[發明專利]一種檢測TFT清洗線MURA的方法在審
| 申請號： | 202110430833.1 | 申請日： | 2021-04-21 |
| 公開（公告）號： | CN113281923A | 公開（公告）日： | 2021-08-20 |
| 發明（設計）人： | 曾純;徐陽;李偉界 | 申請（專利權）人： | 信利（惠州）智能顯示有限公司 |
| 主分類號： | G02F1/13 | 分類號： | G02F1/13 |
| 代理公司： | 廣州市華學知識產權代理有限公司 44245 | 代理人： | 唐超 |
| 地址： | 516029 廣東*** | 國省代碼： | 廣東;44 |
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| 摘要： | |||
| 搜索關鍵詞： | 一種 檢測 tft 清洗 mura 方法 | ||
【權利要求書】：
1.一種檢測TFT清洗線MURA的方法，其特征在于，包括如下步驟：
S1、使用水蒸氣噴頭向完成清洗流程的玻璃基板表面噴水蒸氣，所述水蒸氣噴頭所噴出的水蒸氣覆蓋所述玻璃基板的表面；
S2、使用能發出綠色光的鈉燈作為唯一光源，使用所述鈉燈照射所述玻璃基板的表面，檢查所述玻璃基板的表面是否存在光散射部分。
2.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述清洗流程包括使用水溶液對所述玻璃基板進行清洗，和對所述玻璃基板上殘留的所述水溶液進行清除和干燥。
3.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述步驟S1中，在發出綠色光的所述鈉燈作為唯一光源的環境中，使用所述水蒸氣噴頭向所述玻璃基板的表面噴水蒸氣。
4.根據權利要求1所述的方法，其特征在于：所述步驟S1和所述步驟S2之間的間隔時間不能超過30s。
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