[發(fā)明專利]一種芯片加工用的可調(diào)式接合模具

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110459842.3
• 申請(qǐng)日: 2021-04-27
• 公開（公告）號(hào): CN113178397B
• 公開（公告）日: 2023-10-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 段來根;李瑞環(huán);王行剛
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 常州機(jī)電職業(yè)技術(shù)學(xué)院
• 主分類號(hào): H01L21/60
• 分類號(hào): H01L21/60;B08B5/02
• 代理公司: 常州市科誼專利代理事務(wù)所 32225
• 代理人: 孫彬

1.一種芯片加工用的可調(diào)式接合模具，包括承料模板（1），其特征在于：所述承料模板（1）底部一體成型有固定底座（101），承料模板（1）的上表面開設(shè)有呈矩陣整列的預(yù)承放料槽（2），預(yù)承放料槽（2）為矩形凹槽，沿承料模板（1）的一側(cè)且對(duì)應(yīng)預(yù)承放料槽（2）的位置開設(shè)有預(yù)留變量槽（202），預(yù)留變量槽（202）與預(yù)承放料槽（2）底部之間開設(shè)有相連通的預(yù)留變量孔（201），所述承料模板（1）的一側(cè)設(shè)有牽引支架（4），牽引支架（4）一體成型有多個(gè)分支架沿相對(duì)應(yīng)的預(yù)留變量槽（202）插入，且分支架上設(shè)有多個(gè)聯(lián)接支柱沿預(yù)留變量孔（201）垂直向上穿插，聯(lián)接支柱上端固定有基板夾塊（3）。

2.根據(jù)權(quán)利要求1的一種芯片加工用的可調(diào)式接合模具，其特征在于：所述牽引支架（4）的底部設(shè)有調(diào)節(jié)支座（5），調(diào)節(jié)支座（5）上轉(zhuǎn)接有沿X軸方向延伸設(shè)置的第一絲桿（6），且牽引支架（4）底部設(shè)有連接座與第一絲桿（6）相螺接，第一絲桿（6）的一端設(shè)有第一絲桿扳轉(zhuǎn)頭（601），所述承料模板（1）的一端轉(zhuǎn)接有一根沿Y軸方向延伸設(shè)置的第二絲桿（7），且第二絲桿（7）與調(diào)節(jié)支座（5）的一端貫穿螺接，第二絲桿（7）的外端設(shè)有第二絲桿扳轉(zhuǎn)頭（701）。

3.根據(jù)權(quán)利要求2的一種芯片加工用的可調(diào)式接合模具，其特征在于：所述調(diào)節(jié)支座（5）遠(yuǎn)離第二絲桿（7）的一端設(shè)有引導(dǎo)桿（702），引導(dǎo)桿（702）沿Y軸方向滑動(dòng)穿插入承料模板（1）中。

4.根據(jù)權(quán)利要求1的一種芯片加工用的可調(diào)式接合模具，其特征在于：所述基板夾塊（3）呈“L”型支架體且位于預(yù)承放料槽（2）的一角端，基板夾塊（3）的兩個(gè)內(nèi)夾角面均嵌合有防護(hù)彈片（301）。

5.根據(jù)權(quán)利要求1的一種芯片加工用的可調(diào)式接合模具，其特征在于：所述預(yù)承放料槽（2）的底面設(shè)有第一方向刻度線（11）和第二方向刻度線（1101），第一方向刻度線（11）沿Y軸方向刻畫，第二方向刻度線（1101）沿X軸方向刻畫。

6.根據(jù)權(quán)利要求1的一種芯片加工用的可調(diào)式接合模具，其特征在于：所述承料模板（1）的一端一體成型有向上凸起的排氣座（8），排氣座（8）內(nèi)部設(shè)有氣腔，排氣座（8）靠近承料模板（1）的一側(cè)開設(shè)有多個(gè)與氣腔相連通的氣孔（801），排氣座（8）的一側(cè)連接有與其內(nèi)部氣腔相連通的導(dǎo)氣管（9）。

7.根據(jù)權(quán)利要求6的一種芯片加工用的可調(diào)式接合模具，其特征在于：多個(gè)所述氣孔（801）沿水平方向均勻排布，且氣孔（801）的開口處設(shè)有防塵濾網(wǎng)。

8.根據(jù)權(quán)利要求7的一種芯片加工用的可調(diào)式接合模具，其特征在于：所述導(dǎo)氣管（9）連接有混合氣體供應(yīng)設(shè)備，混合氣體供應(yīng)設(shè)備提供包括低氧分壓空氣、氮?dú)狻⒌獨(dú)?氫氣混合氣體和惰性氣體中的一種或多種。

9.根據(jù)權(quán)利要求8的一種芯片加工用的可調(diào)式接合模具，其特征在于：所述排氣座（8）的上端固定連接有加熱器（10），加熱器（10）的加熱端（1001）穿插設(shè)置在排氣座（8）內(nèi)部的氣腔中。