[發(fā)明專利]一種嵌合式壓印模板及其制作方法

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• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110472405.5
• 申請(qǐng)日: 2021-04-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113156761A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 鄧萌萌
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 璞璘科技（杭州）有限公司
• 主分類號(hào): G03F7/00
• 分類號(hào): G03F7/00;G03F7/20
• 代理公司: 杭州中港知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 33353
• 代理人: 張曉紅

1.一種嵌合式壓印模板，其特征在于：通過(guò)一母模板（30）壓制而成，包括模板基材（10），所述模板基材（10）上開(kāi)設(shè)有若干凹槽（11），所述母模板（30）上形成有若干壓持槽（31），具有壓持槽（31）的母模板（30）表面與具有凹槽（11）的模板基材（10）表面相對(duì)，且所述模板基材（10）與所述母模板（30）之間留有預(yù)設(shè)間隙，預(yù)設(shè)間隙與凹槽（11）、壓持槽（31）之間形成一填充空間，該填充空間內(nèi)涂覆有模板膠（20），以供模板膠（20）固化，形成嵌合式壓印模板。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種嵌合式壓印模板，其特征在于，若干所述凹槽（11）等間距開(kāi)設(shè)在模板基材（10）上，每一凹槽（11）的截面形狀呈等腰梯形狀結(jié)構(gòu)，凹槽（11）的槽底截面尺寸大于槽口截面尺寸。

3.一種壓印模板的制作方法，其特征在于，用以制作權(quán)利要求1-2任一項(xiàng)所述的嵌合式壓印模板，包括以下步驟：

步驟1）：選擇通過(guò)加熱均可以變形的模板基材（10）并在模板基材（10）上輥壓凹槽（11）；

步驟2）：在母模板（30）與模板基材（10）之間的填充空間內(nèi)涂覆模板膠（20），以使母模板（30）與模板基材（10）緊密貼合，并使模板膠（20）固化；

步驟3）：固化模板膠（20）后，將母模板（30）沿模板膠（20）剝離后，模板膠（20）與模板基材（10）形成嵌合式壓印模板，壓印模板的圖案與母模板（30）的壓持槽（31）相對(duì)。

4.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓印模板的制作方法，其特征在于，所述步驟1中在具有凹槽（11）的模板基材（10）表面涂覆一層增粘劑。

5.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓印模板的制作方法，其特征在于，所述步驟1中的模板基材（10）通過(guò)具有內(nèi)嵌結(jié)構(gòu)的壓持輥（12）對(duì)模板基材（10）壓制所述凹槽（11）。

6.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓印模板的制作方法，其特征在于，所述步驟1中的模板基材（10）為PET薄膜或PVC薄膜或環(huán)氧樹(shù)脂類薄膜。

7.根據(jù)權(quán)利要求3所述的壓印模板的制作方法，其特征在于，所述步驟2中的模板膠（20）固化采用加熱固化或紫外燈照射固化。

8.根據(jù)權(quán)利要求6所述的壓印模板的制作方法，其特征在于，所述步驟1中的模板基材（10）為PET薄膜，加熱溫度為230-260℃，壓力為0.8-1.2Mpa。

9.根據(jù)權(quán)利要求7所述的壓印模板的制作方法，其特征在于，所述步驟2中的模板膠（20）固化通過(guò)在模板膠（20）兩側(cè)對(duì)應(yīng)設(shè)置兩列相干光源發(fā)生干涉，以對(duì)模板膠（20）形成照射區(qū)域，在所述模板膠（20）上形成干涉條紋，并實(shí)現(xiàn)模板膠（20）固化。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的壓印模板的制作方法，其特征在于，所述相干光源為紫外線激光，兩列紫外線激光的頻率相同，相位差恒定，振動(dòng)方向一致，兩列紫外線激光發(fā)生干涉，在模板膠（20）上產(chǎn)生明暗相間的干涉條紋，進(jìn)而實(shí)現(xiàn)模板膠（20）固化。