[發(fā)明專(zhuān)利]半導(dǎo)體裝置和其制造方法

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110458341.3
• 申請(qǐng)日: 2021-04-27
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113571488A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 顏尤龍;博恩·卡爾·艾皮特
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 日月光半導(dǎo)體制造股份有限公司
• 主分類(lèi)號(hào): H01L23/482
• 分類(lèi)號(hào): H01L23/482;H01L23/485;H01L21/48
• 代理公司: 北京律盟知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限責(zé)任公司 11287
• 代理人: 蕭輔寬

1.一種半導(dǎo)體裝置，其包括：

襯底，其具有表面，所述襯底包含鄰近所述表面安置的至少一個(gè)結(jié)合襯墊；以及

金屬托架，其鄰近所述結(jié)合襯墊安置。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述金屬托架包括空腔。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述金屬托架的所述空腔具有杯形形狀。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述金屬托架具有側(cè)壁，其中所述側(cè)壁在一端傾斜。

5.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述金屬托架具有側(cè)壁，所述側(cè)壁具有內(nèi)表面和與所述內(nèi)表面相對(duì)的外表面，且所述外表面朝向所述襯底的所述表面向下傾斜。

6.根據(jù)權(quán)利要求5所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述內(nèi)表面大體上垂直于所述結(jié)合襯墊的表面。

7.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述金屬托架具有鉗形形狀。

8.根據(jù)權(quán)利要求1所述的半導(dǎo)體裝置，其進(jìn)一步包括鄰近所述襯底的所述表面安置的絕緣層，其中所述絕緣層界定暴露所述結(jié)合襯墊的一部分的開(kāi)口，且所述金屬托架安置在所述絕緣層的所述開(kāi)口中。

9.一種半導(dǎo)體裝置，其包括：

第一襯底，其具有表面，所述第一襯底包含鄰近所述表面安置的至少一個(gè)結(jié)合襯墊；以及

金屬元件，其鄰近所述結(jié)合襯墊安置，其中所述金屬元件適合于安裝鄰近第二襯底的表面安置的金屬托架。

10.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述金屬托架包括空腔，且所述空腔的寬度不小于所述金屬元件的寬度。

11.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述金屬元件的側(cè)壁的至少一部分由第一金屬層包圍。

12.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述金屬元件的頂面的至少一部分被所述第一金屬層覆蓋。

13.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述金屬托架包括空腔，且所述空腔的寬度不小于所述金屬元件和所述第一金屬層的寬度。

14.根據(jù)權(quán)利要求11所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述金屬元件包含銅，且所述第一金屬層包含焊料。

15.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置，其中所述金屬元件包含焊料。

16.根據(jù)權(quán)利要求9所述的半導(dǎo)體裝置，其進(jìn)一步包括鄰近所述第一襯底的所述表面安置的絕緣層，其中所述絕緣層界定暴露所述結(jié)合襯墊的一部分的開(kāi)口，且所述金屬元件安置在所述絕緣層的所述開(kāi)口中。

17.一種用于制造半導(dǎo)體裝置的方法，其包括：

將絕緣層安置在載體上；

將至少兩個(gè)金屬托架材料安置在所述絕緣層上，其中所述兩個(gè)金屬托架材料彼此間隔一距離；

將所述兩個(gè)金屬托架材料與鄰近襯底的表面安置的結(jié)合襯墊對(duì)準(zhǔn)；以及

將所述兩個(gè)金屬托架材料結(jié)合到所述結(jié)合襯墊。

18.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中將所述兩個(gè)金屬托架材料結(jié)合到所述結(jié)合襯墊的步驟包括對(duì)所述兩個(gè)金屬托架材料進(jìn)行回流焊。

19.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中所述兩個(gè)金屬托架材料包含焊料。

20.根據(jù)權(quán)利要求17所述的方法，其中將所述兩個(gè)金屬托架材料與所述結(jié)合襯墊對(duì)準(zhǔn)的步驟包括：在鄰近所述襯底的所述表面安置所述絕緣層，使得所述絕緣層、所述結(jié)合襯墊和所述兩個(gè)金屬托架材料界定一空間。