[發明專利]一種光刻機運動臺系統在審
| 申請號： | 202110450418.2 | 申請日： | 2021-04-25 |
| 公開（公告）號： | CN113176713A | 公開（公告）日： | 2021-07-27 |
| 發明（設計）人： | 張俊杰 | 申請（專利權）人： | 上海圖雙精密裝備有限公司 |
| 主分類號： | G03F7/20 | 分類號： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 上海海貝律師事務所 31301 | 代理人： | 宋振宇 |
| 地址： | 201712 上海市*** | 國省代碼： | 上海;31 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 光刻 機運 系統 | ||
1.一種光刻機運動臺系統，包括基座(1)以及位于基座(1)上方的運動臺(6)，其特征在于：所述基座(1)的上表面兩側均安裝有防擴罩(3)，所述防擴罩(3)為兩側通風結構，且防擴罩(3)的內部安裝有并排的收風組件(2)，所述收風組件(2)包括固定在防擴罩(3)內部的中軸(21)，所述中軸(21)的圓周外部轉動安裝有安裝筒(24)，所述安裝筒(24)的外部均勻的安裝有扇葉(23)。
2.根據權利要求1所述的一種光刻機運動臺系統，其特征在于：所述中軸(21)的兩端圓周外部均固接有減振橡膠(22)，減振橡膠(22)用于給中軸(21)減振。
3.根據權利要求1所述的一種光刻機運動臺系統，其特征在于：所述安裝筒(24)與扇葉(23)為鋁板。
4.根據權利要求1所述的一種光刻機運動臺系統，其特征在于：所述安裝筒(24)與扇葉(23)為塑料板。
5.根據權利要求1所述的一種光刻機運動臺系統，其特征在于：所述防擴罩(3)的一端安裝有第一排風管(7)。
6.根據權利要求1所述的一種光刻機運動臺系統，其特征在于：所述基座(1)的上表面靠近中部的兩側均設有鏤空部(4)，且鏤空部(4)的內部安裝有金屬絲網。
7.根據權利要求6所述的一種光刻機運動臺系統，其特征在于：所述基座(1)的下底面與鏤空部(4)對應的位置固接有底部外罩(8)，底部外罩(8)的一端安裝有第二排風管(9)。
8.根據權利要求1所述的一種光刻機運動臺系統，其特征在于：所述運動臺(6)的兩端均安裝有流線型頭部(5)。
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