[發明專利]一種電子顯微鏡載網、其制備方法和顯微鏡產品

在審

• 申請號: 202110453128.3
• 申請日: 2021-04-26
• 公開（公告）號: CN113192816A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 蘇東;趙劍雄;郭勝楠
• 申請（專利權）人: 中國科學院物理研究所
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/26;H01J37/28;H01J9/00;G01N23/04;G01N23/20025
• 代理公司: 北京市英智偉誠知識產權代理事務所(普通合伙) 11521
• 代理人: 劉丹妮;姚望舒

本發明提供了一種電子顯微鏡載網，所述電子顯微鏡載網包括網體和隔板，所述隔板凸設于所述網體一側的網體表面，并將該側網體表面分隔為兩個或兩個以上載樣區，還提供了其制備方法和顯微鏡產品。本發明一片載網能夠承載至少兩種樣品，且兩種樣品互不混合，互不干擾。使用本發明的載網，一次裝樣檢測，能夠檢測兩種或兩種以上的樣品。

技術領域

本發明屬于材料分析檢測領域，具體涉及一種電子顯微鏡載網、其制備方法和顯微鏡產品。

背景技術

透射電子顯微鏡是一種研究材料微觀結構的重要分析儀器。目前先進的透射電子顯微學成像技術可以實現對薄樣品內部原子排列的直接觀察。對于納米顆粒樣品，和生物樣品需要用專用載網作為支撐和載體進行觀察。

相關技術中，使用載網負載待分析樣品的方法如下：

(1)使用合適的有機溶劑(乙醇，丙醇，正己烷，環己烷，甲苯)或高純水分散待分析樣品，制成樣品溶液；

(2)使用毛細管或者微量移液器在載網上滴加少量樣品溶液；

(3)靜置或烘干上一步獲得的載網，直到溶劑充分揮發，且樣品均勻地附著于載網表面。

本發明人發現，當載網負載好樣品后，可將其送入透射電子顯微鏡檢測。透射電子顯微鏡的鏡筒內部一般為10^-5-10^-7Pa量級的真空度。在把樣品送入鏡筒內部之前，通常需要一段約5～10分鐘的預抽真空過程，這個過程不但會破壞電鏡真空，而且會帶入污染，影響樣品的觀察。如果能減少換樣次數，不但能節約測試的時間和成本，而且能維持電鏡內部的高真空，和鏡筒內部的清潔度。目前使用的電子顯微鏡載網上只能負載一種樣品，如果滴加兩種或兩種以上的樣品在一片載網上，樣品將由于擴散效應在載網表面混合，影響實驗中對樣品的檢測。如何改進載網的結構，獲得能夠負載多個樣品的載網，從而高效利用昂貴的電鏡測試時間，并且增加測試的準確度和可信度，是一項亟待解決的問題。

發明內容

因此，本發明的目的在于克服現有技術中的缺陷，提供一種能夠實現在同一載網上滴加兩種或兩種以上樣品溶液的電子顯微鏡載網，及其制備方法和顯微鏡產品。

在闡述本發明內容之前，定義本文中所使用的術語如下：

術語“載網”是指：用于承載電子顯微鏡樣品的載具。

術語“支持膜”是指：用于覆蓋載網網孔的納米薄膜。

術語“貫穿”是指沿平行于網體表面的方向，從網體的一端延伸至網體的另一端。

術語“以上”包括本數，例如三個以上包括三個、四個、五個等。

術語“液體隔離”是指滴在隔板與網體表面交界一側的液體基本上不通過隔板與網體表面的交界而到達另一側。

為實現上述目的，本發明的第一方面提供了一種電子顯微鏡載網，所述電子顯微鏡載網包括網體和隔板，所述隔板凸設于所述網體一側的網體表面，并將該側網體表面分隔為兩個以上載樣區。

根據本發明第一方面的電子顯微鏡載網，其中，所述隔板從一個或多個方向貫穿整個網體表面。

根據本發明第一方面的電子顯微鏡載網，其中，所述隔板貼靠或緊密連接在所述網體表面。

根據本發明第一方面的電子顯微鏡載網，其中，所述網體的材質選自以下一種或多種：鉭，鈦，銅，鎳，鉬，氮化硅；和/或

所述網體的網孔形狀選自以下一種或多種：柵狀、方孔、圓孔、三角型孔、六邊形孔、橢圓形孔型。

根據本發明第一方面的電子顯微鏡載網，其中，所述隔板的凸起高度為10微米以上，優選為50微米以上，更優選為100～200微米；和/或