[發明專利]一種光源的探測設備及光源的檢測方法

在審

• 申請號: 202110468625.0
• 申請日: 2021-04-28
• 公開（公告）號: CN112986786A
• 公開（公告）日: 2021-06-18
• 發明（設計）人: 羅志通;梁棟;劉嵩;李天磊;張成;翁瑋呈;丁維遵
• 申請（專利權）人: 常州縱慧芯光半導體科技有限公司
• 主分類號: G01R31/26
• 分類號: G01R31/26;G01R31/28
• 代理公司: 上海光華專利事務所(普通合伙) 31219
• 代理人: 林凡燕

1.一種光源的探測設備，其特征在于，包括：

載臺，用于設置光源；

探針卡，位于所述載臺上；

移動單元，連接所述載臺或所述探測卡；

其中，所述探針卡包括：

基板，包括相對設置的第一表面和第二表面；

探針組件，設置在所述基板上，用于接觸所述光源；

驅動單元，設置在所述探針組件上，用于驅動所述光源；

其中，所述光源包括基底以及位于所述基底上的多個發光芯片。

2.根據權利要求1所述的光源的探測設備，其特征在于，所述探針組件包括：

固定部，設置在所述第一表面或所述第二表面上；

探針，連接所述固定部，包括一探針頭。

3.根據權利要求2所述的光源的探測設備，其特征在于，所述驅動單元設置在所述探針上，所述驅動單元為納秒級驅動單元。

4.根據權利要求1所述的光源的探測設備，其特征在于，所述基板上設置有通孔，所述通孔對位于所述光源的出光區。

5.根據權利要求4所述的光源的探測設備，其特征在于，所述第二表面上設置有積分球，所述光源發射的光線通過所述通孔照射在所述積分球上。

6.根據權利要求5所述的光源的探測設備，其特征在于，所述積分球通過安裝臂固定在所述第二表面上。

7.根據權利要求1所述的光源的探測設備，其特征在于，所述第一表面上設置有光電探測器，所述光電探測器對位于所述光源的出光區。

8.根據權利要求4所述的光源的探測設備，其特征在于，所述第一表面上設置有光學元件，所述通孔內設置有光電探測器，所述光學元件覆蓋所述光電探測器。

9.根據權利要求2所述的光源的探測設備，其特征在于，還包括示波器，所述示波器的正極連接所述探針的正極，所述示波器的負極連接所述載臺。

10.根據權利要求1所述的光源的探測設備，其特征在于，所述發光芯片包括正極區和負極區，所述正極區和所述負極區設置在所述發光芯片的同一側。

11.一種光源的檢測方法，其特征在于，包括：

提供一探測設備，其中所述探測設備包括：

載臺；

探針卡，位于所述載臺上；

移動單元，連接所述載臺或所述探測卡；

其中，所述探針卡包括：

基板，包括相對設置的第一表面和第二表面；

探針組件，設置在所述基板上；

驅動單元，設置在所述探針組件上；

將光源設置在所述載臺上，所述光源包括基底以及位于所述基底上的多個發光芯片；

通過所述探針組件接觸所述光源，以對所述光源進行檢測。