[發(fā)明專利]一種單晶硅生產(chǎn)設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110456606.6
• 申請(qǐng)日: 2021-04-27
• 公開（公告）號(hào): CN113151892B
• 公開（公告）日: 2022-02-18
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 陳立民;趙亮;陳麗芳;王澤東;姜君
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 曲靖陽光新能源股份有限公司
• 主分類號(hào): C30B15/00
• 分類號(hào): C30B15/00;C30B29/06;C30B15/20
• 代理公司: 北京華仁聯(lián)合知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理有限公司 11588
• 代理人: 李冰

1.一種單晶硅生產(chǎn)設(shè)備，其特征在于，包括：爐體(1)，所述爐體(1)內(nèi)部設(shè)置為空腔，所述爐體(1)外壁固定連接有控制裝置；

坩堝(2)，所述坩堝(2)安裝在所述爐體(1)內(nèi)底壁上，所述坩堝(2)底部安裝有旋轉(zhuǎn)裝置，所述旋轉(zhuǎn)裝置用于帶動(dòng)坩堝(2)旋轉(zhuǎn)；

熱屏裝置(3)，所述熱屏裝置(3)安裝在所述爐體(1)內(nèi)，所述熱屏裝置(3)位于所述坩堝(2)上側(cè)，所述熱屏裝置(3)用于單晶硅生產(chǎn)過程中的熱屏蔽；

充氣裝置(4)，所述充氣裝置(4)安裝在所述爐體(1)上，所述充氣裝置(4)與所述控制裝置電連接，所述充氣裝置(4)用于往爐體(1)內(nèi)充入氣體；

直拉裝置(5)，所述直拉裝置(5)安裝在所述爐體(1)上，所述直拉裝置(5)與所述控制裝置電連接，所述直拉裝置(5)用于單晶硅的直拉生長；

所述熱屏裝置(3)包括：

內(nèi)層隔熱筒(301)；

外層隔熱筒(302)，所述外層隔熱筒(302)圍繞設(shè)置在所述內(nèi)層隔熱筒(301)外側(cè)；

熱反射片(303)，所述熱反射片(303)固定連接在所述外層隔熱筒(302)內(nèi)側(cè)周壁上；

隔熱墊(304)，所述隔熱墊(304)固定安裝在所述內(nèi)層隔熱筒(301)和所述熱反射片(303)之間；

所述熱反射片(303)由鉬材料制成；

所述充氣裝置(4)包括：

儲(chǔ)氣箱(401)，所述儲(chǔ)氣箱(401)與所述爐體(1)通過進(jìn)氣管(402)連接，所述進(jìn)氣管(402)上安裝有電磁閥(403)，所述電磁閥(403)與所述控制裝置電連接；

抽氣泵(404)，所述抽氣泵(404)固定安裝在所述爐體(1)頂端，所述抽氣泵(404)與所述控制裝置電連接，所述抽氣泵(404)與所述爐體(1)通過抽氣管(405)連接，所述抽氣管(405)延伸至所述爐體(1)內(nèi)側(cè)；

所述直拉裝置(5)包括：

機(jī)箱(501)，所述機(jī)箱(501)固定連接在所述爐體(1)頂壁上，所述機(jī)箱(501)內(nèi)開設(shè)有第一腔體(502)；

第一電機(jī)(503)，所述第一電機(jī)(503)固定連接在所述第一腔體(502)頂壁上，所述第一電機(jī)(503)與所述控制裝置電連接；

絲桿(504)，所述絲桿(504)一端固定連接在所述第一電機(jī)(503)輸出端，所述絲桿(504)另一端轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述第一腔體(502)底壁上；

安裝板(505)，所述安裝板(505)設(shè)有螺紋孔(506)，所述絲桿(504)穿過所述螺紋孔(506)螺紋連接，所述安裝板(505)滑動(dòng)連接在所述第一腔體(502)內(nèi)側(cè)周壁上；

第二電機(jī)(507)，所述第二電機(jī)(507)固定連接在所述安裝板(505)上，所述第二電機(jī)(507)位于所述絲桿(504)一側(cè)，所述第二電機(jī)(507)與所述控制裝置電連接；

花鍵軸(508)，所述花鍵軸(508)一端固定連接在所述第二電機(jī)(507)輸出端，所述花鍵軸(508)另一端延伸至所述爐體(1)內(nèi)；

籽晶(509)，所述籽晶(509)固定連接在所述花鍵軸(508)遠(yuǎn)離所述第二電機(jī)(507)端；

還包括：攪拌裝置(6)，所述攪拌裝置(6)安裝在所述爐體(1)內(nèi)，所述攪拌裝置(6)包括：

第一傳動(dòng)箱(601)，所述第一傳動(dòng)箱(601)固定連接在所述爐體(1)內(nèi)側(cè)頂壁上，所述第一傳動(dòng)箱(601)內(nèi)開設(shè)有第一傳動(dòng)腔(602)，所述第一傳動(dòng)腔(602)與所述爐體(1)內(nèi)部連通；

花鍵套(603)，所述花鍵套(603)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述第一傳動(dòng)腔(602)內(nèi)側(cè)壁上，所述花鍵軸(508)穿過所述花鍵套(603)連接；

第一齒輪(604)，所述第一齒輪(604)固定連接在所述花鍵套(603)上；

連接桿(605)，所述花鍵套(603)穿過所述連接桿(605)中部固定連接，所述連接桿(605)與所述花鍵套(603)垂直設(shè)置，所述連接桿(605)位于所述第一齒輪(604)上側(cè)；

轉(zhuǎn)動(dòng)軸(606)，所述連接桿(605)兩端均轉(zhuǎn)動(dòng)連接有所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(606)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(606)延伸至所述坩堝(2)內(nèi)；

第二齒輪(607)，所述第二齒輪(607)固定連接在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(606)上，兩個(gè)所述第二齒輪(607)均與所述第一齒輪(604)嚙合連接；

攪拌扇葉(608)，所述攪拌扇葉(608)固定連接在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(606)上，所述攪拌扇葉(608)位于所述坩堝(2)內(nèi)；

還包括：冷卻裝置(7)，所述冷卻裝置(7)安裝在所述爐體(1)內(nèi)，所述冷卻裝置(7)包括：

環(huán)形安裝架(701)，所述環(huán)形安裝架(701)固定安裝在所述內(nèi)層隔熱筒(301)內(nèi)側(cè)壁上，所述環(huán)形安裝架(701)內(nèi)開設(shè)有第一環(huán)形腔(702)；

環(huán)形安裝箱(703)，所述環(huán)形安裝箱(703)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在所述環(huán)形安裝架(701)內(nèi)側(cè)壁上，所述環(huán)形安裝箱(703)開設(shè)有第二環(huán)形腔(704)，所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(606)穿過所述第二環(huán)形腔(704)設(shè)置，所述花鍵軸(508)穿過所述環(huán)形安裝箱(703)內(nèi)側(cè)設(shè)置；

第一斜齒輪(705)，所述第一斜齒輪(705)固定連接在所述轉(zhuǎn)動(dòng)軸(606)上，所述第一斜齒輪(705)位于所述第二環(huán)形腔(704)內(nèi)；

第二斜齒輪(706)，所述第二斜齒輪(706)嚙合連接在所述第一斜齒輪(705)側(cè)；

連接軸(707)，所述連接軸(707)一端固定連接在所述第二斜齒輪(706)上，所述環(huán)形安裝箱(703)內(nèi)側(cè)周壁開設(shè)有吹風(fēng)腔(708)，所述連接軸(707)另一端延伸至所述吹風(fēng)腔(708)內(nèi)；

風(fēng)扇(709)，所述風(fēng)扇(709)固定連接在所述連接軸(707)遠(yuǎn)離所述第二斜齒輪(706)端；

通風(fēng)口(710)，所述環(huán)形安裝箱(703)開設(shè)有所述通風(fēng)口(710)，所述通風(fēng)口(710)對(duì)應(yīng)設(shè)置在所述連接軸(707)一側(cè)，所述通風(fēng)口(710)與所述第二環(huán)形腔(704)和所述環(huán)形安裝箱(703)內(nèi)側(cè)連通，

連接管(711)，所述連接管(711)安裝在所述內(nèi)層隔熱筒(301)內(nèi)側(cè)，所述連接管(711)一端與所述第一環(huán)形腔(702)連通，所述連接管(711)另一端延伸至所述內(nèi)層隔熱筒(301)下側(cè)，并靠近敞口設(shè)置。