[發(fā)明專利]等離子體用燒結(jié)金屬氣體分布環(huán)在審
| 申請(qǐng)?zhí)枺?/td> | 202110433982.3 | 申請(qǐng)日： | 2021-04-22 |
| 公開（公告）號(hào)： | CN113205993A | 公開（公告）日： | 2021-08-03 |
| 發(fā)明（設(shè)計(jì)）人： | 徐鳴;唐歡歡;安建昊 | 申請(qǐng)（專利權(quán)）人： | 江蘇微凱機(jī)械有限公司 |
| 主分類號(hào)： | H01J37/32 | 分類號(hào)： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 揚(yáng)州邗誠專利代理事務(wù)所(普通合伙) 32469 | 代理人： | 吳淑芳 |
| 地址： | 225000 江*** | 國省代碼： | 江蘇;32 |
| 權(quán)利要求書： | 查看更多 | 說明書： | 查看更多 |
| 摘要： | |||
| 搜索關(guān)鍵詞： | 等離子 體用 燒結(jié) 金屬 氣體 分布 | ||
【權(quán)利要求書】：
1.一種等離子體用燒結(jié)金屬氣體分布環(huán)，其特征在于：包括氣體分布環(huán)本體，所述氣體分布環(huán)本體內(nèi)環(huán)的側(cè)面燒結(jié)有金屬圓環(huán)，所述金屬圓環(huán)上設(shè)有間隔不等的若干通氣孔。
2.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體用燒結(jié)金屬氣體分布環(huán)，其特征在于：所述金屬圓環(huán)為金屬顆粒整體燒結(jié)而成。
3.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體用燒結(jié)金屬氣體分布環(huán)，其特征在于：所述金屬圓環(huán)上通氣孔的直徑為5-20um。
4.根據(jù)權(quán)利要求1所述的等離子體用燒結(jié)金屬氣體分布環(huán)，其特征在于：所述金屬圓環(huán)上通氣孔的間距在40-80um之間。
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