[發(fā)明專利]一種倉夾偏差式夾緊裝置及其使用方法

在審

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• 申請日: 2021-04-25
• 公開（公告）號: CN113161283A
• 公開（公告）日: 2021-07-23
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳岳
• 申請（專利權(quán)）人: 昆山晟豐精密機(jī)械有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/677
• 代理公司: 蘇州睿昊知識產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32277
• 代理人: 馬小慧

本發(fā)明涉及一種倉夾偏差式夾緊裝置及其使用方法。本發(fā)明包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上設(shè)有沿工作臺(tái)直線布置的多組用于夾緊倉夾的夾緊單元，所述夾緊單元包括倉夾固定基板、倉夾固定活動(dòng)板、直線連接機(jī)構(gòu)；所述直線連接機(jī)構(gòu)連接相鄰兩個(gè)倉夾固定活動(dòng)板并穿過相鄰兩個(gè)倉夾固定活動(dòng)板之間的倉夾固定基板；調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)多組夾緊單元中位于首個(gè)夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動(dòng)板之間的距離。本發(fā)明能避免由于加工精度與各個(gè)倉夾尺寸存在的差異產(chǎn)生對倉夾夾緊不一致的問題，通過多個(gè)夾緊單元對多個(gè)倉夾進(jìn)行夾緊，操作簡單且方便可靠。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及半導(dǎo)體芯片技術(shù)領(lǐng)域，尤其是指一種倉夾偏差式夾緊裝置及其使用方法。

背景技術(shù)

半導(dǎo)體芯片在加工和生產(chǎn)過程中的搬運(yùn)，一般使用統(tǒng)一制式的倉夾，該倉夾為多層、開放式設(shè)計(jì)，兩側(cè)內(nèi)壁上為卡槽式設(shè)計(jì)，上方為完整壁并設(shè)計(jì)有把手，下方也為完整壁并連接左右側(cè)板，前后方向有單獨(dú)可上下插取式門板設(shè)計(jì)；半導(dǎo)體芯片一般在倉夾前門板取下后，從此方向沿側(cè)內(nèi)壁兩邊卡槽插入倉夾內(nèi)，當(dāng)倉夾內(nèi)卡槽數(shù)量達(dá)到工作數(shù)量時(shí)，安裝前門板，并使用倉夾上把手將產(chǎn)品流入下一工序。

目前在半導(dǎo)體行業(yè)內(nèi)，在進(jìn)行半導(dǎo)體芯片在轉(zhuǎn)運(yùn)到下一工序加工時(shí)，一般依次使用單個(gè)倉夾安裝，或依次將數(shù)個(gè)倉夾分別鎖緊在工作位上進(jìn)行使用，或一次夾緊數(shù)個(gè)倉夾使用的，上述使用方式一般都需要選擇倉夾尺寸一致的倉夾，但由于加工精度與各個(gè)倉夾尺寸存在差異，存在夾緊后倉夾松緊不一致的問題，影響下一道工序的進(jìn)行。

發(fā)明內(nèi)容

為此，本發(fā)明所要解決的技術(shù)問題在于克服現(xiàn)有技術(shù)中由于加工精度與各個(gè)倉夾尺寸存在差異，存在夾緊后倉夾松緊不一致的問題，影響下一道工序的進(jìn)行的問題。

為解決上述技術(shù)問題，本發(fā)明提供了一種倉夾偏差式夾緊裝置，包括工作臺(tái)，所述工作臺(tái)上設(shè)有：沿工作臺(tái)直線布置的多組用于夾緊倉夾的夾緊單元，所述夾緊單元包括倉夾固定基板、倉夾固定活動(dòng)板、直線連接機(jī)構(gòu)；所述倉夾固定基板固定于工作臺(tái)，所述倉夾固定活動(dòng)板限位移動(dòng)地設(shè)于工作臺(tái)；所述直線連接機(jī)構(gòu)連接相鄰兩個(gè)倉夾固定活動(dòng)板并穿過相鄰兩個(gè)倉夾固定活動(dòng)板之間的倉夾固定基板，所述相鄰兩個(gè)倉夾固定活動(dòng)板中的一個(gè)固定于直線連接機(jī)構(gòu)一端，另一個(gè)可滑動(dòng)地連接于直線連接機(jī)構(gòu)另一端；調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)用于調(diào)節(jié)多組夾緊單元中位于首個(gè)夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動(dòng)板之間的距離；通過調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)調(diào)節(jié)首個(gè)的夾緊單元中的倉夾固定基板、倉夾固定活動(dòng)板之間的距離，帶動(dòng)其余夾緊單元中的倉夾固定活動(dòng)板移動(dòng)，從而調(diào)整各個(gè)夾緊單元中倉夾固定基板、倉夾固定活動(dòng)板的夾緊距離來進(jìn)行夾緊或松開倉夾。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述直線連接機(jī)構(gòu)包括連接軸、第一固定螺絲、第二固定螺絲、彈簧，在相鄰的兩個(gè)倉夾固定活動(dòng)板中，所述第一連接軸端通過第一固定螺絲固定于其中一個(gè)倉夾固定活動(dòng)板上，所述連接軸另一端過通過第二固定螺絲、套設(shè)于所述第二固定螺絲上的彈簧連接于另一個(gè)倉夾固定活動(dòng)板。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，各個(gè)夾緊單元中的倉夾固定基板上設(shè)有安裝座，所述安裝座上安裝有用于支撐連接軸的導(dǎo)套。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，各個(gè)夾緊單元中的倉夾固定基板頂部設(shè)有用于鎖付于工作臺(tái)的鎖緊孔。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述彈簧通過第二固定螺絲擰緊受力并留有預(yù)設(shè)的壓縮余量。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述調(diào)節(jié)機(jī)構(gòu)包括：調(diào)節(jié)把手、絲桿、調(diào)節(jié)支座，所述調(diào)節(jié)支座設(shè)于位于首個(gè)夾緊單元中倉夾固定基板，所述絲桿穿過調(diào)節(jié)支座且絲桿一端連接于調(diào)節(jié)把手，絲桿的另一端連接于位于首個(gè)夾緊單元中倉夾固定活動(dòng)板。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，各個(gè)夾緊單元中的倉夾固定基板、倉夾固定活動(dòng)板均設(shè)有用于倉夾夾緊的卡槽。

在本發(fā)明的一個(gè)實(shí)施例中，所述工作臺(tái)上等間距地設(shè)有用于倉夾固定活動(dòng)板限位的凹槽。