[發明專利]一種陣列基板制備方法、陣列基板及顯示面板

在審

• 申請號: 202110429860.7
• 申請日: 2021-04-21
• 公開（公告）號: CN113140577A
• 公開（公告）日: 2021-07-20
• 發明（設計）人: 卓恩宗;都桂卿;朱虹玲;鄭浩旋
• 申請（專利權）人: 滁州惠科光電科技有限公司;惠科股份有限公司
• 主分類號: H01L27/12
• 分類號: H01L27/12;H01L21/77;G02F1/1335
• 代理公司: 深圳中一專利商標事務所 44237
• 代理人: 高星

本發明涉及液晶顯示的技術領域，提供了一種陣列基板制備方法、陣列基板及顯示面板，其中陣列基板制備方法包括：在第一基板上設置第一金屬層；在第一金屬層上設置半導體層；在半導體層上設置第二金屬層；在第二金屬層上設置第一保護層；在第一保護層上設置色阻層；對色阻層進行等離子體處理；在色阻層上設置第二保護層；通過上述技術方案，在設置色阻層后，對色阻層進行離子體處理，有利于將色阻層存放于第一保護層上，避免氣泡的產生；同時色阻層置于第一保護層和第二保護層之間，提高了色阻層的可靠性，因此可以減小色阻層的厚度，同樣可以減小氣泡的產生。

技術領域

本發明涉及顯示屏的技術領域，更具體地說，是涉及一種陣列基板制備方法、陣列基板及顯示面板。

背景技術

COA(color filter on array，陣列上彩色濾光片)技術是將CF(color filter，彩色濾光層)制備在TFT(Thin Film Transistor，薄膜晶體管)基板上，此技術能增加面板開口率，提高透過率，減少寄生電容，同時可應用于高頻、高解析度、超大尺寸的產品，提升產品品質。

一般COA產品為求高NTSC色域表現(NTSC，National TelevisionStandardsCommittee，國家電視標準委員會)，只能選擇將RGB(色阻材料)設計為厚膜結構，但是在生產工藝上會大幅增加色阻的消耗量，增加生產成本以及材料成本。

然而，解決上述厚膜結構RGB(色阻材料)設計的問題可以采用RGB薄型色阻，可以達到高NTSC色域要求的同時更大幅減少了色阻材料的使用量，但是RGB薄型色阻會帶來可靠性降低的問題。

發明內容

本發明的目的在于提供一種陣列基板制備方法、陣列基板及顯示面板，以解決現有技術中存在的顯示面板采用RGB薄型色阻可靠性降低的技術問題。

為實現上述目的，本發明采用的技術方案是一種陣列基板制備方法，包括：

在第一基板上設置第一金屬層；

在第一金屬層上設置半導體層；

在半導體層上設置第二金屬層；

在第二金屬層上設置第一保護層；

在第一保護層上設置色阻層；

對色阻層進行等離子體處理；

在色阻層上設置第二保護層。

具體地，本實施例提供的陣列基板制備方法用于生產制造COA-LCD顯示面板，該COA-LCD顯示面板的TFT側結構包括依次層疊的第一基板、第一金屬層、半導體層、第二金屬層、第一保護層、色阻層、第二保護層和第一導電薄膜層；CF側結構包括依次層疊的第二基板、黑色遮光層、第二導電薄膜層和隔墊層；然后再將TFT側結構與CF側結構貼合，再在TFT側結構與CF側結構之間注入液晶，再安裝驅動，最后安裝背光模組，形成COA-LCD顯示面板。

需要進一步解釋的是，等離子體處理是通過利用對氣體施加足夠的能量使之離化成為等離子狀態，利用這些活性組分的性質來處理色阻層，從而實現清潔、改性、光刻膠灰化等的目的。等離子體裝置包括如下構成：等離子體模塊，其由陰極、陽極和外殼構成；氣體供應及控制裝置，向上述大氣壓等離子體模塊供應氣體，并且控制氣體供應量；排氣裝置，排出上述等離子體模塊內的氣體；冷卻裝置，冷卻上述等離子體模塊；以及電源裝置，向上述等離子體模塊供應電源。