[發明專利]一種防止分子泵前級泵反流的自動起閉式壓差閥

在審

• 申請號: 202110484899.9
• 申請日: 2021-04-30
• 公開（公告）號: CN113202937A
• 公開（公告）日: 2021-08-03
• 發明（設計）人: 莊會東;陳鑫鑫;吳金華;王雅婷
• 申請（專利權）人: 中國科學院合肥物質科學研究院
• 主分類號: F16K3/00
• 分類號: F16K3/00;F16K3/314;F16K27/04;F16K31/122;F04D27/00
• 代理公司: 北京科迪生專利代理有限責任公司 11251
• 代理人: 張乾楨

1.一種防止分子泵前級泵氣體反流的自動啟閉式壓差閥，其特征在于：包括入口法蘭、出口法蘭、啟閉模塊、密封圈、閥芯活動腔、旁通管道、背壓腔、密封波紋管、限位塊，

其中，閥芯活動腔的一側連接有入口法蘭，另一側連接有出口法蘭，所述的入口法蘭用于連接前級泵的吸氣口，所述出口法蘭用于連接分子泵的排氣口；

所述的閥芯活動腔中活動設置有一個啟閉模塊，所述的啟閉模塊為一中間開有通孔的可上下移動的運動模塊，該模塊的上下兩端均安裝有密封圈，用于啟閉模塊與閥芯活動腔的密封，該運動模塊的一側與所述的密封波紋管連接，起到閥門密封的效果所述的密封波紋管同時給所述的啟閉模塊提供彈力；所述運動模塊另一側與背壓腔連接，所述背壓腔通過旁通管道連接到入口法蘭，所述的啟閉模塊的中間通孔能夠在運動模塊處于預定位置時連通入口法蘭和出口法蘭。

2.根據權利要求1所述的一種防止分子泵前級泵氣體反流的自動啟閉式壓差閥，其特征在于：所述的啟閉模塊能夠根據背壓腔內的氣壓大小上下移動，當背壓腔內的氣壓低于300Pa時，所述的啟閉模塊在氣壓差的作用下向下運動，啟閉模塊內部的通孔與所述的入口法蘭和出口法蘭連通，因而實現閥門的開啟，當背壓腔內的氣壓高于300Pa時，所述的啟閉模塊所受的壓差就會減小，此時該啟閉模塊就會在密封波紋管的彈力作用下向上運動，因此啟閉模塊內部的通孔與所述的入口法蘭和出口法蘭就會斷開，此時閥門就處于關閉狀態，因此實現了閥門的自動啟閉。

3.根據權利要求1所述的一種防止分子泵前級泵氣體反流的自動啟閉式壓差閥，其特征在于：所述的閥芯活動腔中運動模塊的下側安裝有限位塊，用于對運動模塊向下運動的位置進行限制。

4.根據權利要求1所述的一種防止分子泵前級泵氣體反流的自動啟閉式壓差閥，其特征在于：所述的密封波紋管的勁度系數及長度為定制結構，用于給所述的啟閉模塊提供精確的回復力，當所述的背壓腔體內的氣壓等于第一壓力時，閥門正好處于關閉狀態，當背壓腔體內的氣壓小于第一壓力時，啟閉模塊在向下壓力的作用下向下運動，因此閥門逐漸開啟，隨著背壓腔體內的氣壓逐漸降低，啟閉模塊受到向下的壓力逐漸增大，閥門開啟的幅度逐漸增大，直到啟閉模塊達到所述的限位塊，閥門實現完全開啟。