[發明專利]一種有機發光二極管器件的封裝結構、顯示裝置及其封裝方法

在審

• 申請號: 202110455127.2
• 申請日: 2021-04-26
• 公開（公告）號: CN113193146A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 茆勝
• 申請（專利權）人: 睿馨（珠海）投資發展有限公司
• 主分類號: H01L51/52
• 分類號: H01L51/52;H01L27/32
• 代理公司: 上海洞鑒知識產權代理事務所(普通合伙) 31346
• 代理人: 劉少偉

本發明涉及一種有機發光二極管器件的封裝結構、顯示裝置及其封裝方法，其封裝結構包括：基板，設置有有機發光二極管器件；第一ALD層、第一無機介電層、第二ALD層，所述第一ALD層設置在所述基板上，所述第一無機介電層設置在所述第一ALD層上，所述第二ALD層設置在所述第一無機介電層上；所述第一ALD層、第二ALD層由鋁、鉿、鈦，鋯、硅的氧化物或者氮化物構成；所述第一無機介電層由金屬氧化物、金屬氮化物或金屬氧氮化物通過濺射方式形成。有益效果是：本發明的封裝結構含有至少兩個氧化物或氮化物層，以及夾在中間的無機介電層，該種結構的結合，使得水氧封裝結構中的滲透率非常低，提高了封裝效果。

技術領域

本發明涉及二極管封裝技術領域，尤其是涉及一種有機發光二極管器件的封裝結構、顯示裝置及其封裝方法。

背景技術

有機發光二極管(OLED)器件通常是在襯底上形成的若干薄膜層堆棧結構。在堆棧結構中，有機發光層以及相鄰的半導體層夾在陰極和陽極之間。任何層，特別是發光層，可以由多個子層組成。在典型的OLED中，陰極或陽極都是透明的，這些堆棧結構薄膜層可以通過蒸發、旋涂、以及其他合適的聚合物薄膜形成技術或化學自組裝方式形成。厚度通常從幾百到幾千埃不等。OLED材料對水氧組分極為敏感，容易受到水氧組分的破壞，大大縮短有機發光二極管(OLED)器件的使用壽命。因此，改進密封工藝對實際生產具有重要意義。

目前，有機電致發光器件的水氧防護可以通過薄膜封裝(TFE)來實現。薄膜封裝(TFE)由于其透明特性，用于頂發射有機發光二極管(OLED)器件的水氧防護。目前有多種薄膜封裝方法。其中一種方法是使用無機層和有機層交替多層疊層結構封裝有機發光二極管(OLED)器件。該封裝結構中包含了不同的層，但是每一層對環境都有一定程度的滲透性。因此，該封裝結構的有效性和可靠性都待提高。而底發射有機發光二極管(OLED)器件中，是將OLED夾在玻璃或金屬蓋板之間，并用環氧樹脂密封邊緣，且干燥劑也需要同樣密封在其中。而在頂發射有機發光二極管(OLED)器件中，光需要穿過透明封裝層，因此沒有使用干燥劑的空間。

發明內容

本發明提供一種有機發光二極管器件的封裝結構、顯示裝置及其封裝方法，以解決現有技術中水氧在封裝結構中具有一定滲透率以及頂發射有機發光二極管器件的封裝的問題。

一種有機發光二極管器件的封裝結構，包括：

基板，設置有有機發光二極管(OLED)器件；

第一ALD層、第一無機介電層、第二ALD層，所述第一ALD層設置在所述基板上，所述第一無機介電層設置在所述第一ALD層上，所述第二ALD層設置在所述第一無機介電層上；所述第一ALD層、第一無機介電層、第二ALD層為一組封裝；

所述第一ALD層、第二ALD層由鋁(Al)、鉿(Hf)、鈦(Ti)，鋯(Zr)、硅(Si)的氧化物或者氮化物構成；

所述第一無機介電層由金屬氧化物、金屬氮化物或金屬氧氮化物通過濺射方式形成。

在一些實施例中，所述第一ALD層、第二ALD層的材料相同。

在一些實施例中，所述第一ALD層、第二ALD層的材料不同。

在一些實施例中，所述第一ALD層、第二ALD層均為A1₂O₃層。

在一些實施例中，所述第一無機介電層為SiO₂層。

在一些實施例中，所述一組封裝大于等于2。

在一些實施例中，所述一組封裝中進行應力補償。

在一些實施例中，所述第一ALD層具有拉應力，所述第一無機介電層具有壓應力。

在一些實施例中，第一ALD層、第一無機介電層、第二ALD層均是透明的、無機的和介電的。