[發(fā)明專利]一種防止分子泵前級泵反流的自動起閉式壓差閥在審
| 申請?zhí)枺?/td> | 202110484899.9 | 申請日： | 2021-04-30 |
| 公開（公告）號： | CN113202937A | 公開（公告）日： | 2021-08-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計）人： | 莊會東;陳鑫鑫;吳金華;王雅婷 | 申請（專利權(quán)）人： | 中國科學(xué)院合肥物質(zhì)科學(xué)研究院 |
| 主分類號： | F16K3/00 | 分類號： | F16K3/00;F16K3/314;F16K27/04;F16K31/122;F04D27/00 |
| 代理公司： | 北京科迪生專利代理有限責(zé)任公司 11251 | 代理人： | 張乾楨 |
| 地址： | 230031 安徽省*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 一種 防止 分子 泵前級泵反流 自動 起閉式壓差閥 | ||
本發(fā)明公開了一種防止分子泵前級泵氣體反流的自動啟閉式壓差閥，包括入口法蘭、出口法蘭、啟閉模塊、密封圈、閥芯活動腔、旁通管道、背壓腔、密封波紋管、限位塊，所述的入口法蘭用于連接前級泵的吸氣口，所述出口法蘭用于連接分子泵的排氣口；所述的閥芯活動腔中活動設(shè)置有一個啟閉模塊，所述的啟閉模塊為一中間開有通孔的可上下移動的運動模塊；所述運動模塊另一側(cè)與背壓腔連接，所述背壓腔通過旁通管道連接到入口法蘭，所述的啟閉模塊的中間通孔能夠在運動模塊處于預(yù)定位置時連通入口法蘭和出口法蘭；當(dāng)背壓腔內(nèi)的氣壓較高時，此時該啟閉模塊就會向上運動，因此啟閉模塊內(nèi)部的通孔與所述的入口法蘭和出口法蘭就會斷開，因此實現(xiàn)了閥門的自動關(guān)閉。
技術(shù)領(lǐng)域
本發(fā)明涉真空領(lǐng)域及核聚變領(lǐng)域，涉及一種防止分子泵前級泵氣體反流的自動啟閉式壓差閥。
背景技術(shù)
分子泵是一種靠高速旋轉(zhuǎn)的葉片來實現(xiàn)氣體分子排出的真空抽氣設(shè)備，分子泵運轉(zhuǎn)時必須配備合適的前級泵把分子泵吸入的氣體及時排出，以保持分子泵出口氣處于分子流狀態(tài)，從而保證分子泵的正常運轉(zhuǎn)。分子泵通常采用油泵或渦旋干泵作為其前級泵，這些前級泵在故障時會導(dǎo)致其抽氣能力不足，從而會導(dǎo)致分子泵前級氣壓過高，會影響分子泵正常運動，同時也有可能會導(dǎo)致大氣或者油蒸汽反流到真空腔體中，會對真空腔體造成嚴(yán)重的污染，因此當(dāng)發(fā)現(xiàn)前級真空變差時需要及時的把前級泵與分子泵隔開，因此急需一種安全可靠的自動啟閉閥門，來實現(xiàn)前級泵抽氣回路的自動啟閉。
發(fā)明內(nèi)容
為了解決上述技術(shù)問題，基于保護(hù)真空設(shè)備的目的，本發(fā)明提出了一種防止分子泵前級泵氣體反流的自動啟閉式壓差閥，可以在前級真空度變差時自動切斷前級抽氣回路，從而可以有效的避免前級高氣壓對分子泵的沖擊及防止前級氣體對真空腔體的污染。具體而言，該閥門在前級泵未啟動時處于常閉狀態(tài)，待前級泵把氣壓抽到幾帕的真空度時，該壓差閥的閥芯在內(nèi)部氣體壓差的作用下會自動開啟，當(dāng)前級泵的抽氣能力下降或損壞時，其抽氣口的氣壓會變差，因此壓差閥內(nèi)部閥芯所受的壓差就會減小，所以該壓差閥就會自動關(guān)閉，從而隔絕氣路，可以有效的防止前級氣體的反流，不僅可以保護(hù)分子泵免受高氣壓沖擊，而且還可以有效的防止真空腔體遭受污染。
本發(fā)明是通過以下技術(shù)方案實現(xiàn)的：一種防止分子泵前級泵氣體反流的自動啟閉式壓差閥，其特征在于：包括入口法蘭、出口法蘭、啟閉模塊、密封圈、閥芯活動腔、旁通管道、背壓腔、密封波紋管、限位塊，
其中，閥芯活動腔的一側(cè)連接有入口法蘭，另一側(cè)連接有出口法蘭，所述的入口法蘭用于連接前級泵的吸氣口，所述出口法蘭用于連接分子泵的排氣口；
所述的閥芯活動腔中活動設(shè)置有一個啟閉模塊，所述的啟閉模塊為一中間開有通孔的可上下移動的運動模塊，該模塊的上下兩端均安裝有密封圈，用于啟閉模塊與閥芯活動腔的密封，該運動模塊的一側(cè)與所述的密封波紋管連接，起到閥門密封的效果所述的密封波紋管同時給所述的啟閉模塊提供彈力；所述運動模塊另一側(cè)與背壓腔連接，所述背壓腔通過旁通管道連接到入口法蘭，所述的啟閉模塊的中間通孔能夠在運動模塊處于預(yù)定位置時連通入口法蘭和出口法蘭。
進(jìn)一步的，所述的啟閉模塊能夠根據(jù)背壓腔內(nèi)的氣壓大小上下移動，當(dāng)背壓腔內(nèi)的氣壓低于300Pa時，所述的啟閉模塊在氣壓差的作用下向下運動，啟閉模塊內(nèi)部的通孔與所述的入口法蘭和出口法蘭連通，因而實現(xiàn)閥門的開啟，當(dāng)背壓腔內(nèi)的氣壓高于300Pa時，所述的啟閉模塊所受的壓差就會減小，此時該啟閉模塊就會在密封波紋管的彈力作用下向上運動，因此啟閉模塊內(nèi)部的通孔與所述的入口法蘭和出口法蘭就會斷開，此時閥門就處于關(guān)閉狀態(tài)，因此實現(xiàn)了閥門的自動啟閉。
進(jìn)一步的，所述的閥芯活動腔中運動模塊的下側(cè)安裝有限位塊，用于對運動模塊向下運動的位置進(jìn)行限制。
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