[發明專利]信息處理裝置和信息處理方法

在審

• 申請號: 202110465952.0
• 申請日: 2021-04-28
• 公開（公告）號: CN113571444A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發明（設計）人: 宮田巨樹;北健太
• 申請（專利權）人: 佳能株式會社
• 主分類號: H01L21/67
• 分類號: H01L21/67;G03F7/20
• 代理公司: 中國貿促會專利商標事務所有限公司 11038
• 代理人: 宋巖

1.一種信息處理裝置，包括：

獲取單元，被配置為獲取包含第一處理數據和第二處理數據的信息，第一處理數據指示第一處理條件中的基板處理的結果，第二處理數據指示與第一處理條件不同的第二處理條件中的基板處理的結果；以及

顯示控制單元，被配置為基于由獲取單元獲取的所述信息來控制顯示裝置上的顯示，

其中，顯示控制單元被配置為在顯示裝置上顯示第一畫面，第一畫面顯示按時間順序排列第一處理數據的第一數據組和按時間順序排列第二處理數據的第二數據組，第一畫面在一個區域中顯示第一數據組并且在另一個區域中顯示第二數據組。

2.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，顯示控制單元被配置為在顯示裝置上選擇性地顯示第一畫面和第二畫面，第二畫面在相同區域中顯示第一數據組和第二數據組。

3.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，顯示控制單元被配置為在顯示裝置上將第二畫面與第一畫面一起顯示，第二畫面在相同區域中顯示第一數據組和第二數據組。

4.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，第一處理數據和第二處理數據是包含執行基板處理的處理裝置的操作的結果并且包含經歷基板處理的基板的狀態的信息。

5.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，第一處理條件和第二處理條件是包括配方和裝置參數的條件，所述配方是要由多個裝置共享和使用的處理條件，所述裝置參數是不由所述多個裝置共享的處理條件。

6.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，顯示控制單元被配置為在圖表上按時間順序顯示第一處理數據和第二處理數據。

7.根據權利要求6所述的信息處理裝置，其中，顯示控制單元被配置為在顯示裝置上顯示已改變的處理條件的改變歷史信息。

8.根據權利要求1所述的信息處理裝置，還包括計算單元，計算單元被配置為基于由獲取單元獲取的基于基板的處理數據來計算基于批次的處理數據，所述批次包括多個基板。

9.根據權利要求8所述的信息處理裝置，其中，計算單元被配置為基于來自通過獲取單元獲取的基于基板的處理數據的最大值、最小值、平均值、中值和標準偏差中的一個統計值來計算基于批次的處理數據，所述批次包括所述多個基板。

10.根據權利要求1所述的信息處理裝置，其中，顯示控制單元被配置為在顯示裝置上顯示包括多個基板的用戶指定的批次的處理條件。

11.一種信息處理方法，包括：

獲取包含第一處理數據和第二處理數據的信息，第一處理數據指示第一處理條件中的基板處理的結果，第二處理數據指示與第一處理條件不同的第二處理條件中的基板處理的結果；以及

基于所獲取的信息來控制顯示裝置上的顯示，

其中，所述控制被執行以在顯示裝置上顯示第一畫面，第一畫面顯示按時間順序排列第一處理數據的第一數據組和按時間順序排列第二處理數據的第二數據組，第一畫面在一個區域中顯示第一數據組并且在另一個區域中顯示第二數據組。

12.根據權利要求11所述的信息處理方法，其中，所述控制被執行以在顯示裝置上選擇性地顯示第一畫面和第二畫面，第二畫面在相同區域中顯示第一數據組和第二數據組。

13.根據權利要求11所述的信息處理方法，其中，所述控制被執行以在顯示裝置上將第二畫面與第一畫面一起顯示，第二畫面在相同區域中顯示第一數據組和第二數據組。