[發(fā)明專利]壬酮內(nèi)酯聚合物樹脂、制備方法、含有該樹脂的193nm光刻膠組合物的制備方法

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• 申請?zhí)枺?/td>: 202110486618.3
• 申請日: 2021-05-01
• 公開（公告）號: CN113307907A
• 公開（公告）日: 2021-08-27
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 馬瀟;周浩杰;陳鵬;毛智彪;許從應(yīng)
• 申請（專利權(quán)）人: 寧波南大光電材料有限公司
• 主分類號: C08F220/32
• 分類號: C08F220/32;C08F220/18;C08F220/28;C08F220/68;G03F7/004
• 代理公司: 深圳盛德大業(yè)知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 44333
• 代理人: 左光明

本發(fā)明公開了壬酮內(nèi)酯聚合物樹脂，其特征在于包含壬酮內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的功能單體,具有如下所示結(jié)構(gòu)A和B中的一種：其中，R1為含兩個碳原子以上的烷基基團或含有至少一個乙氧基以上結(jié)構(gòu)單元的基團，所述烷基基團表示為CnH2n+1，n為大于2的整數(shù)，乙氧基單元表示為?(C₂H₄O)m?，其中m為大于1的整數(shù)；R2為含兩個碳原子以上的烷基基團或含有至少一個乙氧基以上結(jié)構(gòu)單元的基團，所述烷基基團表示為CnH2n+1，n為大于2的整數(shù)，乙氧基單元表示為?(C₂H₄O)m?，其中m為大于1的整數(shù)；R3為碳原子或氧原子；R4為氫原子或甲基，該單體用于制備含有該壬酮內(nèi)酯聚合物，進(jìn)一步用于193nm光刻膠組合物，其能使光刻膠獲得2nm以下的邊緣粗糙度，又能獲得高分辨率，同時還能減小光刻膠缺陷，提升良率；

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及一種壬酮內(nèi)酯聚合物樹脂、制備方法、含有該樹脂的193nm光刻膠組合物的制備方法。

背景技術(shù)

光刻膠又稱光致抗蝕劑，是一種光敏材料，由樹脂、光敏劑劑、溶劑、添加劑等成分組成的對光敏感的混合物。當(dāng)受到紫外光照射后會發(fā)生化學(xué)變化，在顯影過程中發(fā)生溶解度的差異，形成圖形結(jié)構(gòu)，是微電子技術(shù)中微細(xì)圖形加工的關(guān)鍵材料之一。

目前集成電路的光刻工藝已經(jīng)進(jìn)入28nm以下技術(shù)節(jié)點，對光刻膠的性能要求越來越高，為了滿足不斷更新的光刻工藝要求，對廣泛使用的193nm光刻膠提出了新的挑戰(zhàn)，要求具有更優(yōu)異的性能，如更小的低邊緣粗糙度、更高的高分辨率。目前市場上主流光刻膠的邊緣粗糙度達(dá)到了3-5nm，但是隨著光刻技術(shù)的進(jìn)步，某些光刻工藝要求193nm光刻膠的邊緣粗糙度達(dá)到2nm以下。我們知道，隨著光刻膠技術(shù)參數(shù)標(biāo)準(zhǔn)的提高，其制造難度也大大提高，如何降低光刻膠線條邊緣粗糙度，同時獲得更高分辨率，是各大光刻膠生產(chǎn)商一直以來需要攻克的難題。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明要解決的技術(shù)問題是提供一種壬酮內(nèi)酯聚合物樹脂，用于193nm光刻膠組合物，其能使制備得到的光刻膠獲得2nm以下的邊緣粗糙度，又能獲得高分辨率，同時還能減小光刻膠缺陷，提升良率。

為了實現(xiàn)上述發(fā)明目的，本發(fā)明采用下述技術(shù)方案：

為解決上述問題，本發(fā)明提出了一種壬酮內(nèi)酯聚合物樹脂，包含壬酮內(nèi)酯結(jié)構(gòu)的功能單體,具有如下所示結(jié)構(gòu)A和B中的一種：

其中，R1為含兩個碳原子以上的烷基基團或含有至少一個乙氧基以上結(jié)構(gòu)單元的基團，所述烷基基團表示為CnH2n+1，n為大于2的整數(shù)，乙氧基單元表示為-(C₂H₄O)m-，其中m為大于1的整數(shù)；

R2為含兩個碳原子以上的烷基基團或含有至少一個乙氧基以上結(jié)構(gòu)單元的基團，所述烷基基團表示為CnH2n+1，n為大于2的整數(shù)，乙氧基單元表示為-(C₂H₄O)m-，其中m為大于1的整數(shù)；

R3為碳原子或氧原子；

R4為氫原子或甲基。

本發(fā)明還提供一種產(chǎn)品性能良好的含有該壬酮內(nèi)酯聚合物樹脂的制備方法，包括以下步驟：

S01.配制含單體的混合液：將含所述AB功能單元的單體中的一種和其它丙烯酸單體溶解于第一溶劑中，得到含單體的混合液，

所述AB功能單元的單體：

S02：配制含引發(fā)劑的溶液：將引發(fā)劑溶解于第二溶劑，得到引發(fā)劑溶液；

S03：將含單體的混合液與含引發(fā)劑的溶液混合進(jìn)行聚合反應(yīng)：將所述引發(fā)劑溶液與所述混合液混合并于40～90℃恒溫回流聚合反應(yīng)2～30小時后冷卻至室溫，分離處理，烘干，得到含所述AB功能單元的聚合物樹脂。