[發(fā)明專利]一種用于晶圓檢測的移動載臺機構(gòu)

在審

• 申請?zhí)枺?/td>: 202110451025.3
• 申請日: 2021-04-26
• 公開（公告）號: CN113192875A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發(fā)明（設(shè)計）人: 張俊杰
• 申請（專利權(quán)）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/677
• 代理公司: 上海海貝律師事務(wù)所 31301
• 代理人: 宋振宇

本發(fā)明公開了一種用于晶圓檢測的移動載臺機構(gòu)，包括外殼，所述外殼的上表面中部固接有斗狀套，所述斗狀套的內(nèi)部設(shè)有的吸風(fēng)管，所述外殼的內(nèi)部安裝有用以帶動吸風(fēng)管升降的升降結(jié)構(gòu)，所述外殼上設(shè)有用以從吸風(fēng)管內(nèi)部抽風(fēng)的吸風(fēng)結(jié)構(gòu)，所述吸風(fēng)結(jié)構(gòu)包括：所述兩個吸風(fēng)管之間連接有連接管，所述外殼的上表面安裝有負壓風(fēng)機，負壓風(fēng)機與連接管之間連接有連接軟管，本發(fā)明中設(shè)置了吸風(fēng)管和斗狀套，吸風(fēng)管能夠在豎直方向上將晶圓定位住，斗狀套能夠在水平方向上將晶圓定位住，保證晶圓在被輸送的過程中能夠較為穩(wěn)定，本發(fā)明晶圓在斗狀套的內(nèi)部上下移動時，為連續(xù)移動，所以斗狀套可適應(yīng)任何一種尺寸的晶圓。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及晶圓檢測技術(shù)領(lǐng)域，具體是一種用于晶圓檢測的移動載臺機構(gòu)。

背景技術(shù)

在晶圓的生產(chǎn)過程中,需要對晶圓進行檢測,這時需要對晶圓進行移動輸送,輸送過程中需要將晶圓放置在載臺上,現(xiàn)有的載臺一般只適用于一種尺寸規(guī)格的晶圓,適用性不足,同時晶圓的移動過程中,容易受到振動發(fā)生偏移；

為此申請?zhí)枮?02021304599.5的專利中提出了一種用于晶圓檢測的移動載臺機構(gòu)，其能夠適應(yīng)較多種尺寸的晶圓，但是其尺寸變化為間斷變化，并不能適應(yīng)任意一種晶圓的尺寸，也不能在垂直方向上定位晶圓。

發(fā)明內(nèi)容

本發(fā)明的目的在于提供一種用于晶圓檢測的移動載臺機構(gòu)，以解決現(xiàn)有技術(shù)中載臺的尺寸變化為間斷變化，并不能適應(yīng)任意一種晶圓的尺寸，也不能在垂直方向上定位晶圓問題。

為實現(xiàn)上述目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種用于晶圓檢測的移動載臺機構(gòu)，包括外殼，所述外殼的上表面中部固接有斗狀套，所述斗狀套的內(nèi)部設(shè)有的吸風(fēng)管，所述外殼的內(nèi)部安裝有用以帶動吸風(fēng)管升降的升降結(jié)構(gòu)，所述外殼上設(shè)有用以從吸風(fēng)管內(nèi)部抽風(fēng)的吸風(fēng)結(jié)構(gòu)。

優(yōu)選的，還包括左右驅(qū)動結(jié)構(gòu)，所述左右驅(qū)動結(jié)構(gòu)驅(qū)動外殼左右運動，所述左右驅(qū)動結(jié)構(gòu)包括單向絲桿，單向絲桿上螺紋連接有第一螺母，所述外殼固接在第一螺母的上表面。

優(yōu)選的，所述單向絲桿的下方設(shè)有第一導(dǎo)向桿，且第一導(dǎo)向桿穿過第一螺母，所述單向絲桿的一端設(shè)有用以驅(qū)動單向絲桿轉(zhuǎn)動的第一電機。

優(yōu)選的，所述吸風(fēng)管的下端固接有托盤，所述升降結(jié)構(gòu)包括轉(zhuǎn)動安裝在外殼內(nèi)部的雙向絲桿，雙向絲桿上對稱螺紋連接有第二螺母，第二螺母與托盤的對應(yīng)側(cè)之間鉸接有調(diào)節(jié)桿。

優(yōu)選的，所述外殼的外部一側(cè)安裝有第二電機，第二電機驅(qū)動雙向絲桿轉(zhuǎn)動。

優(yōu)選的，所述外殼的內(nèi)部下方安裝有第二導(dǎo)向桿，且第二導(dǎo)向桿穿過第二螺母。

優(yōu)選的，所述托盤的前后側(cè)與雙向絲桿的內(nèi)部下底面之間連接有導(dǎo)向桿，且導(dǎo)向桿為管套式連接。

優(yōu)選的，所述吸風(fēng)結(jié)構(gòu)包括：所述兩個吸風(fēng)管之間連接有連接管，所述外殼的上表面安裝有負壓風(fēng)機，負壓風(fēng)機與連接管之間連接有連接軟管。

優(yōu)選的，所述斗狀套的內(nèi)壁上固接有橡膠墊。

優(yōu)選的，所述吸風(fēng)管的上端連通有吸盤。

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明的有益效果是：

1、本發(fā)明中設(shè)置了吸風(fēng)管和斗狀套，吸風(fēng)管能夠在豎直方向上將晶圓定位住，斗狀套能夠在水平方向上將晶圓定位住，保證晶圓在被輸送的過程中能夠較為穩(wěn)定；

2、本發(fā)明晶圓在斗狀套的內(nèi)部上下移動時，為連續(xù)移動，所以斗狀套可適應(yīng)任何一種尺寸的晶圓。

附圖說明

附圖用來提供對本發(fā)明的進一步理解，并且構(gòu)成說明書的一部分，與本發(fā)明的實施例一起用于解釋本發(fā)明，并不構(gòu)成對本發(fā)明的限制。在附圖中：

圖1為本發(fā)明的結(jié)構(gòu)示意圖；

圖2為本發(fā)明吸風(fēng)管升高示意圖；