[發(fā)明專利]一種氧化銦錫蒸鍍靶材的制備方法在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110491264.1 | 申請(qǐng)日： | 2021-05-06 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN113185279A | 公開（公告）日： | 2021-07-30 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 張倍維;陸映東;王凱;梁盈祥;宋春華 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 廣西晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司 |
| 主分類號(hào)： | C04B35/457 | 分類號(hào)： | C04B35/457;C04B35/622;C23C14/35;C23C14/24;C23C14/08 |
| 代理公司： | 柳州市榮久專利商標(biāo)事務(wù)所(普通合伙) 45113 | 代理人： | 韋微 |
| 地址： | 545616 廣西壯族自治區(qū)柳州市柳*** | 國(guó)省代碼： | 廣西;45 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 氧化 銦錫蒸鍍靶材 制備 方法 | ||
1.一種氧化銦錫蒸鍍靶材的制備方法，其特征在于：包括以下步驟：
（1）取凈化處理過的ITO靶材廢料進(jìn)行破碎；
（2）破碎后的粉料，用20-40目篩網(wǎng)過篩，未過篩網(wǎng)的較大碎顆粒回收，過篩網(wǎng)的粉料待用；
（3）再將粉料用100-200目篩網(wǎng)過篩，未過篩網(wǎng)的粉料為粗顆粒，過篩網(wǎng)的粉料為細(xì)粉；
（4）按粗顆粒、細(xì)粉體積比5-8:2-4計(jì)，取粗顆粒、細(xì)粉與有機(jī)粘結(jié)劑混合，有機(jī)粘結(jié)劑的加入量為粗顆粒和細(xì)粉總重量的5-8%，所述有機(jī)粘結(jié)劑是含量為2-5%的PVA水溶液；
（5）均勻混合后的粉體用20-60目篩網(wǎng)過篩造粒；
（6）將造粒粉體裝入模具中壓制成型；
（7）將成型后的胚體放入常壓氧氛燒結(jié)爐中燒結(jié)，燒結(jié)溫度為1450-1650℃，保溫2-5h，得到氧化銦錫蒸鍍靶材。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種氧化銦錫蒸鍍靶材的制備方法，其特征在于：步驟（1）中，ITO靶材廢料凈化處理的具體操作是：將ITO靶材廢料在稀鹽酸中浸泡1.5-2.5小時(shí)后用純水洗凈，再烘干。
3.根據(jù)權(quán)利要求1或2所述的一種氧化銦錫蒸鍍靶材的制備方法，其特征在于：步驟（1）中，破碎的具體操作是：將ITO靶材廢料放入破碎機(jī)中破碎1-5分鐘。
該專利技術(shù)資料僅供研究查看技術(shù)是否侵權(quán)等信息，商用須獲得專利權(quán)人授權(quán)。該專利全部權(quán)利屬于廣西晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司，未經(jīng)廣西晶聯(lián)光電材料有限責(zé)任公司許可，擅自商用是侵權(quán)行為。如果您想購(gòu)買此專利、獲得商業(yè)授權(quán)和技術(shù)合作，請(qǐng)聯(lián)系【客服】
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