[發(fā)明專(zhuān)利]芯片標(biāo)記方法、系統(tǒng)、電子設(shè)備及計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110461453.4
• 申請(qǐng)日: 2021-04-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113096113A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-09
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 索鑫
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 上海華虹宏力半導(dǎo)體制造有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): G06T7/00
• 分類(lèi)號(hào): G06T7/00;G06T7/13
• 代理公司: 上海思微知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 31237
• 代理人: 周耀君

1.一種芯片標(biāo)記方法，其特征在于，包括：

提供一晶圓；

逐行/列掃描所述晶圓上的芯片，每掃描得到一個(gè)合格芯片，均以所述合格芯片為中心芯片選取一第一芯片區(qū)域，所述第一芯片區(qū)域是以對(duì)應(yīng)的所述中心芯片為中心的N行N列矩陣，其中，N為大于或等于5的奇數(shù)；

獲取所述第一芯片區(qū)域的芯片良率并判斷所述第一芯片區(qū)域的芯片良率與第一良率設(shè)定值的大小關(guān)系，當(dāng)所述第一芯片區(qū)域的芯片良率小于所述第一良率設(shè)定值時(shí)，將所述第一芯片區(qū)域等比例縮小以構(gòu)成第二芯片區(qū)域，所述第二芯片區(qū)域是以對(duì)應(yīng)的所述中心芯片為中心的M行M列矩陣，其中，M為大于或等于3的奇數(shù)，NM；

獲取所述第二芯片區(qū)域內(nèi)的芯片良率并判斷所述第二芯片區(qū)域的芯片良率與第二良率設(shè)定值的大小關(guān)系，當(dāng)所述第二芯片區(qū)域內(nèi)的芯片良率小于第二良率設(shè)定值，則對(duì)所述中心芯片進(jìn)行標(biāo)記。

2.如權(quán)利要求1所述的芯片標(biāo)記方法，其特征在于，逐行/列掃描所述晶圓上的芯片時(shí)，當(dāng)掃描到前后第行和前后第列有合格芯片時(shí)，將所述合格芯片默認(rèn)為不合格芯片。

3.如權(quán)利要求1所述的芯片標(biāo)記方法，其特征在于，逐行/列掃描所述晶圓上的芯片時(shí)，從第行、第列掃描到第行、第列，K為行/列數(shù)。

4.如權(quán)利要求1所述的芯片標(biāo)記方法，其特征在于，逐行/列掃描所述晶圓上的芯片之前，對(duì)所述晶圓上的芯片進(jìn)行測(cè)試，以獲取所述合格芯片，逐行/列掃描所述晶圓上的芯片時(shí)，通過(guò)識(shí)別所述芯片的標(biāo)識(shí)判定是否為合格芯片。

5.如權(quán)利要求1所述的芯片標(biāo)記方法，其特征在于，所述標(biāo)記為墨點(diǎn)標(biāo)記。

6.如權(quán)利要求1所述的芯片標(biāo)記方法，其特征在于，將標(biāo)記的所述中心芯片作為隱患芯片。

7.如權(quán)利要求1所述的芯片標(biāo)記方法，其特征在于，所述第一良率設(shè)定值及所述第二良率設(shè)定值均為65％～75％。

8.一種芯片標(biāo)記系統(tǒng)，其特征在于，包括：

晶圓供應(yīng)模塊，用于提供一晶圓；

第一芯片區(qū)域構(gòu)建模塊，用于逐行/列掃描所述晶圓上的芯片，每掃描得到一個(gè)合格芯片，均以所述合格芯片為中心芯片選取一第一芯片區(qū)域，所述第一芯片區(qū)域是以對(duì)應(yīng)的所述中心芯片為中心的N行N列矩陣，其中，N為大于或等于5的奇數(shù)；

判斷及第二芯片區(qū)域構(gòu)建模塊，用于獲取所述第一芯片區(qū)域的芯片良率并判斷所述第一芯片區(qū)域的芯片良率與第一良率設(shè)定值的大小關(guān)系，當(dāng)所述第一芯片區(qū)域的芯片良率小于所述第一良率設(shè)定值時(shí)，將所述第一芯片區(qū)域等比例縮小以構(gòu)成第二芯片區(qū)域，所述第二芯片區(qū)域是以對(duì)應(yīng)的所述中心芯片為中心的M行M列矩陣，其中，M為大于或等于3的奇數(shù)，NM；

標(biāo)記模塊，用于獲取所述第二芯片區(qū)域內(nèi)的芯片良率并判斷所述第二芯片區(qū)域的芯片良率與第二良率設(shè)定值的大小關(guān)系，當(dāng)所述第二芯片區(qū)域內(nèi)的芯片良率小于第二良率設(shè)定值，則對(duì)所述中心芯片進(jìn)行標(biāo)記。

9.一種電子設(shè)備，其特征在于，所述電子設(shè)備包括：

一個(gè)或多個(gè)執(zhí)行器；以及，

存儲(chǔ)器，用于存儲(chǔ)一個(gè)或多個(gè)程序；以及，

當(dāng)所述一個(gè)或多個(gè)程序被所述一個(gè)或多個(gè)執(zhí)行器執(zhí)行，使得所述一個(gè)或多個(gè)執(zhí)行器實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1-7中任一所述的芯片標(biāo)記方法。

10.一種計(jì)算機(jī)可讀存儲(chǔ)介質(zhì)，其上存儲(chǔ)有計(jì)算機(jī)程序，其特征在于，該程序被執(zhí)行器執(zhí)行時(shí)實(shí)現(xiàn)如權(quán)利要求1-7中任一所述的芯片標(biāo)記方法。