[發明專利]一種嵌合式壓印模板及其制作方法

在審

• 申請號: 202110472405.5
• 申請日: 2021-04-29
• 公開（公告）號: CN113156761A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發明（設計）人: 鄧萌萌
• 申請（專利權）人: 璞璘科技（杭州）有限公司
• 主分類號: G03F7/00
• 分類號: G03F7/00;G03F7/20
• 代理公司: 杭州中港知識產權代理有限公司 33353
• 代理人: 張曉紅

本發明公開了一種嵌合式壓印模板，通過一母模板壓制而成，包括模板基材，模板基材上開設有若干凹槽，母模板上形成有若干壓持槽，具有壓持槽的母模板表面與具有凹槽的模板基材表面相對，且模板基材與母模板之間留有預設間隙，預設間隙與凹槽、壓持槽之間形成一填充空間，該填充空間內涂覆有模板膠，以供模板膠固化，形成嵌合式壓印模板。本發明還公開一種嵌合式壓印模板的制作方法。本發明嵌合式壓印模板在模板基材上輥壓凹槽，采用物理固化的方法將模板膠固化在模板基材中，形成一種嵌合結構的壓印模板，該壓印模板多次壓印以及反復使用后，模板膠與模板基材之間不會脫離，以提高壓印模板的使用壽命。

技術領域

本發明涉及模板壓印技術領域，具體為一種嵌合式壓印模板及其制作方法。

背景技術

納米壓印技術是一種新型的微納加工技術，直接利用機械接觸擠壓，將壓印模板上的微納結構圖形轉移到待加工材料上，完成圖形轉移，實現微納圖形制作的技術。自20世紀90年代中期美國普林斯頓大學stephen.y.chou.教授發明納米壓印技術以來，該項技術獲得了長足的發展，最高加工精度已達到2nm，壓印模板的壓印技術有望取代傳統的光刻技術，成為微電子、材料領域的重要加工手段。

納米壓印技術與傳統的光刻技術相比，納米壓印技術的圖形不受光學衍射極限的限制，所以具有高的分辨率。與高精度的電子束光刻技術相比，納米壓印技術成本低，生產效率高。因而，納米壓印廣泛應用于半導體加工，光電子器件中。

為實現納米壓印，首先要制作高精度的壓印模板，壓印模板是納米壓印工藝的關鍵工序，其質量直接決定了壓印效果。目前常規的壓印模板制作方法是采用將模板膠與增粘處理的模板基材黏合在一起，該壓印模板多次壓印以及反復使用時間久后會使模板膠與基材脫離，導致壓印模板報廢，降低壓印模板的使用壽命。

發明內容

本發明的目的在于提供一種提高使用壽命的嵌合式壓印模板。

一種嵌合式壓印模板，通過一母模板壓制而成，包括模板基材，所述模板基材上開設有若干凹槽，所述母模板上形成有若干壓持槽，具有壓持槽的母模板表面與具有凹槽的模板基材表面相對，且所述模板基材與所述母模板之間留有預設間隙，預設間隙與凹槽、壓持槽之間形成一填充空間，該填充空間內涂覆有模板膠，以供模板膠固化，形成嵌合式壓印模板。

進一步的，所述凹槽等間距開設在模板基材上，凹槽的截面形狀呈等腰梯形狀結構，凹槽的槽底截面尺寸大于槽口截面尺寸。

本發明還公開一種嵌合式壓印模板的制作方法，包括以下步驟：

步驟1）：選擇通過加熱均可以變形的模板基材并在模板基材上輥壓凹槽；

步驟2）：在母模板與模板基材之間的填充空間內涂覆模板膠，以使母模板與模板基材緊密貼合，并使模板膠固化；

步驟3）：固化模板膠后，將母模板沿模板膠剝離后，模板膠與模板基材形成嵌合式壓印模板，壓印模板的圖案與母模板的壓持槽相對。

進一步的，所述步驟1中在具有凹槽的模板基材表面涂覆一層增粘劑。

進一步的，所述步驟1中的模板基材通過具有內嵌結構的壓持輥對模板基材壓制所述凹槽。

進一步的，所述步驟1中的模板基材為PET薄膜或PVC薄膜或環氧樹脂類薄膜。

進一步的，所述步驟2中的模板膠固化采用加熱固化或紫外燈照射固化。

進一步的，所述步驟1中的模板基材為PET薄膜，加熱溫度為230-260℃，壓力為0.8-1.2Mpa。

進一步的，所述步驟2中的模板膠固化通過在模板膠兩側對應設置兩列相干光源發生干涉，以對模板膠形成照射區域，在所述模板膠上形成干涉條紋，并實現模板膠固化。