[發(fā)明專利]一種6-8英寸摻鐵鈮酸鋰晶體的生長方法在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110493980.3 | 申請日： | 2021-05-07 |
| 公開（公告）號： | CN113201791A | 公開（公告）日： | 2021-08-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 吉成;沈麗明 | 申請（專利權(quán)）人： | 蘇州晶采電子科技有限公司 |
| 主分類號： | C30B29/30 | 分類號： | C30B29/30;C30B15/00;C30B15/28 |
| 代理公司： | 蘇州謹(jǐn)和知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(特殊普通合伙) 32295 | 代理人： | 許冬瑩 |
| 地址： | 215123 江蘇省蘇州市蘇州工*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 英寸 摻鐵鈮酸鋰 晶體 生長 方法 | ||
1.一種6-8英寸摻鐵鈮酸鋰晶體的生長方法，其特征在于，包括如下步驟：
(1)摻鐵鈮酸鋰多晶料的制備：選用高純4N的Li2CO3、Nb2O5、Fe2O3粉體為原料，將上述原料按照一定的質(zhì)量比稱量后配料，將充分混合的原料壓成塊餅，在1140℃下煅燒12小時發(fā)生固相反應(yīng)后，得到晶體生長所需的摻鐵鈮酸鋰多晶料；
(2)采用提拉法，通過優(yōu)化生長工藝參數(shù)制備高成品率、大尺寸摻鐵鈮酸鋰晶體：提拉法晶體生長爐主要有保溫系統(tǒng)、稱量系統(tǒng)、旋轉(zhuǎn)提拉系統(tǒng)和控制系統(tǒng)組成。將制備好的多晶料放入鉑金坩堝，將坩堝放入特定的溫場中，通過特定方式加熱使其充分熔化，得到晶體生長熔體，再通過接種、放肩、提拉等長晶工藝生長晶體，將得到的摻鐵鈮酸鋰晶體進行退火、極化，以2℃/min升溫至1150-1175℃，并恒溫15h后，通電進行極化，極化電流為40-50mA/cm2，半小時后以2℃/min冷卻至室溫；
(3)將極化后的不同摻鐵濃度的鈮酸鋰晶體通過定向、切割、研磨加工成晶片，并測試晶片的電阻率。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種6-8英寸摻鐵鈮酸鋰晶體的生長方法，其特征在于，所述Li2CO3、Nb2O5、Fe2O3的質(zhì)量比范圍為263：1000：(0.1-0.8)。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種6-8英寸摻鐵鈮酸鋰晶體的生長方法，其特征在于，所述的熔體法晶體生長，包括不采用籽晶生長和采用籽晶定向生長；對于采用籽晶定向生長的，籽晶方向為[100]、[010]、[001]或[10·4]方向。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種6-8英寸摻鐵鈮酸鋰晶體的生長方法，其特征在于，所述鉑金坩堝的尺寸為直徑：210-310，高：75-125，壁厚：0.8-1.5mm。
5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種6-8英寸摻鐵鈮酸鋰晶體的生長方法，其特征在于，所述特定方式加熱為感應(yīng)線圈加熱、硅碳棒電阻加熱或硅鉬棒電阻加熱。
6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種6-8英寸摻鐵鈮酸鋰晶體的生長方法，其特征在于，所述保溫系統(tǒng)的軸向溫度梯度為10-30℃/cm。
7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種6-8英寸摻鐵鈮酸鋰晶體的生長方法，其特征在于，所述晶體生長的參數(shù)為：提拉速度為1.5～2.5mm/h，旋轉(zhuǎn)速度為6-9rpm。
8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種6-8英寸摻鐵鈮酸鋰晶體的生長方法，其特征在于，所述摻鐵鈮酸鋰晶體的直徑為6-8英寸。
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