[發(fā)明專(zhuān)利]一種光學(xué)器件的表面缺陷光檢接觸頭

在審

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110447358.9
• 申請(qǐng)日: 2021-04-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113008800A
• 公開(kāi)（公告）日: 2021-06-22
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 孫永財(cái)
• 申請(qǐng)（專(zhuān)利權(quán)）人: 孫永財(cái)
• 主分類(lèi)號(hào): G01N21/01
• 分類(lèi)號(hào): G01N21/01;G01N21/95
• 代理公司: 暫無(wú)信息
• 代理人: 暫無(wú)信息

本發(fā)明涉及檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，且公開(kāi)了一種光學(xué)器件的表面缺陷光檢接觸頭，包括固定滑道，所述固定滑道的下方設(shè)置有滑動(dòng)塊，所述滑動(dòng)塊內(nèi)貫穿設(shè)置有行程絲桿，所述滑動(dòng)塊的下方活動(dòng)連接有固定架，所述固定架的中部與滑動(dòng)塊間活動(dòng)連接有限位架，所述固定架的下端設(shè)置有發(fā)射器，所述固定架的左側(cè)設(shè)置有定位墻，所述定位墻的下端設(shè)置有接收器。該光學(xué)器件的表面缺陷光檢接觸頭，通過(guò)在擠壓頭壓力下，因斜面作業(yè)對(duì)固定架產(chǎn)生向上推力，使其沿著限位架活動(dòng)槽道一定程度活動(dòng)，實(shí)現(xiàn)對(duì)固定架下端設(shè)置的發(fā)射器進(jìn)行微調(diào)，控制精度的同時(shí)，增加了垂直行程絲桿方向上的自由度，保證可對(duì)各類(lèi)器件的表面檢測(cè)，同時(shí)保證核心方向上的行程穩(wěn)定。

技術(shù)領(lǐng)域

本發(fā)明涉及檢測(cè)設(shè)備技術(shù)領(lǐng)域，具體為一種光學(xué)器件的表面缺陷光檢接觸頭。

背景技術(shù)

鏡面等光學(xué)設(shè)備對(duì)表面粗糙度等性能參數(shù)要求極高，即使是微小的表面瑕疵，在經(jīng)過(guò)多次反射和折射后也會(huì)被放大，在結(jié)果上反映出極大的偏差，因此，光學(xué)設(shè)備在加工過(guò)程中，需要多次對(duì)其表面缺陷進(jìn)行檢測(cè)。但常見(jiàn)的接觸式表面檢測(cè)頭可能會(huì)在器件表面留下劃痕或污漬，造成不必要的缺陷，因此普遍采用光學(xué)檢測(cè)，通過(guò)計(jì)算反射角變化或光程變化以表征器件表面性能，但現(xiàn)有的光學(xué)測(cè)頭大多為實(shí)驗(yàn)室設(shè)計(jì)，在工業(yè)生產(chǎn)中因振動(dòng)，行程不穩(wěn)等造成的波動(dòng)等使光檢頭汰換周期過(guò)短，使得光檢成本過(guò)高。

發(fā)明內(nèi)容

(一)解決的技術(shù)問(wèn)題

依智能制造發(fā)展要求，針對(duì)現(xiàn)有技術(shù)的不足，本發(fā)明提供了一種光學(xué)器件的表面缺陷光檢接觸頭，具備行程穩(wěn)定的優(yōu)點(diǎn)，解決了上述背景技術(shù)中的問(wèn)題。

(二)技術(shù)方案

為實(shí)現(xiàn)上述行程穩(wěn)定的目的，本發(fā)明提供如下技術(shù)方案：一種光學(xué)器件的表面缺陷光檢接觸頭，包括固定滑道，所述固定滑道的下方設(shè)置有滑動(dòng)塊，所述滑動(dòng)塊內(nèi)貫穿設(shè)置有行程絲桿，所述滑動(dòng)塊的下方活動(dòng)連接有固定架，所述固定架的中部與滑動(dòng)塊間活動(dòng)連接有限位架，所述固定架的下端設(shè)置有發(fā)射器，所述固定架的左側(cè)設(shè)置有定位墻，所述定位墻的下端設(shè)置有接收器，所述固定架的右側(cè)設(shè)置有輔助架，所述輔助架的中部設(shè)置有升降槽，所述升降槽內(nèi)設(shè)置有推桿，所述推桿的左端活動(dòng)連接有擠壓頭，所述輔助架的右端設(shè)置有墊板，所述墊板的右側(cè)設(shè)置有減震座，所述減震座的下端設(shè)置有同步輪，所述減震座的上端設(shè)置有控制柱，所述控制柱的外部套接有斜面盤(pán)，所述斜面盤(pán)的上下兩側(cè)設(shè)置有兩個(gè)升降柱，所述控制柱的上端活動(dòng)連接有連接件。

優(yōu)選的，所述滑動(dòng)塊的上端設(shè)置有卡槽與固定滑道適配，下端設(shè)置有彈簧與固定架活動(dòng)連接，其內(nèi)部設(shè)置有簧珠與行程絲桿適配。

優(yōu)選的，所述固定架左側(cè)設(shè)置有校準(zhǔn)平板與定位墻對(duì)應(yīng)面平行設(shè)置，右側(cè)設(shè)置有斜筋板，筋板上設(shè)置有與限位架適配的貫穿槽。

優(yōu)選的，所述發(fā)射器沿固定架上筋板方向設(shè)置，與接收器對(duì)應(yīng)，校準(zhǔn)后與固定架保持固定連接。

優(yōu)選的，所述接收器接收面朝下，其左側(cè)設(shè)置有遮光罩。

優(yōu)選的，所述輔助架上設(shè)置有垂直的分度尺，其上設(shè)置的槽道與升降槽適配。

優(yōu)選的，所述擠壓頭通過(guò)彈簧與推桿活動(dòng)連接，其左端設(shè)置有接觸球頭與固定架筋板側(cè)面的槽適配。

優(yōu)選的，所述升降柱位于斜面盤(pán)下側(cè)的與減震座上端活動(dòng)連接，位于斜面盤(pán)上側(cè)的與連接件下端活動(dòng)連接。

優(yōu)選的，所述連接件右側(cè)設(shè)置有接觸面與升降柱連接，左側(cè)設(shè)置有連桿與升降槽連接。

(三)有益效果

與現(xiàn)有技術(shù)相比，本發(fā)明提供了一種光學(xué)器件的表面缺陷光檢接觸頭，具備以下有益效果：

1、該光學(xué)器件的表面缺陷光檢接觸頭，固定架的中部與滑動(dòng)塊間活動(dòng)連接有限位架，滑動(dòng)塊本身可帶動(dòng)下方固定架沿行程絲桿方向進(jìn)行位置調(diào)節(jié)，以增加自由度，方便在實(shí)際生產(chǎn)中控制測(cè)頭位置。