[發(fā)明專利]利用氫化硅和銀的感應(yīng)透射濾波器

在審

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• 申請日: 2021-04-27
• 公開（公告）號: CN113568081A
• 公開（公告）日: 2021-10-29
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 喬治·J·歐肯法斯
• 申請（專利權(quán)）人: 唯亞威通訊技術(shù)有限公司
• 主分類號: G02B5/28
• 分類號: G02B5/28;C23C14/06;C23C14/18;C23C14/10;C23C14/34
• 代理公司: 北京安信方達(dá)知識產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11262
• 代理人: 武娟;楊明釗

本申請涉及利用氫化硅和銀的感應(yīng)透射濾波器。感應(yīng)透射濾波器可以包括光學(xué)濾波器層的集合。該光學(xué)濾波器層的集合可以包括光學(xué)濾波器層的第一子集，該光學(xué)濾波器層的第一子集包括具有第一折射率的第一材料，該第一材料至少包括硅和氫。該光學(xué)濾波器層的集合可以包括光學(xué)濾波器層的第二子集，該光學(xué)濾波器層的第二子集包括具有第二折射率的第二材料。第二材料可以不同于第一材料，并且第二折射率可以小于第一折射率。第二材料可以至少包括銀。

相關(guān)申請的交叉引用

本專利申請要求于2020年4月28日提交并且標(biāo)題為“INDUCED TRANSMISSIONFILTER WITH HYDROGENATED SILICON AND SILVER”的第63/016,731號美國臨時(shí)專利申請的優(yōu)先權(quán)。該在先申請的公開內(nèi)容被認(rèn)為是本專利申請的一部分，并且通過引用并入本專利申請。

背景

光學(xué)發(fā)射器可以發(fā)射指向一個(gè)或更多個(gè)對象的光。例如，在手勢識別系統(tǒng)中，光學(xué)發(fā)射器可以向用戶發(fā)射近紅外(NIR)光，并且NIR光可以從用戶向光學(xué)接收器反射。在這種情況下，光學(xué)接收器可以捕獲關(guān)于NIR光的信息，并且該信息可以用于識別用戶正在執(zhí)行的手勢。例如，設(shè)備可以使用該信息來生成用戶的三維表示，并基于該三維表示來識別用戶正在執(zhí)行的手勢。在其他示例中，系統(tǒng)可以使用光學(xué)發(fā)射器和光學(xué)接收器來進(jìn)行測距、對象識別、光譜分析(spectroscopy)、健康監(jiān)測等。

在一些情況下，在光的透射期間，可能需要發(fā)射的光的特定圖案或發(fā)射的光的頻帶(band)，因此可以將光整形光學(xué)器件設(shè)置在光學(xué)發(fā)射器與目標(biāo)之間的光路上。類似地，在發(fā)射的光向目標(biāo)的透射期間和/或從目標(biāo)反射到光學(xué)接收器期間，環(huán)境光可能會(huì)干擾發(fā)射的光。在這樣的情況下，光學(xué)濾波器可以設(shè)置在目標(biāo)和光學(xué)接收器之間的光路中。例如，光學(xué)接收器可以光學(xué)耦合到感應(yīng)透射濾波器、帶通濾波器等，以對一些波長的光(例如，對應(yīng)于環(huán)境光的波長)進(jìn)行濾波，并允許其他波長的光(例如，對應(yīng)于諸如發(fā)射的NIR光的波長)穿過朝向光學(xué)接收器。

概述

根據(jù)一些可能的實(shí)施方式，感應(yīng)透射濾波器可以包括光學(xué)濾波器層的集合。該光學(xué)濾波器層的集合可以包括光學(xué)濾波器層的第一子集，該光學(xué)濾波器層的第一子集包括具有第一折射率的第一材料，該第一材料至少包括硅和氫。該光學(xué)濾波器層的集合可以包括光學(xué)濾波器層的第二子集，該光學(xué)濾波器層的第二子集包括具有第二折射率的第二材料。第二材料可以不同于第一材料。第二材料可以至少包括銀。

根據(jù)一些可能的實(shí)施方式，一種方法可以包括沉積光學(xué)濾波器的光學(xué)濾波器層的第一子集，光學(xué)濾波器層的第一子集包括具有第一折射率的第一材料，第一材料至少包括硅和氫；以及沉積光學(xué)濾波器的光學(xué)濾波器層的第二子集，光學(xué)濾波器層的第二子集包括具有第二折射率的第二材料，并且第二材料不同于第一材料，第二材料至少包括金屬。金屬可能是銀。

根據(jù)一些可能的實(shí)施方式，光學(xué)系統(tǒng)可以包括光學(xué)濾波器，以對輸入的光學(xué)信號進(jìn)行濾波并提供濾波后的輸入的光學(xué)信號。光學(xué)濾波器可以包括光學(xué)濾波器層的集合。該光學(xué)濾波器層的集合可以包括光學(xué)濾波器層的第一子集，該光學(xué)濾波器層的第一子集包括具有第一折射率的第一材料，該第一材料至少包括硅和氫。該光學(xué)濾波器層的集合可以包括光學(xué)濾波器層的第二子集，該光學(xué)濾波器層的第二子集包括具有第二折射率的第二材料，第二材料不同于第一材料，第二材料至少包括銀。光學(xué)系統(tǒng)可以包括光學(xué)接收器，該光學(xué)接收器用于接收濾波后的輸入的光學(xué)信號并提供輸出的電信號。

在下文的一個(gè)或更多個(gè)實(shí)施方案中可以實(shí)現(xiàn)本申請的各方面：

1)一種感應(yīng)透射濾波器，所述感應(yīng)透射濾波器包括：

光學(xué)濾波器層的集合，所述光學(xué)濾波器層的集合包括：

光學(xué)濾波器層的第一子集，所述光學(xué)濾波器層的第一子集包括具有第一折射率的第一材料，所述第一材料至少包括硅或氫；和

光學(xué)濾波器層的第二子集，所述光學(xué)濾波器層的第二子集包括具有第二折射率的第二材料，