[發明專利]一種倉夾偏差式夾緊裝置及其使用方法在審
| 申請號: | 202110463509.X | 申請日: | 2021-04-25 |
| 公開(公告)號: | CN113161283A | 公開(公告)日: | 2021-07-23 |
| 發明(設計)人: | 陳岳 | 申請(專利權)人: | 昆山晟豐精密機械有限公司 |
| 主分類號: | H01L21/687 | 分類號: | H01L21/687;H01L21/677 |
| 代理公司: | 蘇州睿昊知識產權代理事務所(普通合伙) 32277 | 代理人: | 馬小慧 |
| 地址: | 215000 江蘇省蘇*** | 國省代碼: | 江蘇;32 |
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| 摘要: | |||
| 搜索關鍵詞: | 一種 偏差 夾緊 裝置 及其 使用方法 | ||
1.一種倉夾偏差式夾緊裝置,其特征在于,包括工作臺,所述工作臺上設有:
沿工作臺直線布置的多組用于夾緊倉夾的夾緊單元,所述夾緊單元包括倉夾固定基板、倉夾固定活動板、直線連接機構;
所述倉夾固定基板固定于工作臺,所述倉夾固定活動板限位移動地設于工作臺;
所述直線連接機構連接相鄰兩個倉夾固定活動板并穿過相鄰兩個倉夾固定活動板之間的倉夾固定基板,所述相鄰兩個倉夾固定活動板中的一個固定于直線連接機構一端,另一個可滑動地連接于直線連接機構另一端;
調節機構,所述調節機構用于調節多組夾緊單元中位于首個夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動板之間的距離;
通過調節機構調節首個的夾緊單元中的倉夾固定基板、倉夾固定活動板之間的距離,帶動其余夾緊單元中的倉夾固定活動板移動,從而調整各個夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動板的夾緊距離來進行夾緊或松開倉夾。
2.根據權利要求1所述的一種倉夾偏差式夾緊裝置,其特征在于,所述直線連接機構包括連接軸、第一固定螺絲、第二固定螺絲、彈簧,在相鄰的兩個倉夾固定活動板中,所述第一連接軸端通過第一固定螺絲固定于其中一個倉夾固定活動板上,所述連接軸另一端過通過第二固定螺絲、套設于所述第二固定螺絲上的彈簧連接于另一個倉夾固定活動板。
3.根據權利要求2所述的一種倉夾偏差式夾緊裝置,其特征在于,各個夾緊單元中的倉夾固定基板上設有安裝座,所述安裝座上安裝有用于支撐連接軸的導套。
4.根據權利要求2所述的一種倉夾偏差式夾緊裝置,其特征在于,各個夾緊單元中的倉夾固定基板頂部設有用于鎖付于工作臺的鎖緊孔。
5.根據權利要求2所述的一種倉夾偏差式夾緊裝置,其特征在于,所述彈簧通過第二固定螺絲擰緊受力并留有預設的壓縮余量。
6.根據權利要求1所述的一種倉夾偏差式夾緊裝置,其特征在于,所述調節機構包括:調節把手、絲桿、調節支座,所述調節支座設于位于首個夾緊單元中倉夾固定基板,所述絲桿穿過調節支座且絲桿一端連接于調節把手,絲桿的另一端連接于位于首個夾緊單元中倉夾固定活動板。
7.根據權利要求1所述的一種倉夾偏差式夾緊裝置,其特征在于,各個夾緊單元中的倉夾固定基板、倉夾固定活動板均設有用于倉夾夾緊的卡槽。
8.根據權利要求1所述的一種倉夾偏差式夾緊裝置,其特征在于,所述工作臺上等間距地設有用于倉夾固定活動板限位的凹槽。
9.根據權利要求1所述的一種倉夾偏差式夾緊裝置,其特征在于,所述首個夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動板的距離大于其后個夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動板的距離,且多組夾緊單元倉夾固定基板、倉夾固定活動板的距離依次呈等差分布。
10.一種如權利要求1-9任一項所述的倉夾偏差式夾緊裝置的使用方法,其特征在于,包括:
步驟一:將N(N=1,2,3…)個夾緊單元中的倉夾固定基板依次分別按固定間距鎖在工作平臺上;
步驟二:將N個夾緊單元中的倉夾固定活動板通過連接軸連接,第一連接軸端與相鄰兩個倉夾固定活動板中的一個通過第一固定螺絲鎖在一起,連接軸另一端與相鄰兩個倉夾固定活動板中的一個通過第二固定螺絲固定,且在第二固定螺絲固定方向加裝彈簧,使彈簧受力留有壓縮余量時固定第二固定螺絲,連接軸通過導套被支撐起來;
步驟三:控制首個夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動板的距離大于其后個夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動板的距離,其距離差值X;各個夾緊單元中的連接軸尺寸一致,并使得在后的夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動板的距離都比在后的夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動板的距離大X;
步驟四:將調節支座連接在首個夾緊單元中倉夾固定基板,將絲桿連接在調節支座和首個夾緊單元中倉夾固定活動板,將調節把手連接于絲桿;
步驟五:調節調節把手將首個夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動板的距離調節為A+N*X,A±b為倉夾寬度,b<X,其后夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動板的距離依次為A+(N-1)*X、A+(N-2)*X、A+(N-3)*X、…A+X;
步驟六:將N個倉夾分別放在夾緊單元上,通過調節把手帶動各個夾緊單元中的倉夾固定活動板移動,實現倉夾的夾緊或松開。
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H01L21-67 .專門適用于在制造或處理過程中處理半導體或電固體器件的裝置;專門適合于在半導體或電固體器件或部件的制造或處理過程中處理晶片的裝置
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