[發明專利]一種電子顯微鏡載網、其制備方法和顯微鏡產品

在審

• 申請號: 202110453128.3
• 申請日: 2021-04-26
• 公開（公告）號: CN113192816A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 蘇東;趙劍雄;郭勝楠
• 申請（專利權）人: 中國科學院物理研究所
• 主分類號: H01J37/20
• 分類號: H01J37/20;H01J37/26;H01J37/28;H01J9/00;G01N23/04;G01N23/20025
• 代理公司: 北京市英智偉誠知識產權代理事務所(普通合伙) 11521
• 代理人: 劉丹妮;姚望舒

1.一種電子顯微鏡載網，其特征在于，所述電子顯微鏡載網包括網體和隔板，所述隔板凸設于所述網體一側的網體表面，并將該側網體表面分隔為兩個以上載樣區；

優選地，相鄰的載樣區被隔板液體隔離。

2.根據權利要求1所述的電子顯微鏡載網，其特征在于，所述隔板從一個或多個方向貫穿整個網體表面。

3.根據權利要求1或2所述的電子顯微鏡載網，其特征在于，所述隔板貼靠或緊密連接在所述網體表面。

4.根據權利要求1至3中任一項所述的電子顯微鏡載網，其特征在于，所述網體的材質選自以下一種或多種：鉭，鈦，銅，鎳，鉬，氮化硅；和/或

所述網體的網孔形狀選自以下一種或多種：柵狀、方孔、圓孔、三角型孔、六邊形孔、橢圓形孔型。

5.根據權利要求1至4中任一項所述的電子顯微鏡載網，其特征在于，所述隔板的凸起高度為10微米以上；和/或

所述隔板的材料選自以下一種或多種：鉭，鈦，銅，鎳，鉬，氮化硅。

6.根據權利要求1至5中任一項所述的電子顯微鏡載網，其特征在于，所述電子顯微鏡載網還包括網框，所述電子顯微鏡載網的網體設置在網框內；

優選地，隔板的一個或多個端部與網框連接；

更優選地，網框與隔板凸出網體表面的高度相差不大于10％，優選不大于5％，更優選不大于1％。

7.根據權利要求1至6中任一項所述的電子顯微鏡載網，其特征在于，所述電子顯微鏡載網還包括支持膜；

優選地，所述網體包括第一側表面和第二側表面，所述網體的第一側表面凸設有所述隔板，所述網體的第二側表面上未設置隔板且覆有所述支持膜；

更優選地，所述支持膜的材料選自以下一種或多種：無定形碳、石墨烯、碳納米管。

8.根據權利要求1至6中任一項所述的電子顯微鏡載網的制備方法，其特征在于，所述隔板與所述網體通過一體化制造技術制備，所述一體化制造技術優選為鑄造或鍛造；或

所述隔板焊接或粘結在所述網體表面。

9.一種電子顯微鏡檢測方法，其特征在于，所述方法使用權利要求1至6中任一項所述的電子顯微鏡載網進行檢測；

優選地，所述方法包括以下步驟：

(1)使用滴液工具在所述電子顯微鏡載網的不同載樣區分別滴加樣品溶液；

(2)烘干步驟(1)所得的電子顯微鏡載網；

(3)將步驟(2)所得烘干后的電子顯微鏡載網置于電子顯微鏡中進行樣品檢測；

(4)檢測完一個樣品后，無需將載網從電子顯微鏡中取出，調整視野位置，進行其他樣品的檢測。

10.一種電子顯微鏡，其特征在于，所述電子顯微鏡包括權利要求1至6中任一項所述的電子顯微鏡載網；

優選地，所述電子顯微鏡為透射電子顯微鏡；更優選為環境透射電子顯微鏡或掃描透射電子顯微鏡。