[發明專利]一種用于晶圓檢測的移動載臺機構

在審

• 申請號: 202110451025.3
• 申請日: 2021-04-26
• 公開（公告）號: CN113192875A
• 公開（公告）日: 2021-07-30
• 發明（設計）人: 張俊杰
• 申請（專利權）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號: H01L21/687
• 分類號: H01L21/687;H01L21/677
• 代理公司: 上海海貝律師事務所 31301
• 代理人: 宋振宇

1.一種用于晶圓檢測的移動載臺機構，其特征在于：包括外殼(5)，所述外殼(5)的上表面中部固接有斗狀套(8)，所述斗狀套(8)的內部設有的吸風管(11)，所述外殼(5)的內部安裝有用以帶動吸風管(11)升降的升降結構，所述外殼(5)上設有用以從吸風管(11)內部抽風的吸風結構。

2.根據權利要求1所述的一種用于晶圓檢測的移動載臺機構，其特征在于：還包括左右驅動結構，所述左右驅動結構驅動外殼(5)左右運動，所述左右驅動結構包括單向絲桿(2)，單向絲桿(2)上螺紋連接有第一螺母(4)，所述外殼(5)固接在第一螺母(4)的上表面。

3.根據權利要求2所述的一種用于晶圓檢測的移動載臺機構，其特征在于：所述單向絲桿(2)的下方設有第一導向桿(3)，且第一導向桿(3)穿過第一螺母(4)，所述單向絲桿(2)的一端設有用以驅動單向絲桿(2)轉動的第一電機(1)。

4.根據權利要求1所述的一種用于晶圓檢測的移動載臺機構，其特征在于：所述吸風管(11)的下端固接有托盤(13)，所述升降結構包括轉動安裝在外殼(5)內部的雙向絲桿(15)，雙向絲桿(15)上對稱螺紋連接有第二螺母(17)，第二螺母(17)與托盤(13)的對應側之間鉸接有調節桿(16)。

5.根據權利要求4所述的一種用于晶圓檢測的移動載臺機構，其特征在于：所述外殼(5)的外部一側安裝有第二電機(6)，第二電機(6)驅動雙向絲桿(15)轉動。

6.根據權利要求5所述的一種用于晶圓檢測的移動載臺機構，其特征在于：所述外殼(5)的內部下方安裝有第二導向桿，且第二導向桿穿過第二螺母(17)。

7.根據權利要求4所述的一種用于晶圓檢測的移動載臺機構，其特征在于：所述托盤(13)的前后側與雙向絲桿(15)的內部下底面之間連接有導向桿(18)，且導向桿(18)為管套式連接。

8.根據權利要求1所述的一種用于晶圓檢測的移動載臺機構，其特征在于：所述吸風結構包括：所述兩個吸風管(11)之間連接有連接管(9)，所述外殼(5)的上表面安裝有負壓風機(7)，負壓風機(7)與連接管(9)之間連接有連接軟管(12)。

9.根據權利要求1所述的一種用于晶圓檢測的移動載臺機構，其特征在于：所述斗狀套(8)的內壁上固接有橡膠墊(14)。

10.根據權利要求1所述的一種用于晶圓檢測的移動載臺機構，其特征在于：所述吸風管(11)的上端連通有吸盤(10)。