[發明專利]化學機械研磨裝置

在審

• 申請號: 202110444448.2
• 申請日: 2021-04-23
• 公開（公告）號: CN113118964A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 謝振峰
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: B24B37/00
• 分類號: B24B37/00;B24B37/005;B24B37/34;B24B57/02;B24B57/00
• 代理公司: 北京同立鈞成知識產權代理有限公司 11205
• 代理人: 朱穎;黃健

1.一種化學機械研磨裝置，其特征在于，包括：控制裝置、研磨機臺、供應裝置和添加裝置，所述供應裝置包括用于承裝研磨液的暫存桶、以及與所述暫存桶連接的測量裝置，所述測量裝置用于檢測所述暫存桶內剩余研磨液的量；所述研磨機臺與所述暫存桶連通；

所述添加裝置包括儲存裝置以及驅動裝置，所述驅動裝置與所述儲存裝置和所述暫存桶連通，所述控制裝置與所述驅動裝置和所述測量裝置連接；所述控制裝置用于在預設時間時，根據所述暫存桶內剩余研磨液的量和預定規則控制所述驅動裝置將所述儲存裝置內對應體積的添加試劑輸送至所述暫存桶內，以使得所述暫存桶內的所述添加試劑濃度維持在設定值。

2.根據權利要求1所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述添加裝置還包括車體，所述儲存裝置和所述驅動裝置均設置在所述車體上。

3.根據權利要求2所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述車體的底部間隔的設置有多個滾輪，各所述滾輪與所述車體之間可轉動的連接。

4.根據權利要求1所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述儲存裝置上設置有與其連通的添加管路，所述添加管路還用于與試劑源連通，用于向所述儲存裝置內注入所述添加試劑。

5.根據權利要求1所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述測量裝置包括設置在所述暫存桶底部的承重裝置，所述承重裝置用于檢測所述暫存桶的質量。

6.根據權利要求1所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，還包括計時裝置和報警裝置，所述計時裝置與所述驅動裝置和所述控制裝置電連接，所述報警裝置與所述控制裝置電連接，所述計時裝置用于采集所述驅動裝置的工作時間，

所述控制裝置還用于根據所述計時裝置控制所述驅動裝置啟停；

當所述稱重裝置采集到暫存桶添加的所述添加試劑重量大于或者小于第一預設范圍時，所述控制裝置用于控制所述報警裝置啟動，所述控制裝置還用于控制所述驅動裝置停止工作；

當所述計時裝置采集到所述驅動裝置的工作時間大于或者小于第二預設范圍時，所述控制裝置用于控制所述報警裝置啟動，所述控制裝置還用于控制所述驅動裝置停止工作。

7.根據權利要求1-6任一項所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述供應裝置和所述研磨機臺均為多個，每一所述供應裝置對應的所述暫存桶與一個所述研磨機臺連通，各所述供應裝置上的所述檢測裝置均與所述控制裝置連接；所述驅動裝置與每一所述供應裝置對應的所述暫存桶之間通過一個開關裝置連通，各所述開關裝置均與所述控制裝置連接。

8.根據權利要求1-6任一項所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述化學機械研磨裝置還包括循環裝置，所述供應裝置包括第一輸送裝置，所述第一輸送裝置的進口與所述暫存桶連通，所述第一輸送裝置的出口與所述循環裝置連通，所述循環裝置的第一流出口與所述暫存桶連通，所述循環裝置的第二流出口與所述研磨機臺連通；

所述循環裝置用于使研磨液在所述暫存桶和所述循環裝置之間循環流動，并在所述研磨機臺處于預設狀態下向所述研磨機臺輸送研磨液。

9.根據權利要求1-6任一項所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述暫存桶內設置有第一攪拌裝置，所述第一攪拌裝置用于對所述暫存桶內的研磨液進行攪拌。

10.根據權利要求9所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述第一攪拌裝置包括設置在所述暫存桶上的第一轉動裝置、以及位于所述暫存桶內的第一攪拌葉，所述第一攪拌葉與所述第一轉動裝置傳動連接。

11.根據權利要求1-6任一項所述的化學機械研磨裝置，其特征在于，所述化學機械研磨裝置還包括原液桶、以及第二輸送裝置，所述第二輸送裝置的進口與所述原液桶連通，所述第二輸送裝置的出口與所述暫存桶連通，所述第二輸送裝置用于在第二狀態時將所述原液桶內的研磨液輸送至所述暫存桶；所述第二狀態為所述暫存桶內缺少研磨液的狀態。