[發(fā)明專利]Micro LED顯示裝置及其制備方法

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• 申請日: 2021-05-07
• 公開（公告）號: CN113161382A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 鄒英華;戴兆宇;段秋艷;羅展佑
• 申請（專利權(quán)）人: TCL華瑞照明科技（惠州）有限公司;華瑞光電（惠州）有限公司
• 主分類號: H01L27/15
• 分類號: H01L27/15;H01L33/00;H01L33/36;H01L33/44;H01L33/48;H01L33/50;H01L33/62
• 代理公司: 北京力量專利代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 11504
• 代理人: 郭大為

1.一種Micro LED顯示裝置的制備方法，其特征在于，包括：

提供襯底，對所述襯底進行外延生長處理操作，形成外延層，所述外延層包括N型GaN層、發(fā)光層及P型GaN層；

對所述發(fā)光層及所述P型GaN層進行蝕刻操作，以對所述發(fā)光層及所述P型GaN層進行分割，形成多個發(fā)光單元；

向多個所述發(fā)光單元的表面涂覆絕緣膠，形成絕緣層；

對所述絕緣層進行開口操作，以使所述P型GaN層及所述N型GaN層部分露出，所述P型GaN層露出部分為P極焊盤，所述N型GaN層露出部分為N極焊盤；

通過蒸鍍在所述絕緣層上形成電路層，所述電路層分別與所述P極焊盤及所述N極焊盤連接，得到發(fā)光模組；

提供玻璃基板，在所述玻璃基板上涂覆光阻層；再對所述光阻層進行開槽操作，形成多個第一發(fā)光槽、多個第二發(fā)光槽及多個第三發(fā)光槽，多個所述第一發(fā)光槽、多個所述第二發(fā)光槽及多個所述第三發(fā)光槽呈矩陣分布，一所述第一發(fā)光槽、一所述第二發(fā)光槽及一所述第三發(fā)光槽在橫向方向上依次順序排布；

在每一所述第一發(fā)光槽中涂覆紅色熒光粉，形成紅色熒光粉層，在每一所述第二發(fā)光槽中涂覆綠色熒光粉，形成綠色熒光粉層，在每一所述第三發(fā)光槽中涂覆透明膠，形成透明膠層，再在所述紅色熒光粉層、綠色熒光粉層及透明膠層上分別覆蓋紅色濾光片、綠色濾光片及藍色濾光片，得到濾光板；

將濾光板扣合于發(fā)光模組上，得到Micro LED顯示裝置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Micro LED顯示裝置的制備方法，其特征在于，在所述向多個所述發(fā)光單元的表面涂覆絕緣膠的操作之前，還對每一所述發(fā)光單元進行開孔操作，以使所述N型GaN層部分露出。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的Micro LED顯示裝置的制備方法，其特征在于，在所述對每一所述發(fā)光單元進行開孔操作，以使所述N型GaN層部分露出的操作之后，還在所述P型GaN層上設(shè)置反光層。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Micro LED顯示裝置的制備方法，其特征在于，所述絕緣層為二氧化硅絕緣層。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Micro LED顯示裝置的制備方法，其特征在于，在所述向多個所述發(fā)光單元的表面涂覆絕緣膠，形成絕緣層的操作中，還在所述絕緣層的表面噴涂納米碳顆粒，以使所述納米碳顆粒粘附于所述絕緣層上。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的Micro LED顯示裝置的制備方法，其特征在于，在得到濾光板之前，還在所述光阻層上涂覆透明膠，形成保護膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項中所述的Micro LED顯示裝置的制備方法，其特征在于，所述的透明膠為環(huán)氧樹脂透明膠。

8.根據(jù)權(quán)利要求3任一項中所述的Micro LED顯示裝置的制備方法，其特征在于，所述反光層為銀反光層。

9.根據(jù)權(quán)利要求1-6任一項中所述的Micro LED顯示裝置的制備方法，其特征在于，所述襯底為藍寶石襯底。

10.一種Micro LED顯示裝置，其特征在于，包括：

發(fā)光模組，所述發(fā)光模組包括襯底、N型GaN層、發(fā)光層、P型GaN層及絕緣層，所述襯底、所述N型GaN層、所述發(fā)光層、所述P型GaN層及所述絕緣層依次疊設(shè)，所述絕緣層遠離所述P型GaN層的一面設(shè)置有電路層，所述電路層分別與所述N型GaN層及所述P型GaN層連接；及

濾光板，所述濾光板包括玻璃基板及光阻層，所述玻璃基板設(shè)置于所述襯底遠離所述N型GaN層的一面上，所述光阻層設(shè)置于所述玻璃基板遠離所述襯底的一面上，所述光阻層開設(shè)有多個第一發(fā)光槽、多個第二發(fā)光槽及多個第三發(fā)光槽，各所述第一發(fā)光槽、各所述第二發(fā)光槽及各所述第三發(fā)光槽呈矩陣分布，每一所述第一發(fā)光槽中設(shè)置有紅光像素單元，每一所述第二發(fā)光槽中設(shè)置有綠光像素單元，每一所述第三發(fā)光槽中設(shè)置有藍光像素單元。