[發(fā)明專利]半導(dǎo)體器件的測試結(jié)構(gòu)及漏電分析方法

有效

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110461617.3
• 申請日: 2021-04-27
• 公開（公告）號: CN113314507B
• 公開（公告）日: 2022-09-16
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 漆林
• 申請（專利權(quán)）人: 長江存儲科技有限責(zé)任公司
• 主分類號: H01L23/544
• 分類號: H01L23/544;H01L21/66
• 代理公司: 北京派特恩知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11270
• 代理人: 邵磊;張穎玲

本公開實施例公開了一種半導(dǎo)體器件的測試結(jié)構(gòu)及漏電分析方法。所述測試結(jié)構(gòu)包括：第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，包括：位于第一平面內(nèi)的第一導(dǎo)電線和多個第二導(dǎo)電線；其中，每個所述第二導(dǎo)電線分別垂直于所述第一導(dǎo)電線，且每個所述第二導(dǎo)電線的一端與所述第一導(dǎo)電線電連接；第二導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，包括：位于所述第一平面內(nèi)的多個第三導(dǎo)電線和位于第二平面內(nèi)的第四導(dǎo)電線；其中，每個所述第三導(dǎo)電線位于相鄰的兩個所述第二導(dǎo)電線之間，所述第三導(dǎo)電線分別與所述第一導(dǎo)電線以及所述第二導(dǎo)電線電絕緣，所述第二平面與所述第一平面不同；第一導(dǎo)電柱，電連接所述第三導(dǎo)電線和所述第四導(dǎo)電線。

技術(shù)領(lǐng)域

本公開實施例涉及半導(dǎo)體器件領(lǐng)域，尤其涉及一種半導(dǎo)體器件的測試結(jié)構(gòu)及漏電分析方法。

背景技術(shù)

在半導(dǎo)體器件的制作過程中，通常會在襯底上形成多個裸芯以及位于裸芯之間切割道上的測試結(jié)構(gòu)，裸芯用于實現(xiàn)信息的存儲，測試結(jié)構(gòu)用于檢測裸芯的電性參數(shù)。測試結(jié)構(gòu)的檢測結(jié)果合格后，承載有多個裸芯的晶圓進入切割和封裝工序。

相關(guān)技術(shù)中，在測試結(jié)構(gòu)制作完成后，通過晶圓驗收測試設(shè)備檢測該測試結(jié)構(gòu)的電氣特性，在晶圓驗收測試結(jié)束后，根據(jù)檢測結(jié)果確定裸芯是否失效。在該檢測結(jié)果指示裸芯失效時，再對該測試結(jié)構(gòu)進行失效分析，確定失效點以及找出導(dǎo)致裸芯失效的原因，需要耗費較長的時間。因此，如何更好的設(shè)計半導(dǎo)體器件的測試結(jié)構(gòu)，以減少失效分析的時間，成為亟待解決的技術(shù)問題。

發(fā)明內(nèi)容

有鑒于此，本公開實施例提供一種半導(dǎo)體器件的測試結(jié)構(gòu)及漏電分析方法。

根據(jù)本公開實施例的第一方面，提供一種半導(dǎo)體器件的測試結(jié)構(gòu)，包括：

第一導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，包括：位于第一平面內(nèi)的第一導(dǎo)電線和多個第二導(dǎo)電線；其中，每個所述第二導(dǎo)電線分別垂直于所述第一導(dǎo)電線，且每個所述第二導(dǎo)電線的一端與所述第一導(dǎo)電線電連接；

第二導(dǎo)電結(jié)構(gòu)，包括：位于所述第一平面內(nèi)的多個第三導(dǎo)電線和位于第二平面內(nèi)的第四導(dǎo)電線；其中，每個所述第三導(dǎo)電線位于相鄰的兩個所述第二導(dǎo)電線之間，所述第三導(dǎo)電線分別與所述第一導(dǎo)電線以及所述第二導(dǎo)電線電絕緣，所述第二平面與所述第一平面不同；

第一導(dǎo)電柱，電連接所述第三導(dǎo)電線和所述第四導(dǎo)電線。

在一些實施例中，所述測試結(jié)構(gòu)還包括：

第一導(dǎo)電層，位于所述第一平面內(nèi)，通過所述第一導(dǎo)電線與多個所述第二導(dǎo)電線分別電連接；

第二導(dǎo)電層，位于所述第二平面內(nèi)，通過所述第四導(dǎo)電線以及多個所述第一導(dǎo)電柱與多個所述第三導(dǎo)電線分別電連接。

在一些實施例中，所述測試結(jié)構(gòu)還包括：

金屬互連結(jié)構(gòu)；其中，所述第一導(dǎo)電層通過所述金屬互連結(jié)構(gòu)與襯底電連接。

在一些實施例中，相鄰兩個所述第二導(dǎo)電線之間的距離相等。

在一些實施例中，每個所述第三導(dǎo)電線位于相鄰的兩個所述第二導(dǎo)電線的居中位置。

根據(jù)本公開實施例的第二方面，提供一種半導(dǎo)體器件的漏電分析方法，所述半導(dǎo)體器件包括上述任一實施例中所述的測試結(jié)構(gòu)，所述方法包括：

去除位于所述第二平面內(nèi)的所述第四導(dǎo)電線，直至顯露所述第一導(dǎo)電柱；

對所述第一導(dǎo)電柱執(zhí)行電性檢測，獲得第一檢測結(jié)果；

基于所述第一檢測結(jié)果中所述第一導(dǎo)電柱呈現(xiàn)的圖像，對所述半導(dǎo)體器件進行漏電分析。

在一些實施例中，所述基于所述第一檢測結(jié)果中所述第一導(dǎo)電柱呈現(xiàn)的圖像，對所述半導(dǎo)體器件進行漏電分析，包括：

所述第一檢測結(jié)果中所述第一導(dǎo)電柱呈現(xiàn)亮色，對應(yīng)于與所述第一導(dǎo)電柱電連接的所述第三導(dǎo)電線漏電；