[發明專利]一種光罩曝光顯影工藝在審
| 申請號： | 202110488523.5 | 申請日： | 2021-05-06 |
| 公開（公告）號： | CN113126456A | 公開（公告）日： | 2021-07-16 |
| 發明（設計）人： | 鄭永慶;張衡;陳宏淵 | 申請（專利權）人： | 艾斯爾光電（南通）有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/32 | 分類號： | G03F7/32;G03F7/30;G03F7/20 |
| 代理公司： | 北京權智天下知識產權代理事務所(普通合伙) 11638 | 代理人： | 王新愛 |
| 地址： | 226000 江蘇省*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 曝光 顯影 工藝 | ||
1.一種光罩曝光顯影工藝,其特征在于：包括以下步驟：
A、首先將光罩置于光罩載臺上，并通過負壓將光罩吸附固定于光罩載臺上；
B、將光罩載臺通過多個氣缸頂緊；
C、將曝光系統的光源通過聚光透鏡照射至光罩上且光源完全遮蓋光罩，對光罩進行曝光；
D、將曝光后光罩放置于顯影液中進行顯影；
E、將顯影后的光罩傾斜放置于光罩放置架上，并沖洗光罩，最后進行干燥。
2.根據權利要求1所述的一種光罩曝光顯影工藝,其特征在于：所述步驟C中還包括光束結合器，所述曝光系統的光源通過光束結合器結合射出后在經過聚光透鏡進一步聚光后射出至光罩。
3.根據權利要求1所述的一種光罩曝光顯影工藝,其特征在于：所述步驟D中顯影液組分按重量份數包括碳酸鈉4-10份、碳酸鉀4-10份、丙酮3-12份、酚醛甲醛樹脂14-24份、硼酸2-5份、偏硼酸鉀1-3份。
4.根據權利要求1所述的一種光罩曝光顯影工藝,其特征在于：所述步驟D中光罩載顯影過程中不斷振蕩顯影液，同時控制顯影液溫度為35-40℃。
5.根據權利要求1所述的一種光罩曝光顯影工藝,其特征在于：所述步驟E中沖洗時先采用噴淋的方式沖洗光罩表面，沖洗干凈后再將光罩放入流動的去離子水槽內沖洗，沖洗時間為50min-60min。
6.根據權利要求1所述的一種光罩曝光顯影工藝,其特征在于：所述步驟E中采用低溫干燥，干燥溫度為60-70℃，時間為6min-10min。
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