[發(fā)明專利]一種半封閉雙腔管狀陣列電極設(shè)備

有效

• 申請(qǐng)?zhí)枺?/td>: 202110446751.6
• 申請(qǐng)日: 2021-04-25
• 公開(kāi)（公告）號(hào): CN113178376B
• 公開(kāi)（公告）日: 2023-01-17
• 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人: 王紅衛(wèi);劉鑫培
• 申請(qǐng)（專利權(quán)）人: 蘇州德睿源等離子體研究院有限公司
• 主分類號(hào): H01J37/32
• 分類號(hào): H01J37/32
• 代理公司: 蘇州科洲知識(shí)產(chǎn)權(quán)代理事務(wù)所(普通合伙) 32435
• 代理人: 周亮

1.一種半封閉雙腔管狀陣列電極的使用方法，其特征在于，所述半封閉雙腔管狀陣列電極包括結(jié)構(gòu)單元(1)、控制單元(2)、電極單元(3)和抽真空單元(4)；所述結(jié)構(gòu)單元(1)起承載控制單元(2)和電極單元(3)的作用，所述控制單元(2)設(shè)置在結(jié)構(gòu)單元(1)內(nèi)部，分別與結(jié)構(gòu)單元(1)和電極單元(3)連接，起控制工作氣體進(jìn)出的作用，所述電極單元(3)設(shè)置在結(jié)構(gòu)單元(1)內(nèi)部，分別與結(jié)構(gòu)單元(1)和控制單元(2)連接，正負(fù)電極均采用管狀結(jié)構(gòu)形式，通過(guò)將正負(fù)電極等間距間隔設(shè)置形成陣列電極，對(duì)薄膜類材料進(jìn)行等離子體處理，所述抽真空單元(4)設(shè)置在結(jié)構(gòu)單元(1)上，與電極單元(3)連接，起降低電極單元(3)內(nèi)部氣壓的作用；

所述結(jié)構(gòu)單元(1)包括箱體(101)、放電開(kāi)關(guān)(102)、急停開(kāi)關(guān)(103)、進(jìn)氣旋鈕(104)、破真空旋鈕(105)、電源接口(106)、框架(107)、福馬輪(108)；所述箱體(101)由前面板、后面板、左側(cè)板、右側(cè)板、頂板、底板組成，所述頂板采用空心板狀結(jié)構(gòu)，其余板均采用帶有預(yù)留孔的板狀結(jié)構(gòu)，所述放電開(kāi)關(guān)(102)、急停開(kāi)關(guān)(103)、進(jìn)氣旋鈕(104)、破真空旋鈕(105)分別設(shè)置在所述箱體(101)的前面板上，所述電源接口(106)設(shè)置在所述箱體(101)的后面板上；

所述控制單元(2)包括流量計(jì)(201)、電磁閥(202)、接枝瓶(203)，所述流量計(jì)(201)設(shè)置在所述箱體(101)的前面板上，通過(guò)進(jìn)氣管與電磁閥(202)連接，所述電磁閥(202)設(shè)置在所述箱體(101)的底板上，通過(guò)進(jìn)氣管與電極單元(3)連接，所述接枝瓶(203)設(shè)置在所述箱體(101)的頂板上，通過(guò)進(jìn)氣管與流量計(jì)(201)連接；

所述控制單元(2)還包括電控盤(pán)(204)、電源(205)，所述電控盤(pán)(204)設(shè)置在所述箱體(101)的后面板上，通過(guò)電線與所述電磁閥(202)連接，所述電源(205)設(shè)置在電控盤(pán)(204)的下方，與所述箱體(101)的底板連接，電源(205)輸出端通過(guò)電線與電控盤(pán)(204)連接，電源(205)輸入端通過(guò)電線與所述電源接口(106)連接；

所述電極單元(3)包括真空腔(301)、蓋板(303)、進(jìn)氣接口(304)、正電極管(305)、負(fù)電極管(306)、絕緣套筒(307)；所述真空腔(301)上端開(kāi)口處厚度大于下端腔體厚度，真空腔(301)上端開(kāi)口處設(shè)置在所述箱體(101)的頂板上方，真空腔(301)下端腔體穿過(guò)所述箱體(101)的頂板設(shè)置在箱體(101)內(nèi)部，所述進(jìn)氣接口(304)的數(shù)量為若干個(gè)，分別設(shè)置在真空腔(301)的右側(cè)腔壁上，呈中心對(duì)稱排布，與所述進(jìn)氣管連接；

所述正電極管(305)與負(fù)電極管(306)交替排列，相鄰兩電極管之間距離相等，所有電極管均通過(guò)所述絕緣套筒(307)與真空腔(301)連接，電極管的左邊部分位于真空腔(301)內(nèi)部，將真空腔(301)分為雙腔結(jié)構(gòu)，電極管的右邊部分位于真空腔(301)的右側(cè)，通過(guò)電線與所述電源(205)連接，所述絕緣套筒(307)設(shè)置在真空腔(301)右側(cè)腔壁豎直方向的對(duì)稱軸上，穿過(guò)真空腔(301)的右側(cè)腔壁與真空腔(301)連接，所述絕緣套筒(307)與電極管之間、絕緣套筒(307)與真空腔(301)之間均設(shè)置有O型圈；

所述半封閉雙腔管狀陣列電極的使用方法包括以下步驟：

a、打開(kāi)蓋板(303)，在所述雙腔結(jié)構(gòu)的兩個(gè)腔室中各放入一份需要處理的薄膜類材料；

b、關(guān)閉蓋板(303)，打開(kāi)真空泵(401)，保持真空腔(301)內(nèi)部處于低壓狀態(tài)；

c、旋轉(zhuǎn)進(jìn)氣旋鈕(104)，通入反應(yīng)氣體；

d、關(guān)閉進(jìn)氣旋鈕(104)，打開(kāi)放電開(kāi)關(guān)(102)，正電極管(305)與負(fù)電極管(306)之間放電，對(duì)薄膜類材料進(jìn)行等離子體處理；

e、處理完成后關(guān)閉放電開(kāi)關(guān)(102)，旋轉(zhuǎn)破真空旋鈕(105)，等待真空腔(301)內(nèi)恢復(fù)常壓狀態(tài)；

f、打開(kāi)蓋板(303)，分別取出處理完成的兩份薄膜類材料。

2.如權(quán)利要求1所述半封閉雙腔管狀陣列電極的使用方法，其特征在于，所述框架(107)由上連接板、下連接板和若干根立柱組成，所述箱體(101)設(shè)置在上連接板上，與上連接板連接，所述福馬輪(108)設(shè)置在下連接板下方，與下連接板連接。