[發(fā)明專利]一種聲表面波諧振器的制作方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110483492.4
• 申請(qǐng)日: 2021-04-30
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113162580A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王放;宋崇希;邱魯巖;姚艷龍
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 江蘇卓勝微電子股份有限公司
• 主分類號(hào): H03H9/64
• 分類號(hào): H03H9/64;H03H3/02
• 代理公司: 北京品源專利代理有限公司 11332
• 代理人: 孟金喆

本發(fā)明實(shí)施例提供一種聲表面波諧振器的制作方法，該制作方法包括：提供一壓電襯底；在壓電襯底一側(cè)制作叉指式換能器；在叉指式換能器遠(yuǎn)離壓電襯底的一側(cè)形成溫度補(bǔ)償層，溫度補(bǔ)償層的厚度在目標(biāo)溫度補(bǔ)償層厚度的110％～120％之間，其中，溫度補(bǔ)償層包括第一補(bǔ)償區(qū)和第二補(bǔ)償區(qū)；在溫度補(bǔ)償層遠(yuǎn)離壓電襯底的一側(cè)形成金屬膜層，金屬膜層包括第一金屬區(qū)和第二金屬區(qū)；去除第一金屬區(qū)；去除部分第一補(bǔ)償區(qū)形成第三補(bǔ)償區(qū)；去除第二金屬區(qū)；對(duì)第三補(bǔ)償區(qū)和第二補(bǔ)償區(qū)進(jìn)行處理。本發(fā)明實(shí)施例提供的制作方法可以減小溫度補(bǔ)償層在制作過(guò)程中對(duì)壓電襯底的應(yīng)力，提高聲表面波諧振器的產(chǎn)能，進(jìn)而提高聲表面波濾波器的產(chǎn)能。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及通信領(lǐng)域，特別是涉及一種聲表面波諧振器的制作方法。

背景技術(shù)

隨著通信技術(shù)從2G發(fā)展至5G，通信頻段數(shù)目逐步增加(從2G的4個(gè)頻段上升到5G的50余個(gè)頻段)。為了提高通信設(shè)備對(duì)不同通信制式的兼容能力，5G智能通信設(shè)備所需要的濾波器用量將顯著上升，推動(dòng)濾波器市場(chǎng)大規(guī)模增長(zhǎng)。目前無(wú)線通信終端中廣泛應(yīng)用的射頻濾波器是聲表面波濾波器，負(fù)責(zé)接收和發(fā)射通道的射頻信號(hào)，將輸入的多種射頻信號(hào)中特定頻率的信號(hào)輸出，聲表面波濾波器包括聲表面波諧振器，聲表面波諧振器包括溫度補(bǔ)償層。

現(xiàn)有的聲表面波諧振器中的溫度補(bǔ)償層采用傳統(tǒng)的溫度補(bǔ)償型聲表面波工藝技術(shù)，傳統(tǒng)的溫度補(bǔ)償型聲表面波工藝技術(shù)在叉指式換能器上覆蓋一層二氧化硅形成溫度補(bǔ)償層，再通過(guò)化學(xué)機(jī)械平坦化去除一部分溫度補(bǔ)償層，使其表面平整。由于叉指式換能器表面凹凸不平，當(dāng)采用較薄的溫度補(bǔ)償層時(shí)，溫度補(bǔ)償層表面會(huì)隨叉指式換能器表面凹凸不平，化學(xué)機(jī)械平坦化無(wú)法對(duì)溫度補(bǔ)償層進(jìn)行平整化，因此采用化學(xué)機(jī)械平坦化使溫度補(bǔ)償層表面平齊就需要在叉指式換能器上覆蓋一層很厚的溫度補(bǔ)償層。在化學(xué)機(jī)械平坦化過(guò)程中，由于鈮酸鋰晶圓自身很脆，加上厚的溫度補(bǔ)償層對(duì)鈮酸鋰晶圓產(chǎn)生較大的應(yīng)力，使其在化學(xué)機(jī)械平坦化過(guò)程中很容易產(chǎn)生裂片，導(dǎo)致產(chǎn)能下降。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明實(shí)施例提供一種聲表面波諧振器的制作方法，可以減小溫度補(bǔ)償層在制作過(guò)程中對(duì)壓電襯底的應(yīng)力，提高聲表面波諧振器的產(chǎn)能，進(jìn)而提高聲表面波濾波器的產(chǎn)能。

本發(fā)明實(shí)施例提供一種聲表面波諧振器的制作方法，該制作方法包括：

提供一壓電襯底；

在所述壓電襯底一側(cè)制作叉指式換能器；

在所述叉指式換能器遠(yuǎn)離所述壓電襯底的一側(cè)形成溫度補(bǔ)償層，所述溫度補(bǔ)償層覆蓋所述叉指式換能器和所述壓電襯底，所述溫度補(bǔ)償層的厚度在目標(biāo)溫度補(bǔ)償層厚度的110％～120％之間，其中，所述溫度補(bǔ)償層包括第一補(bǔ)償區(qū)和第二補(bǔ)償區(qū)，所述第一補(bǔ)償區(qū)在所述壓電襯底上的垂直投影覆蓋所述叉指式換能器在所述壓電襯底上的垂直投影，所述第二補(bǔ)償區(qū)在所述壓電襯底上的垂直投影位于所述叉指式換能器的間隙中；

在所述溫度補(bǔ)償層遠(yuǎn)離所述壓電襯底的一側(cè)形成金屬膜層，其中，所述金屬膜層包括第一金屬區(qū)和第二金屬區(qū)，所述第一金屬區(qū)在所述壓電襯底上的垂直投影覆蓋所述叉指式換能器在所述壓電襯底上的垂直投影，所述第二金屬區(qū)在所述壓電襯底上的垂直投影位于所述叉指式換能器的間隙中；

去除所述第一金屬區(qū)；

去除部分第一補(bǔ)償區(qū)形成第三補(bǔ)償區(qū)，使所述第三補(bǔ)償區(qū)遠(yuǎn)離所述壓電襯底的表面到所述壓電襯底的距離小于或等于所述第二補(bǔ)償區(qū)遠(yuǎn)離所述壓電襯底的表面到所述壓電襯底的距離，同時(shí)所述第三補(bǔ)償區(qū)遠(yuǎn)離所述壓電襯底的表面到所述壓電襯底的距離大于或等于所述目標(biāo)溫度補(bǔ)償層的厚度；

去除所述第二金屬區(qū)；

對(duì)所述第三補(bǔ)償區(qū)和所述第二補(bǔ)償區(qū)進(jìn)行處理，使處理后的第二補(bǔ)償區(qū)的厚度與所述目標(biāo)溫度補(bǔ)償層的厚度相等，且所述第三補(bǔ)償區(qū)遠(yuǎn)離所述壓電襯底的表面與所述第二補(bǔ)償區(qū)遠(yuǎn)離所述壓電襯底的表面平齊。

可選的，采用化學(xué)機(jī)械平坦化處理的方法去除所述第一金屬區(qū)或者采用干法刻蝕的方法去除所述第一金屬區(qū)。