[發(fā)明專利]一種半導(dǎo)體晶片加工處理裝置

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110455584.1
• 申請(qǐng)日: 2021-04-26
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113117979A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-07-16
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 不公告發(fā)明人
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 高彬
• 主分類號(hào): B05C5/02
• 分類號(hào): B05C5/02;B05C9/10;B05C9/12;B05C11/08;B05C11/10;B05C13/02;B05D3/06
• 代理公司: 南昌逸辰知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 36145
• 代理人: 石聰燦

1.一種半導(dǎo)體晶片加工處理裝置，包括工作臺(tái)(1)和晶片本體(105)，其特征在于，所述工作臺(tái)(1)上設(shè)有電機(jī)(102)，所述電機(jī)(102)的輸出端連接有第一轉(zhuǎn)軸(103)，所述第一轉(zhuǎn)軸(103)的頂部固定連接有放置盤(104)，所述晶片本體(105)放置在放置盤(104)內(nèi)，所述工作臺(tái)(1)的頂部連接有封裝板(3)，所述封裝板(3)的頂部設(shè)有與晶片本體(105)相配合的涂膠機(jī)構(gòu)，所述工作臺(tái)(1)的頂部固定連接有儲(chǔ)膠池(2)，所述儲(chǔ)膠池(2)內(nèi)設(shè)有膠體回收機(jī)構(gòu)，所述第一轉(zhuǎn)軸(103)上固定連接有與膠體回收機(jī)構(gòu)相配合的曲軸(108)，所述封裝板(3)的內(nèi)壁固定連接有固定板(303)，所述固定板(303)上設(shè)有與涂膠機(jī)構(gòu)相配合的清灰機(jī)構(gòu)。

2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶片加工處理裝置，其特征在于，所述涂膠機(jī)構(gòu)包括儲(chǔ)膠箱(4)、水泵(301)和噴嘴(302)，所述儲(chǔ)膠箱(4)和水泵(301)均固定連接在封裝板(3)的頂部，所述水泵(301)的抽水端和儲(chǔ)膠箱(4)之間連接有第一導(dǎo)管，所述水泵(301)的出水端連接有第二導(dǎo)管，所述噴嘴(302)連接在第二導(dǎo)管遠(yuǎn)離水泵(301)的一端上，且所述噴嘴(302)位于晶片本體(105)的正上方。

3.根據(jù)權(quán)利要求2所述的一種半導(dǎo)體晶片加工處理裝置，其特征在于，所述膠體回收機(jī)構(gòu)包括抽膠箱(109)、活塞(110)、回流管(111)和吸膠管(112)，所述抽膠箱(109)固定連接在儲(chǔ)膠池(2)內(nèi)，所述活塞(110)滑動(dòng)連接在抽膠箱(109)內(nèi)，所述曲軸(108)的外壁轉(zhuǎn)動(dòng)連接有連接桿，所述連接桿遠(yuǎn)離曲軸(108)的一端與活塞(110)的側(cè)壁轉(zhuǎn)動(dòng)相連，所述吸膠管(112)連接在抽膠箱(109)的底部側(cè)壁上，所述回流管(111)的兩端分別與抽膠箱(109)和儲(chǔ)膠箱(4)相連通，所述回流管(111)吸膠管(112)內(nèi)均設(shè)有單向閥(114)。

4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶片加工處理裝置，其特征在于，所述工作臺(tái)(1)上設(shè)有開(kāi)槽(101)，所述電機(jī)(102)固定連接在開(kāi)槽(101)內(nèi)，所述第一轉(zhuǎn)軸(103)上固定連接有第一帶輪(107)，所述開(kāi)槽(101)內(nèi)轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第二轉(zhuǎn)軸(115)，所述第二轉(zhuǎn)軸(115)上固定連接有第二帶輪(116)，所述第一帶輪(107)和第二帶輪(116)之間連接有皮帶。

5.根據(jù)權(quán)利要求4所述的一種半導(dǎo)體晶片加工處理裝置，其特征在于，所述清灰機(jī)構(gòu)包括往復(fù)絲桿(305)、通電板(307)和導(dǎo)電板(308)，所述固定板(303)上設(shè)有滑槽(304)，所述往復(fù)絲桿(305)轉(zhuǎn)動(dòng)連接在滑槽(304)內(nèi)，所述第二轉(zhuǎn)軸(115)遠(yuǎn)離開(kāi)槽(101)的一端固定連接有第一錐齒輪(117)，所述往復(fù)絲桿(305)上固定連接有與第一錐齒輪(117)嚙合相連的第二錐齒輪(306)，所述導(dǎo)電板(308)螺紋連接在往復(fù)絲桿(305)上，所述通電板(307)固定連接在滑槽(304)內(nèi)，且所述導(dǎo)電板(308)的側(cè)壁與通電板(307)的側(cè)壁相貼。

6.根據(jù)權(quán)利要求1所述的一種半導(dǎo)體晶片加工處理裝置，其特征在于，所述工作臺(tái)(1)和封裝板(3)之間固定連接有隔板(118)，所述工作臺(tái)(1)的頂部固定連接有放置板(119)，所述封裝板(3)的頂部?jī)?nèi)壁連接有紫外線燈(311)，所述放置板(119)和紫外線燈(311)之間固定連接有掩膜板(124)，所述工作臺(tái)(1)的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有第三轉(zhuǎn)軸(120)，所述第三轉(zhuǎn)軸(120)上設(shè)有與掩膜板(124)相配合的夾持機(jī)構(gòu)。

7.根據(jù)權(quán)利要求6所述的一種半導(dǎo)體晶片加工處理裝置，其特征在于，所述夾持機(jī)構(gòu)包括第一夾持板(122)和第二夾持板(123)，所述第一夾持板(122)和第二夾持板(123)均螺紋連接在第三轉(zhuǎn)軸(120)上，所述掩膜板(124)的側(cè)壁固定連接有連接板(125)，所述第一夾持板(122)的底部和第二夾持板(123)的頂部分別與連接板(125)的兩側(cè)外壁相抵，所述第三轉(zhuǎn)軸(120)的頂部轉(zhuǎn)動(dòng)連接有手柄(121)。