié)電極在所述基板上的正投影覆蓋所述I型半導(dǎo)體區(qū)在所述基板上的正投影。

進(jìn)一步的，所述陣列基板還包括一遮光層，所述遮光層設(shè)置于所述基板和所述半導(dǎo)體層之間；所述遮光層包括間隔設(shè)置的第一遮光層和第二遮光層，所述第一遮光層在所述基板上的正投影覆蓋所述溝道區(qū)在所述基板上的正投影，且所述第二遮光層在所述基板上的正投影覆蓋所述I型半導(dǎo)體區(qū)在所述基板上的正投影；

所述第二導(dǎo)電層還包括輔助調(diào)節(jié)電極，所述輔助調(diào)節(jié)電極與所述第二遮光層相連。

作為替代性實(shí)施方案，所述陣列基板還包括：

一遮光層，設(shè)置于所述基板和所述半導(dǎo)體層之間，所述遮光層包括間隔設(shè)置的第一遮光層和第二遮光層，所述第一遮光層在所述基板上的正投影覆蓋所述溝道區(qū)在所述基板上的正投影，且所述第二遮光層在所述基板上的正投影覆蓋所述I型半導(dǎo)體區(qū)在所述基板上的正投影；

一第一導(dǎo)電層，設(shè)置于所述半導(dǎo)體層上，所述第一導(dǎo)電層包括分別與所述半導(dǎo)體層相連的源極和漏極；以及

一第二導(dǎo)電層，設(shè)置于所述第一導(dǎo)電層上，所述第二導(dǎo)電層包括調(diào)節(jié)電極，所述調(diào)節(jié)電極與所述第二遮光層相連。

本申請(qǐng)還提供了一種陣列基板，該陣列基板包括：