[發明專利]一種單晶硅生產設備

有效

• 申請號: 202110456606.6
• 申請日: 2021-04-27
• 公開（公告）號: CN113151892B
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發明（設計）人: 陳立民;趙亮;陳麗芳;王澤東;姜君
• 申請（專利權）人: 曲靖陽光新能源股份有限公司
• 主分類號: C30B15/00
• 分類號: C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20
• 代理公司: 北京華仁聯合知識產權代理有限公司 11588
• 代理人: 李冰

本發明涉及一種單晶硅生產設備，其中，直拉單晶用熱屏裝置包括：內層隔熱筒；外層隔熱筒，所述外層隔熱筒圍繞設置在所述內層隔熱筒外側；熱反射片，所述熱反射片固定連接在所述外層隔熱筒內側周壁上；隔熱墊，所述隔熱墊固定安裝在所述內層隔熱筒和所述熱反射片之間；其中單晶硅生產設備包括:爐體；坩堝，所述坩堝安裝在所述爐體內底壁上，所述坩堝底部安裝有旋轉裝置；熱屏裝置，所述熱屏裝置用于單晶硅生產過程中的熱屏蔽；充氣裝置，所述充氣裝置用于往爐體內充入氣體；直拉裝置，所述直拉裝置用于單晶硅的直拉生長。通過上述結構的設計，能增大縱向溫度梯度，提高單晶硅的生長速度，從而提高單晶硅的產量和生產效率。

技術領域

本發明涉及單晶硅生產技術領域，更具體地說，本發明涉及一種單晶硅生產設備。

背景技術

硅單晶的生長是在真空工作室內將多晶原材料放入坩堝中，通過加熱器將原材料熔化，然后通過籽晶引導、向上提拉方法生長出理想的硅單晶。現有的直拉式硅單晶生長爐，由于缺少屏蔽熱量的裝置導致形成的單晶硅不能快速冷卻，影響了單晶硅的生長速度，降低了工作效率。因此需要提出一種單晶硅生產設備以解決上述問題。

發明內容

在發明內容部分中引入了一系列簡化形式的概念，這將在具體實施方式部分中進一步詳細說明。本發明的發明內容部分并不意味著要試圖限定出所要求保護的技術方案的關鍵特征和必要技術特征，更不意味著試圖確定所要求保護的技術方案的保護范圍。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種直拉單晶用熱屏裝置，

所述熱屏裝置包括：

內層隔熱筒；

外層隔熱筒，所述外層隔熱筒圍繞設置在所述內層隔熱筒外側；

熱反射片，所述熱反射片固定連接在所述外層隔熱筒內側周壁上；

隔熱墊，所述隔熱墊固定安裝在所述內層隔熱筒和所述熱反射片之間。

作為本發明的一種改進，所述熱反射片由鉬材料制成。

一種單晶硅生產設備，包括：爐體，所述爐體內部設置為空腔，所述爐體外壁固定連接有控制裝置；

坩堝，所述坩堝安裝在所述爐體內底壁上，所述坩堝底部安裝有旋轉裝置，所述旋轉裝置用于帶動坩堝旋轉；

所述熱屏裝置安裝在所述爐體內，所述熱屏裝置位于所述坩堝上側，所述熱屏裝置用于單晶硅生產過程中的熱屏蔽；

充氣裝置，所述充氣裝置安裝在所述爐體上，所述充氣裝置與所述控制裝置電連接，所述充氣裝置用于往爐體內充入氣體；

直拉裝置，所述直拉裝置安裝在所述爐體上，所述直拉裝置與所述控制裝置電連接，所述直拉裝置用于單晶硅的直拉生長。

作為本發明的一種改進，所述坩堝內裝有硅熔體。

作為本發明的一種改進，所述內層隔熱筒固定安裝在所述爐體內頂壁上，所述內層隔熱筒位于所述坩堝上側；所述外層隔熱筒固定安裝在所述爐體內頂壁上。

作為本發明的一種改進，所述爐體內底壁固定連接有隔熱箱、加熱環，所述隔熱箱內側壁固定連接有保溫墊，所述加熱環設置在所述保溫墊內側，所述加熱環與所述控制裝置電連接，所述坩堝位于所述加熱環內側，所述熱屏裝置設置在所述隔熱箱上方，所述隔熱箱頂端開設有與所述熱屏裝置連通的敞口。

作為本發明的一種改進，所述充氣裝置包括：

儲氣箱，所述儲氣箱與所述爐體通過進氣管連接，所述進氣管上安裝有電磁閥，所述電磁閥與所述控制裝置電連接；

抽氣泵，所述抽氣泵固定安裝在所述爐體頂端，所述抽氣泵與所述控制裝置電連接，所述抽氣泵與所述爐體通過抽氣管連接，所述抽氣管延伸至所述爐體內側。