[發明專利]一種光刻機運動臺系統

在審

• 申請號: 202110450418.2
• 申請日: 2021-04-25
• 公開（公告）號: CN113176713A
• 公開（公告）日: 2021-07-27
• 發明（設計）人: 張俊杰
• 申請（專利權）人: 上海圖雙精密裝備有限公司
• 主分類號: G03F7/20
• 分類號: G03F7/20
• 代理公司: 上海海貝律師事務所 31301
• 代理人: 宋振宇

本發明公開了一種光刻機運動臺系統，包括基座以及位于基座上方的運動臺，所述基座的上表面兩側均安裝有防擴罩，所述防擴罩為兩側通風結構，且防擴罩的內部安裝有并排的收風組件，所述收風組件包括固定在防擴罩內部的中軸，所述中軸的圓周外部轉動安裝有安裝筒，所述安裝筒的外部均勻的安裝有扇葉，本發明設置了收風組件，在運動臺運動的過程中產生的氣流可推動扇葉，使得扇葉與安裝筒能夠發生轉動，這樣可消耗氣流，可避免氣流外擴，影響外部傳感器的運行，本發明在基座上設置了鏤空部，鏤空部能夠溢出部分氣流，進一步避免氣流影響基座與運動臺上的傳感器的運行，設置了減振橡膠，保證了運動臺的穩定運行。

技術領域

本發明涉及光刻機技術領域，具體是一種光刻機運動臺系統。

背景技術

在半導體光刻過程中，測量并優化產品的套刻精度對于保證產品質量穩定性，提高產品良率至關重要。在集成電路制作過程中，集成電路板不同層次之間的套刻精度對制作的最終產品良率有很大的影響。因此對不同曝光臺之間的套刻精度進行匹配十分必要。

光刻機內運動臺的垂向空間狹小，當運動臺在運動時,會使周圍空氣產生氣流擾動,并且高速運動下的氣流擾動產生的局部壓力波動不能忽略,會使得運動臺附近的高精度傳感器及測量組件易受到擾動力的影響。

發明內容

本發明的目的在于提供一種光刻機運動臺系統，以解決現有技術中運動臺在運動時,會使周圍空氣產生氣流擾動,并且高速運動下的氣流擾動產生的局部壓力波動不能忽略,會使得運動臺附近的高精度傳感器及測量組件易受到擾動力的影響的問題。

為實現上述目的，本發明提供如下技術方案：一種光刻機運動臺系統，包括基座以及位于基座上方的運動臺，所述基座的上表面兩側均安裝有防擴罩，所述防擴罩為兩側通風結構，且防擴罩的內部安裝有并排的收風組件，所述收風組件包括固定在防擴罩內部的中軸，所述中軸的圓周外部轉動安裝有安裝筒，所述安裝筒的外部均勻的安裝有扇葉。

優選的，所述中軸的兩端圓周外部均固接有減振橡膠，減振橡膠用于給中軸減振。

優選的，所述安裝筒與扇葉為鋁板。

優選的，所述安裝筒與扇葉為塑料板。

優選的，所述防擴罩的一端安裝有第一排風管。

優選的，所述基座的上表面靠近中部的兩側均設有鏤空部，且鏤空部的內部安裝有金屬絲網。

優選的，所述基座的下底面與鏤空部對應的位置固接有底部外罩，底部外罩的一端安裝有第二排風管

優選的，所述運動臺的兩端均安裝有流線型頭部。

與現有技術相比，本發明的有益效果是：

1、本發明設置了收風組件，在運動臺運動的過程中產生的氣流可推動扇葉，使得扇葉與安裝筒能夠發生轉動，這樣可消耗氣流，可避免氣流外擴，影響外部傳感器的運行；

2、本發明在基座上設置了鏤空部，鏤空部能夠溢出部分氣流，進一步避免氣流影響基座與運動臺上的傳感器的運行；

3、本發明設置了減振橡膠，這樣可避免扇葉轉動導致的振動影響到運動臺的穩定運行，保證了運動臺的穩定運行。

附圖說明

附圖用來提供對本發明的進一步理解，并且構成說明書的一部分，與本發明的實施例一起用于解釋本發明，并不構成對本發明的限制。在附圖中：

圖1為本發明的結構示意圖；

圖2為本發明基座上方視角立體圖；

圖3為本發明基座下方視角立體圖；

圖4為本發明收風組件的結構示意圖。