[發(fā)明專利]液體回吸系統(tǒng)及回吸方法

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110471411.9
• 申請(qǐng)日: 2021-04-29
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113187741B
• 公開(kāi)（公告）日: 2022-12-02
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 郭宇杰
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 長(zhǎng)鑫存儲(chǔ)技術(shù)有限公司
• 主分類號(hào): F04D15/00
• 分類號(hào): F04D15/00;F04D29/40;G01V8/10;H01L21/67
• 代理公司: 北京律智知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11438
• 代理人: 王輝;闞梓瑄

1.一種液體回吸系統(tǒng)，其特征在于，所述液體回吸系統(tǒng)包括：回吸管路和回吸泵；

所述回吸管路具有第一端口和第二端口，所述第一端口連接所述回吸泵，所述第二端口連接供液管路；

其中，所述回吸管路具有回吸閥和洄水灣，所述供液管路用于供給液體化學(xué)品，所述回吸泵用于在所述供液管路停止供液時(shí)，回吸所述供液管路中殘存的所述液體化學(xué)品；

其中，所述液體回吸系統(tǒng)還包括控制器、第一計(jì)時(shí)器以及位于所述洄水灣外側(cè)的傳感器；所述控制器用于控制所述回吸閥的開(kāi)合；所述傳感器與所述控制器連接，用于檢測(cè)所述洄水灣內(nèi)的液體量并將檢測(cè)信號(hào)發(fā)送至所述控制器；所述第一計(jì)時(shí)器與所述控制器連接，用于計(jì)算第一時(shí)長(zhǎng)，并將所述第一時(shí)長(zhǎng)信息發(fā)送至所述控制器，所述第一時(shí)長(zhǎng)包括所述回吸閥為打開(kāi)狀態(tài)下的回吸時(shí)長(zhǎng)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體回吸系統(tǒng)，其特征在于，所述液體回吸系統(tǒng)還包括第二計(jì)時(shí)器，所述第二計(jì)時(shí)器與所述控制器連接，用于計(jì)算第二時(shí)長(zhǎng)，并將所述第二時(shí)長(zhǎng)信息發(fā)送至所述控制器；

其中，所述第二時(shí)長(zhǎng)包括所述檢測(cè)信號(hào)在第一狀態(tài)下的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的液體回吸系統(tǒng)，其特征在于，所述傳感器包括光傳感器，所述檢測(cè)信號(hào)包括光信號(hào)，所述檢測(cè)信號(hào)在第一狀態(tài)下的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)包括所述光信號(hào)的強(qiáng)度大于預(yù)設(shè)強(qiáng)度的持續(xù)時(shí)長(zhǎng)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的液體回吸系統(tǒng)，其特征在于，所述液體回吸系統(tǒng)還包括壓力偵測(cè)裝置，所述壓力偵測(cè)裝置與所述控制器連接，用于在所述回吸閥為打開(kāi)狀態(tài)時(shí)偵測(cè)回吸管道內(nèi)的回吸壓力，并將所述回吸壓力信息發(fā)送至所述控制器。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的液體回吸系統(tǒng)，其特征在于，所述液體回吸系統(tǒng)還包括警報(bào)器，所述警報(bào)器與所述控制器連接，用于當(dāng)回吸異常時(shí)發(fā)出警報(bào)提示信息；

其中，所述回吸異常包括所述回吸時(shí)長(zhǎng)大于第一預(yù)設(shè)時(shí)長(zhǎng)或所述回吸壓力超出預(yù)設(shè)壓力范圍。

6.一種液體回吸方法，其特征在于，應(yīng)用于權(quán)利要求1～5任一所述液體回吸系統(tǒng)，所述液體回吸方法包括：

在所述供液管路停止供液時(shí)，打開(kāi)所述回吸閥，通過(guò)所述回吸泵對(duì)所述供液管路和所述回吸管路中殘存的所述液體化學(xué)品進(jìn)行回吸；

待所述洄水灣中無(wú)殘存的所述液體化學(xué)品時(shí)或回吸異常時(shí)，關(guān)閉所述回吸閥，停止回吸；

其中，在所述供液管路停止供液時(shí)，所述液體回吸系統(tǒng)的控制器關(guān)閉所述供液管路的供液閥，打開(kāi)所述回吸閥，所述回吸泵開(kāi)始對(duì)所述供液管路和所述回吸管路中殘存的所述液體化學(xué)品進(jìn)行回吸；

其中，當(dāng)打開(kāi)所述回吸閥時(shí)，所述液體回吸系統(tǒng)的第一計(jì)時(shí)器開(kāi)始第一計(jì)時(shí)；

當(dāng)?shù)谝挥?jì)時(shí)時(shí)長(zhǎng)超過(guò)第一預(yù)設(shè)時(shí)長(zhǎng)時(shí)，判斷所述液體回吸系統(tǒng)回吸異常，所述控制器關(guān)閉所述回吸閥，停止回吸；

其中，當(dāng)打開(kāi)所述回吸閥時(shí)，位于所述洄水灣外側(cè)的傳感器對(duì)所述洄水灣內(nèi)液體量進(jìn)行檢測(cè)，將檢測(cè)得到檢測(cè)信號(hào)發(fā)送至所述控制器。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的液體回吸方法，其特征在于，所述傳感器包括光傳感器，所述檢測(cè)信號(hào)包括光信號(hào)，所述對(duì)所述洄水灣內(nèi)液體量進(jìn)行檢測(cè)包括，所述光傳感器的發(fā)射端向所述洄水灣的底部發(fā)射光信號(hào)，所述光傳感器的接收端接收透過(guò)所述洄水灣的所述光信號(hào)，并計(jì)算所述光信號(hào)的強(qiáng)度，發(fā)送所述光信號(hào)的強(qiáng)度信息至所述控制器。

8.根據(jù)權(quán)利要求7所述的液體回吸方法，其特征在于，所述控制器將接收到的光強(qiáng)度信息與預(yù)設(shè)強(qiáng)度進(jìn)行比較，當(dāng)所述光信號(hào)的強(qiáng)度由小于所述預(yù)設(shè)強(qiáng)度轉(zhuǎn)變?yōu)榇笥谒鲱A(yù)設(shè)強(qiáng)度時(shí)，控制所述液體回吸系統(tǒng)的第二計(jì)時(shí)器開(kāi)始第二計(jì)時(shí)；

當(dāng)?shù)诙?jì)時(shí)時(shí)長(zhǎng)超過(guò)第二預(yù)設(shè)時(shí)長(zhǎng)時(shí)，結(jié)束所述第二計(jì)時(shí)，判斷所述洄水灣中無(wú)殘存的所述液體化學(xué)品，關(guān)閉所述回吸閥，停止回吸。

9.根據(jù)權(quán)利要求8所述的液體回吸方法，其特征在于，當(dāng)所述第二計(jì)時(shí)時(shí)長(zhǎng)未超過(guò)第二預(yù)設(shè)時(shí)長(zhǎng)且所述光信號(hào)的強(qiáng)度由大于所述預(yù)設(shè)強(qiáng)度轉(zhuǎn)變?yōu)樾∮谒鲱A(yù)設(shè)強(qiáng)度時(shí)，結(jié)束所述第二計(jì)時(shí)，并將所述第二計(jì)時(shí)重置，等待下一次所述光信號(hào)的強(qiáng)度由小于所述預(yù)設(shè)強(qiáng)度轉(zhuǎn)變大于所述預(yù)設(shè)強(qiáng)度再重新開(kāi)始所述第二計(jì)時(shí)。