[發(fā)明專利]靶材冷卻水排空裝置

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110485265.5
• 申請日: 2021-04-30
• 公開（公告）號: CN113135529B
• 公開（公告）日: 2023-03-24
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 田孟順;劉宏茂
• 申請（專利權(quán)）人: 深圳市華星光電半導(dǎo)體顯示技術(shù)有限公司
• 主分類號: B66F7/06
• 分類號: B66F7/06
• 代理公司: 深圳紫藤知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 44570
• 代理人: 李健

1.一種靶材冷卻水排空裝置，其特征在于，包括：

靶材承載部，所述靶材承載部包括相對設(shè)置的第一端和第二端，所述靶材承載部用于放置靶材，所述靶材包括相對設(shè)置的固定端和密封端，所述固定端與所述第一端對應(yīng)設(shè)置，所述密封端與所述第二端對應(yīng)設(shè)置，所述密封端用于排放冷卻水；

靶材升降部，所述靶材升降部位于在所述靶材承載部的第一端，所述靶材升降部用于抬高所述靶材的固定端；

靶材固定部，所述靶材固定部位于所述靶材升降部上方，所述靶材固定部包括靶材固定組件，所述靶材固定組件位于所述靶材升降部上方，所述靶材固定組件用于固定所述靶材的固定端；其中，

所述靶材固定組件包括第一固定件、第二固定件、連接件和固定軸；其中，所述第二固定件設(shè)置在所述第一固定件上方，所述第一固定件上設(shè)置有第一卡口，所述第二固定件上設(shè)置有與所述第一卡口相對設(shè)置的第二卡口，所述第一固定件包括相對設(shè)置的第三端和第四端；所述第二固定件包括相對設(shè)置的第五端和第六端，所述第三端與所述第五端對稱設(shè)置，所述第四端和所述第六端對稱設(shè)置；所述固定軸的一端與所述第一固定件的第三端螺紋連接，所述固定軸的另一端與所述第二固定件的第五端卡接；所述連接件的一端與所述第一固定件的第四端鉸接，所述連接件的另一端與所述第二固定件的第六端鉸接。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材冷卻水排空裝置，其特征在于，所述靶材固定部還包括承重板，其中，所述承重板位于所述靶材升降部上方，所述靶材固定組件位于所述承重板上方，所述承重板與所述第一固定件固定連接。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靶材冷卻水排空裝置，其特征在于，所述第一卡口和所述第二卡口均為弧形凹槽，且所述第一卡口的開口朝向所述第一固定件遠離所述承重板的一面，所述第二卡口的開口朝向所述第二固定件靠近所述承重板的一面。

4.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靶材冷卻水排空裝置，其特征在于，所述承重板和所述靶材固定組件之間設(shè)置有滑槽，所述承重板與所述滑槽固定連接，所述靶材固定組件與所述滑槽滑動連接。

5.根據(jù)權(quán)利要求2所述的靶材冷卻水排空裝置，其特征在于，所述靶材升降部包括相對設(shè)置的第一靶材升降子部和第二靶材升降子部，所述第一靶材升降子部設(shè)置在所述靶材固定部的一端，所述第二靶材升降子部設(shè)置在所述靶材固定部的另一端。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的靶材冷卻水排空裝置，其特征在于，所述第一靶材升降子部靠近所述承重板的一面上設(shè)置有第一卡接件，所述第二靶材升降子部靠近所述承重板的一面上設(shè)置有第二卡接件，所述承重板的一端與所述第一卡接件卡接，所述承重板的另一端與所述第二卡接件卡接。

7.根據(jù)權(quán)利要求5所述的靶材冷卻水排空裝置，其特征在于，所述第一靶材升降子部和所述第二靶材升降子部均為剪刀叉升降機。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的靶材冷卻水排空裝置，其特征在于，所述靶材承載部的第一端設(shè)置有除塵部。