[發明專利]靶材冷卻水排空裝置

有效

• 申請號: 202110485265.5
• 申請日: 2021-04-30
• 公開（公告）號: CN113135529B
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發明（設計）人: 田孟順;劉宏茂
• 申請（專利權）人: 深圳市華星光電半導體顯示技術有限公司
• 主分類號: B66F7/06
• 分類號: B66F7/06
• 代理公司: 深圳紫藤知識產權代理有限公司 44570
• 代理人: 李健

本申請實施例公開了一種靶材冷卻水排空裝置，靶材冷卻水排空裝置包括靶材承載部、靶材升降部和靶材固定部，靶材承載部包括相對設置的第一端和第二端；靶材升降部位于在靶材承載部的第一端；靶材固定部位于所述靶材升降部上方。其中，通過在靶材承載部的一端設置了靶材升降部，通過靶材升降部可以將靶材的固定端抬高到一定高度。這樣就可以使靶材內部的冷卻水從靶材的密封端流出。本申請實施例采用機械裝置替代純人力作業，從而實現半自動化作業，不僅可以在更換靶材作業的過程中高效的排出靶材內部的冷卻水，減少設備的保養時間，還可以保證作業人員的安全。

技術領域

本申請涉及顯示領域，尤其涉及一種靶材冷卻水排空裝置。

背景技術

目前，在現有的面板行業中，隨著玻璃的越來越大，靶材也越來越大。其中，在最新一代面板產線的設計中，靶材的設計重量已經達到了300千克，靶材的設計長度也超過了3米。

其中，在更換靶材時，需要將下機的靶材內部的冷卻水從一端排除。在現有的面板行業中，一般采用的是純人力作業。通過多人合力抬起靶材密封端，將其抬高到一定高度，使靶材內部的冷卻水從另一端排出。采用純人力作業排空靶材內部的冷卻水，不僅費時費力，增加了設備的保養時間，還不能保證作業人員的安全。

因此，如何更高效地排出靶材內部的冷卻水是現有面板廠家需要努力攻克的難關。

發明內容

本申請實施例提供一種靶材冷卻水排空裝置，可以解決現有面板廠家無法高效地排出靶材內部的冷卻水的技術問題。

本申請實施例提供一種靶材冷卻水排空裝置，包括：

靶材承載部，所述靶材承載部包括相對設置的第一端和第二端，所述靶材承載部用于放置靶材，所述靶材包括相對設置的固定端和密封端，所述固定端與所述第一端對應設置，所述密封端與所述第二端對應設置；

靶材升降部，所述靶材升降部位于在所述靶材承載部的第一端，所述靶材升降部用于抬高所述靶材的固定端；

靶材固定部，所述靶材固定部位于所述靶材升降部上方，所述靶材固定部用于固定所述靶材的固定端。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述靶材固定部包括承重板和靶材固定組件，其中，所述承重板位于所述靶材升降部上方，所述靶材固定組件位于所述承重板上方，所述靶材固定組件用于固定所述靶材的固定端。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述靶材固定組件包括第一固定件和第二固定件；其中，所述第一固定件與所述承重板固定連接，所述第二固定件設置在所述第一固定件上方，所述第一固定件上設置有第一卡口，所述第二固定件上設置有與所述第一卡口相對設置的第二卡口。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述靶材固定組件還包括連接件和固定軸；其中，所述第一固定件包括相對設置的第三端和第四端；所述第二固定件包括相對設置的第五端和第六端，所述第三端與所述第五端對稱設置，所述第四端和所述第六端對稱設置；所述固定軸的一端與所述第一固定件的第三端螺紋連接，所述固定軸的另一端與所述第二固定件的第五端卡接；所述連接件的一端與所述第一固定件的第四端鉸接，所述連接件的另一端與所述第二固定件的第六端鉸接。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述第一卡口和所述第二卡口均為弧形凹槽，且所述第一卡口的開口朝向所述第一固定件遠離所述承重板的一面，所述第二卡口的開口朝向所述第二固定件靠近所述承重板的一面。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述承重板和所述靶材固定組件之間設置有滑槽，所述承重板與所述滑槽固定連接，所述靶材固定組件與所述滑槽滑動連接。

可選的，在本申請的一些實施例中，所述靶材升降部包括相對設置的第一靶材升降子部和第二靶材升降子部，所述第一靶材升降子部設置在所述靶材固定部的一端，所述第二靶材升降子部設置在所述靶材固定部的另一端。