[發明專利]一種晶圓片自動打磨裝置

有效

• 申請號: 202110418586.3
• 申請日: 2021-04-19
• 公開（公告）號: CN113118909B
• 公開（公告）日: 2022-07-08
• 發明（設計）人: 范桂林;李茂欣;陳海軍;李小東
• 申請（專利權）人: 上海磐盟電子材料有限公司
• 主分類號: B24B9/06
• 分類號: B24B9/06;B24B41/06;B24B41/02;B24B41/04;B24B47/12;B24B41/00
• 代理公司: 北京維正專利代理有限公司 11508
• 代理人: 溫開瑞

1.一種晶圓片自動打磨裝置，其特征在于，包括機架(1)以及沿機架(1)高度方向自上而下依次設置的：

放料機構(2)，包括放料組件，可拆卸固定連接在所述機架(1)上，用于對切片后的晶圓片進行放料；

研磨機構(3)，包括驅動組件(31)和打磨組件(32)，所述打磨組件(32)沿機架(1)長度方向間隔設置有兩組，晶圓片位于兩組打磨組件(32)之間，且所述驅動組件(31)驅動打磨組件(32)對晶圓片進行打磨；

支撐機構(4)，其位于所述研磨機構(3)下方，用于對待打磨的晶圓片進行支撐；

抬升機構(5)，包括抬升組件和承接件(6)，所述抬升組件架設在機架(1)上，且所述抬升組件驅動所述承接件(6)將打磨后的晶圓片沿遠離支撐機構(4)的方向位移；所述承接件(6)的長度方向與機架(1)的寬度方向平行，所述承接件(6)上均勻間隔開設有多個承接槽(611)，所述承接槽(611)與導向槽(211)、放料槽(221)一一對應；

所述放料組件包括放料架(21)和放料盒(22)，所述放料盒(22)可拆卸固定在放料架(21)上，所述放料盒(22)內沿機架(1)寬度方向均勻間隔設置有多個放料槽(221)，所述放料架(21)上開設有導向槽(211)，所述導向槽(211)與放料槽(221)的長度方向均與所述機架(1)的高度方向平行，且所述導向槽(211)與放料槽(221)一一對應且連通；

所述支撐機構(4)包括支撐輥(41)，所述支撐輥(41)轉動連接在機架(1)上，所述支撐輥(41)位于打磨組件(32)下方，且晶圓片的外緣與所述支撐輥(41)的外側壁抵接；

所述抬升組件包括伺服電機(51)、蝸輪(52)、蝸桿(53)以及螺桿(54)，所述伺服電機(51)固定在機架(1)上，且所述伺服電機(51)的輸出軸呈水平設置，所述蝸桿(53)同軸固定在伺服電機(51)的輸出軸上，所述蝸輪(52)與蝸桿(53)相嚙合；

所述螺桿(54)同軸穿設在蝸輪(52)上，所述螺桿(54)與蝸輪(52)的內側壁螺紋連接，所述螺桿(54)背離蝸輪(52)的一端螺紋連接有承接件(6)，所述承接件(6)呈水平設置，所述機架(1)上固定有用于對承接件(6)升降進行導向的導向件(7)。

2.根據權利要求1所述的一種晶圓片自動打磨裝置，其特征在于，所述放料架(21)上可拆卸固定有安裝板(23)，所述安裝板(23)上開設有插接槽(231)，所述插接槽(231)的長度方向與機架(1)的寬度方向平行，所述放料盒(22)靠近放料架(21)的一側設置有插接條(212)，所述插接條(212)的長度方向與插接槽(231)的長度方向平行，所述插接條(212)插與插接槽(231)插接配合。

3.根據權利要求1所述的一種晶圓片自動打磨裝置，其特征在于：所述打磨組件(32)包括第一打磨輥(321)與第二打磨輥(322)，所述第一打磨輥(321)和第二打磨輥(322)均轉動連接在機架(1)上，且所述第一打磨輥(321)與第二打磨輥(322)呈間隔設置，所述第一打磨輥(321)和第二打磨輥(322)上均對稱開設有打磨槽(323)，晶圓片的邊緣嵌入打磨槽(323)內。

4.根據權利要求3所述的一種晶圓片自動打磨裝置，其特征在于：所述機架(1)寬度方向的兩側壁上均開設有調節槽(11)，所述調節槽(11)呈水平設置，所述第一打磨輥(321)與第二打磨輥(322)的兩端均穿設調節槽(11)，所述機架(1)上設置有固定板(12)，所述固定板(12)設置有多個，任一所述固定板(12)中部均安裝有軸承(121)，所述第一打磨輥(321)與第二打磨輥(322)的兩端均穿過軸承(121)，所述固定板(12)上設置有固定螺栓(122)，所述固定螺栓(122)將固定板(12)可拆卸固定在機架(1)上。

5.根據權利要求1所述的一種晶圓片自動打磨裝置，其特征在于：所述導向件(7)包括導桿(71)，所述導桿(71)上開設有滑移槽(72)，所述承接件(6)遠離螺桿(54)的一端設置有滑塊(612)，所述滑塊(612)嵌入滑移槽(72)內且所述滑塊(612)與滑移槽(72)滑移配合。

6.根據權利要求1所述的一種晶圓片自動打磨裝置，其特征在于：所述螺桿(54)上套設有用于對螺桿(54)進行保護的防護罩(8)。