[發明專利]光罩的夾持裝置

在審

• 申請號: 202110414347.0
• 申請日: 2021-04-16
• 公開（公告）號: CN113126419A
• 公開（公告）日: 2021-07-16
• 發明（設計）人: 趙晴晴
• 申請（專利權）人: 長鑫存儲技術有限公司
• 主分類號: G03F1/00
• 分類號: G03F1/00;G03F1/66
• 代理公司: 廣州華進聯合專利商標代理有限公司 44224
• 代理人: 周修文

本發明涉及一種光罩的夾持裝置，包括夾持組件、框體與手柄。夾持組件設置于框體上，夾持組件用于夾住光罩的側邊?？蝮w的其中一框邊的中部部位上設有連接部。手柄與連接部轉動相連，手柄上設有第一驅動機構。第一驅動機構與連接部相連，第一驅動機構用于帶動連接部轉動。若需要處理光罩的表面問題，則通過夾持組件夾住光罩的側邊，手持手柄借助光罩的夾持裝置將光罩從容器盒中取出，然后以手柄的中心軸為轉動中心，由第一驅動機構帶動連接部轉動，便能實現將框體連帶框體上的光罩從glass面翻轉到pellicle面，即無需工作人員手持手柄并通過手腕來帶動框體及其上的光罩翻轉，這樣能夠更加便于調整光罩的翻轉位置，翻轉動作時平穩，不容易出現刮傷現象。

技術領域

本發明涉及半導體制造技術領域，特別是涉及一種光罩的夾持裝置。

背景技術

一般地，光罩是位于光刻設備的內部，并放置位于多組透鏡的上方，以進行曝光等工藝。在半導體制造過程中，靜電是對于光罩表面圖案造成破壞的重要因素之一，靜電的產生主要來自自無塵室中的空氣，或是來自于工作人員之工作服，即在拿取光罩的過程中，為了避免電荷由工作人員傳導到光罩，通常是采用光罩的夾持裝置來取放光罩。

當在暗房處理光罩時，借助光罩的夾持裝置將光罩取出到容器盒之外。若需要處理光罩的表面問題，則工作人員需要將光罩的夾持裝置連帶光罩一起，進行例如180度翻轉，即使得光罩由glass(玻璃)面翻轉到pellicle(保護膜)面。然而，暗房的操作空間有限，工作人員握住光罩的夾持裝置，通過手脖反轉的方式來調整光罩的位置的過程中，調整操作不便且容易刮傷光罩。

發明內容

基于此，有必要克服現有技術的缺陷，提供一種光罩的夾持裝置，它能夠便于調整光罩的位置，同時不容易出現刮傷現象。

其技術方案如下：一種光罩的夾持裝置，所述光罩的夾持裝置包括：夾持組件與框體，所述夾持組件設置于所述框體上，所述夾持組件用于夾住光罩的側邊，所述框體的其中一框邊的中部部位上設有連接部；手柄，所述手柄與所述連接部轉動相連，所述手柄上設有第一驅動機構，所述第一驅動機構與所述連接部相連，所述第一驅動機構用于帶動所述連接部轉動。

上述的光罩的夾持裝置，若需要處理光罩的表面問題，則通過夾持組件夾住光罩的側邊，手持手柄借助光罩的夾持裝置將光罩從容器盒中取出，然后，以手柄的中心軸為轉動中心，由第一驅動機構帶動連接部轉動，便能實現將框體連帶框體上的光罩從glass面翻轉到pellicle面，即無需工作人員手持手柄并通過手腕的方式來帶動框體及其上的光罩翻轉，這樣能夠更加便于調整光罩的翻轉位置，框體及光罩在第一驅動機構的驅動作用下，翻轉動作時較為平穩，不容易出現刮傷現象。

在其中一個實施例中，所述手柄設有中空室，所述第一驅動機構包括第一驅動軸、第一錐齒輪、第二驅動軸、第二錐齒輪與第一驅動齒輪；所述第一驅動軸轉動地設置于所述手柄上，所述第一錐齒輪同軸地固定設置于所述第一驅動軸上、并位于所述中空室；所述第二驅動軸轉動地連接于所述手柄上，所述第二驅動軸與所述連接部同軸相連；所述第二錐齒輪同軸地固定設置于所述第二驅動軸上、并位于所述中空室，所述第二錐齒輪與所述第一錐齒輪相嚙合；所述第一驅動齒輪同軸固定地設置于所述第一驅動軸上。

在其中一個實施例中，所述第一驅動機構包括第二驅動軸與撥動輪；所述第二驅動軸轉動地連接于所述手柄上，所述第二驅動軸與所述連接部同軸相連；所述撥動輪同軸地固定設置于所述第二驅動軸上。

在其中一個實施例中，所述手柄設有中空室，所述第一驅動機構包括設置于所述中空室中的微型電機，所述微型電機的轉軸與所述連接部同軸固定相連。

在其中一個實施例中，所述第一驅動機構還包括設置于所述手柄上的控制元件，所述控制元件與所述微型電機電性連接。

在其中一個實施例中，所述控制元件為開關按鈕或觸控屏。