[發明專利]液體回吸系統及回吸方法有效
| 申請號： | 202110471411.9 | 申請日： | 2021-04-29 |
| 公開（公告）號： | CN113187741B | 公開（公告）日： | 2022-12-02 |
| 發明（設計）人： | 郭宇杰 | 申請（專利權）人： | 長鑫存儲技術有限公司 |
| 主分類號： | F04D15/00 | 分類號： | F04D15/00;F04D29/40;G01V8/10;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律智知識產權代理有限公司 11438 | 代理人： | 王輝;闞梓瑄 |
| 地址： | 230601 安徽省合肥市*** | 國省代碼： | 安徽;34 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 液體 系統 方法 | ||
本公開提供了一種液體回吸系統及回吸方法，屬于液體回吸技術領域。該液體回吸系統包括回吸管路和回吸泵。回吸管路具有第一端口和第二端口，所述第一端口連接回吸泵，第二端口連接供液管路；其中，回吸管路具有回吸閥和洄水灣，供液管路用于供給液體化學品，回吸泵用于在供液管路停止供液時，回吸供液管路中殘存的液體化學品。該液體回吸系統能夠將使得未被回吸的液體，在洄水灣中發生滯留，從而不易回流至噴嘴造成偷滴。
技術領域
本公開涉及液體回吸技術領域，尤其涉及一種液體回吸系統及回吸方法。
背景技術
單片式水洗刻蝕機完成刻蝕任務后，需要將供液管路中殘留的液體回吸到回吸液儲存箱中。但是在回吸后，可能會存在供液管路中或者回吸管路中的液體殘留。這些殘留的液體會沿著供液管路或者回吸管路回流至單片式水洗刻蝕機的噴嘴處，從而造成偷滴，偷滴會降低產品的良率，降低刻蝕效率，進而增加了不必要的生產成本。
所述背景技術部分公開的上述信息僅用于加強對本公開的背景的理解，因此它可以包括不構成對本領域普通技術人員已知的現有技術的信息。
發明內容
本公開的目的在于提供一種液體回吸系統及回吸方法，能夠實現對洄水灣中的殘留液體的實時監測。
為實現上述發明目的，本公開采用如下技術方案：
根據本公開的第一個方面，提供一種液體回吸系統，其特征在于，所述液體回吸系統包括：回吸管路和回吸泵；
所述回吸管路具有第一端口和第二端口，所述第一端口連接所述回吸泵，所述第二端口連接供液管路；
其中，所述回吸管路具有回吸閥和洄水灣，所述供液管路用于供給液體化學品，所述回吸泵用于在所述供液管路停止供液時，回吸所述供液管路中殘存的所述液體化學品。
在本公開的一種示例性實施例中，所述液體回吸系統還包括控制器，所述控制器用于控制所述回吸閥的開合。
在本公開的一種示例性實施例中，所述液體回吸系統還包括位于所述洄水灣外側的傳感器，所述傳感器與所述控制器連接，用于檢測所述洄水灣內的液體量并將檢測信號發送至所述控制器。
在本公開的一種示例性實施例中，所述液體回吸系統還包括第一計時器，所述第一計時器與所述控制器連接，用于計算第一時長，并將所述第一時長信息發送至所述控制器
其中，所述第一時長包括所述回吸閥為打開狀態下的回吸時長。
在本公開的一種示例性實施例中，所述液體回吸系統還包括第二計時器，所述第二計時器與所述控制器連接，用于計算第二時長，并將所述第二時長信息發送至所述控制器；
其中，所述第二時長包括所述檢測信號在第一狀態下的持續時長。
在本公開的一種示例性實施例中，所述傳感器包括光傳感器，所述檢測信號包括光信號，所述檢測信號在第一狀態下的持續時長包括所述光信號的強度大于預設強度的持續時長。
在本公開的一種示例性實施例中，所述液體回吸系統還包括壓力偵測裝置，所述壓力偵測裝置與所述控制器連接，用于在所述回吸閥為打開狀態時偵測所述回吸管道內的回吸壓力，并將所述回吸壓力信息發送至所述控制器。
在本公開的一種示例性實施例中，所述液體回吸系統還包括警報器，所述警報器與所述控制器連接，用于當回吸異常時發出警報提示信息；
其中，所述回吸異常包括所述回吸時長大于第一預設時長或所述回吸壓力超出預設壓力范圍。
根據本公開的第一個方面，提供一種液體回吸方法，所述液體回吸方法包括：
在所述供液管路停止供液時，打開所述回吸閥，通過所述回吸泵對所述供液管路和所述回吸管路中殘存的所述液體化學品進行回吸；
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